4 ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകൾ 6H സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് SiC സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ പ്രൈം, റിസർച്ച്, ഡമ്മി ഗ്രേഡ്
ഉൽപ്പന്ന സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
ഗ്രേഡ് | സീറോ എംപിഡി പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് (ഇസഡ് ഗ്രേഡ്) | സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് (പി ഗ്രേഡ്) | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് (ഡി ഗ്രേഡ്) | ||||||||
വ്യാസം | 99.5 മിമി~100.0 മിമി | ||||||||||
4എച്ച്-എസ്ഐ | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | |||||||||
വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ |
ഓഫ് ആക്സിസ്: 4.0° ലേക്ക്< 1120 > ±0.5° 4H-N ന്, ഓൺ ആക്സിസ്: <0001> 4H-SI ന് ±0.5° | ||||||||||
4എച്ച്-എസ്ഐ | ≤1 സെ.മീ-2 | ≤5 സെ.മീ-2 | ≤15 സെ.മീ-2 | ||||||||
4എച്ച്-എസ്ഐ | ≥1E9 Ω·സെ.മീ | ≥1E5 Ω·സെ.മീ | |||||||||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | {10-10} ±5.0° | ||||||||||
പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 32.5 മിമി±2.0 മിമി | ||||||||||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 18.0 മിമി±2.0 മിമി | ||||||||||
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | സിലിക്കൺ ഫെയ്സ് അപ്പ്: 90° CW. പ്രൈം ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് ±5.0° | ||||||||||
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ | 3 മി.മീ. | ||||||||||
എൽടിവി/ടിടിവി/ബോ /വാർപ്പ് | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
പരുക്കൻത | സി മുഖം | പോളിഷ് | Ra≤1 നാനോമീറ്റർ | ||||||||
എസ്ഐ മുഖം | സിഎംപി | റാ≤0.2 നാനോമീറ്റർ | റാ≤0.5 നാനോമീറ്റർ | ||||||||
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള വെളിച്ചം മൂലം അരികുകളിലെ വിള്ളലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത നീളം ≤ 10 മി.മീ, ഒറ്റ നീളം≤2 മിമി | |||||||||
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.05% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.1% | |||||||||
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം≤3% | |||||||||
വിഷ്വൽ കാർബൺ ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.05% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤3% | |||||||||
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം മൂലം സിലിക്കൺ ഉപരിതല പോറലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത നീളം ≤1*വേഫർ വ്യാസം | |||||||||
എഡ്ജ് ചിപ്സ് ഹൈ ബൈ ഇന്റൻസിറ്റി ലൈറ്റ് | അനുവദനീയമായത് ≥0.2 മില്ലീമീറ്റർ വീതിയും ആഴവും | 5 അനുവദനീയം, ≤1 മില്ലീമീറ്റർ വീതം | |||||||||
ഉയർന്ന തീവ്രത മൂലമുള്ള സിലിക്കൺ ഉപരിതല മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | ||||||||||
പാക്കേജിംഗ് | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ സിംഗിൾ വേഫർ കണ്ടെയ്നർ |
വിശദമായ ഡയഗ്രം


നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഇവിടെ എഴുതി ഞങ്ങൾക്ക് അയക്കുക.