4 ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകൾ 6H സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പ്രൈം, റിസർച്ച്, ഡമ്മി ഗ്രേഡ്

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രിസ്റ്റലിൻ്റെ വളർച്ചയ്ക്ക് ശേഷം മുറിക്കൽ, പൊടിക്കൽ, മിനുക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, മറ്റ് പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ചാണ് സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് രൂപപ്പെടുന്നത്. എപ്പിറ്റാക്സിയായി ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്ന ഒരു പാളി അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി ലെയർ ക്രിസ്റ്റൽ ലെയർ വളരുന്നു, തുടർന്ന് സർക്യൂട്ട് ഡിസൈനും പാക്കേജിംഗും സംയോജിപ്പിച്ച് മൈക്രോവേവ് ആർഎഫ് ഉപകരണം നിർമ്മിക്കുന്നു. 2 ഇഞ്ച് 3 ഇഞ്ച് 4 ഇഞ്ച് 6 ഇഞ്ച് 8 ഇഞ്ച് വ്യാവസായിക, ഗവേഷണ, ടെസ്റ്റ് ഗ്രേഡ് സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളായി ലഭ്യമാണ്.


ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

ഉൽപ്പന്ന സ്പെസിഫിക്കേഷൻ

ഗ്രേഡ്

സീറോ MPD പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് (Z ഗ്രേഡ്)

സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ്(പി ഗ്രേഡ്)

ഡമ്മി ഗ്രേഡ് (ഡി ഗ്രേഡ്)

 
വ്യാസം 99.5 mm~100.0 mm  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
വേഫർ ഓറിയൻ്റേഷൻ  

 

ഓഫ് അക്ഷം : 4.0° നേരെ< 1120 > ±0.5° 4H-N, ഓൺ ആക്‌സിസ് : <0001>±0.5° 4H-SI-ന്

 
  4H-SI

≤1 സെ.മീ-2

≤5 സെ.മീ-2

≤15 സെ.മീ-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·സെ.മീ

≥1E5 Ω·cm

 
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ

{10-10} ±5.0°

 
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം 32.5 mm± 2.0 mm  
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് നീളം 18.0 mm± 2.0 mm  
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ

സിലിക്കൺ മുഖം മുകളിലേക്ക്: 90° CW. പ്രൈം ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് ± 5.0°

 
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ

3 മി.മീ

 
LTV/TTV/Bow/Warp ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

പരുഷത

സി മുഖം

    പോളിഷ് Ra≤1 nm

മുഖം

സി.എം.പി Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം കൊണ്ട് എഡ്ജ് വിള്ളലുകൾ

ഒന്നുമില്ല

ക്യുമുലേറ്റീവ് ദൈർഘ്യം ≤ 10 മി.മീ, ഒറ്റ

നീളം≤2 മി.മീ

 
ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം ഉപയോഗിച്ച് ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.05% ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.1%  
ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം ഉപയോഗിച്ച് പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ

ഒന്നുമില്ല

ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤3%  
വിഷ്വൽ കാർബൺ ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.05% ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤3%  
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ സിലിക്കൺ ഉപരിതല പോറലുകൾ  

ഒന്നുമില്ല

ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤1*വേഫർ വ്യാസം  
എഡ്ജ് ചിപ്സ് തീവ്രത വെളിച്ചം കൊണ്ട് ഉയർന്നത് ≥0.2 mm വീതിയും ആഴവും ഒന്നും അനുവദനീയമല്ല 5 അനുവദനീയമാണ്, ≤1 മില്ലിമീറ്റർ വീതം  
ഉയർന്ന തീവ്രതയാൽ സിലിക്കൺ ഉപരിതല മലിനീകരണം

ഒന്നുമില്ല

 
പാക്കേജിംഗ്

മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ സിംഗിൾ വേഫർ കണ്ടെയ്നർ

 

വിശദമായ ഡയഗ്രം

വിശദമായ ഡയഗ്രം (1)
വിശദമായ ഡയഗ്രം (2)

  • മുമ്പത്തെ:
  • അടുത്തത്:

  • നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഇവിടെ എഴുതി ഞങ്ങൾക്ക് അയക്കുക