3 ഇഞ്ച് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള (അൺഡോപ്പ് ചെയ്ത) സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫറുകൾ സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സിക് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ (HPSl)
പ്രോപ്പർട്ടികൾ
1. ഭൗതികവും ഘടനാപരവുമായ ഗുണങ്ങൾ
●മെറ്റീരിയൽ തരം: ഉയർന്ന ശുദ്ധത (അൺഡോപ്പ്ഡ്) സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC)
●വ്യാസം: 3 ഇഞ്ച് (76.2 മിമി)
●കനം: 0.33-0.5 മിമി, ആപ്ലിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
●സ്ഫടിക ഘടന: ഉയർന്ന ഇലക്ട്രോൺ മൊബിലിറ്റിക്കും താപ സ്ഥിരതയ്ക്കും പേരുകേട്ട, ഷഡ്ഭുജാകൃതിയിലുള്ള ലാറ്റിസുള്ള 4H-SiC പോളിടൈപ്പ്.
● ഓറിയന്റേഷൻ:
oസ്റ്റാൻഡേർഡ്: [0001] (സി-പ്ലെയിൻ), വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യം.
oഓപ്ഷണൽ: ഉപകരണ പാളികളുടെ മെച്ചപ്പെട്ട എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്കായി ഓഫ്-ആക്സിസ് (4° അല്ലെങ്കിൽ 8° ചരിവ്).
●പരന്നത: ആകെ കനം വ്യതിയാനം (TTV) ●ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം:
oപോളിഷ് ചെയ്തത് oകുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രതയിലേക്ക് (<10/cm² മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത). 2. വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ ●പ്രതിരോധശേഷി: >109^99 Ω·cm, ഉദ്ദേശപൂർവ്വമായ ഡോപന്റുകളുടെ ഉന്മൂലനം വഴി നിലനിർത്തുന്നു.
●ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി: കുറഞ്ഞ ഡൈഇലക്ട്രിക് നഷ്ടങ്ങളുള്ള ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് സഹിഷ്ണുത, ഉയർന്ന പവർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യം.
●താപ ചാലകത: 3.5-4.9 W/cm·K, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഉപകരണങ്ങളിൽ ഫലപ്രദമായ താപ വിസർജ്ജനം സാധ്യമാക്കുന്നു.
3. താപ, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ
●വൈഡ് ബാൻഡ്ഗാപ്പ്: 3.26 eV, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ്, ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന വികിരണം എന്നിവയ്ക്ക് കീഴിലുള്ള പ്രവർത്തനത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
●കാഠിന്യം: മോസ് സ്കെയിൽ 9, പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് മെക്കാനിക്കൽ തേയ്മാനത്തിനെതിരെ ദൃഢത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
●താപ വികാസ ഗുണകം: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, താപനില വ്യതിയാനങ്ങളിൽ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
പാരാമീറ്റർ | പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് | ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് | യൂണിറ്റ് |
ഗ്രേഡ് | പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് | ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് | |
വ്യാസം | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
കനം | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ | ഓൺ-ആക്സിസ്: <0001> ± 0.5° | ഓൺ-ആക്സിസ്: <0001> ± 2.0° | ഓൺ-ആക്സിസ്: <0001> ± 2.0° | ബിരുദം |
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത (MPD) | ≤ 1 ≤ 1 | ≤ 5 ≤ 5 | ≤ 10 ≤ 10 | സെ.മീ−2^-2−2 |
വൈദ്യുത പ്രതിരോധം | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·സെ.മീ |
ഡോപന്റ് | ഡോപ്പ് റദ്ദാക്കിയത് | ഡോപ്പ് റദ്ദാക്കിയത് | ഡോപ്പ് റദ്ദാക്കിയത് | |
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ബിരുദം |
പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് 90° CW ± 5.0° | പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് 90° CW ± 5.0° | പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് 90° CW ± 5.0° | ബിരുദം |
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ | 3 | 3 | 3 | mm |
എൽടിവി/ടിടിവി/ബോ/വാർപ്പ് | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5 / 15 / ± 40 / 45 | µm |
ഉപരിതല കാഠിന്യം | സൈ-ഫെയ്സ്: CMP, സി-ഫെയ്സ്: പോളിഷ് ചെയ്തത് | സൈ-ഫെയ്സ്: CMP, സി-ഫെയ്സ്: പോളിഷ് ചെയ്തത് | സൈ-ഫെയ്സ്: CMP, സി-ഫെയ്സ്: പോളിഷ് ചെയ്തത് | |
വിള്ളലുകൾ (ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം) | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | |
ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ (ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം) | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം 10% | % |
പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ (ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം) | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം 5% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം 20% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം 30% | % |
പോറലുകൾ (ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള വെളിച്ചം) | ≤ 5 സ്ക്രാച്ചുകൾ, സഞ്ചിത നീളം ≤ 150 | ≤ 10 സ്ക്രാച്ചുകൾ, സഞ്ചിത നീളം ≤ 200 | ≤ 10 സ്ക്രാച്ചുകൾ, സഞ്ചിത നീളം ≤ 200 | mm |
എഡ്ജ് ചിപ്പിംഗ് | ഒന്നുമില്ല ≥ 0.5 മി.മീ. വീതി/ആഴം | 2 അനുവദനീയം ≤ 1 മില്ലീമീറ്റർ വീതി/ആഴം | 5 അനുവദനീയം ≤ 5 മില്ലീമീറ്റർ വീതി/ആഴം | mm |
ഉപരിതല മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
അപേക്ഷകൾ
1. പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്
HPSI SiC സബ്സ്ട്രേറ്റുകളുടെ വിശാലമായ ബാൻഡ്ഗ്യാപ്പും ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും അവയെ അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന പവർ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു, ഉദാഹരണത്തിന്:
●ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ഉപകരണങ്ങൾ: കാര്യക്ഷമമായ പവർ കൺവേർഷനുള്ള MOSFET-കൾ, IGBT-കൾ, ഷോട്ട്കി ബാരിയർ ഡയോഡുകൾ (SBD-കൾ) എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
●പുനരുപയോഗ ഊർജ്ജ സംവിധാനങ്ങൾ: സോളാർ ഇൻവെർട്ടറുകൾ, വിൻഡ് ടർബൈൻ കൺട്രോളറുകൾ എന്നിവ പോലുള്ളവ.
●ഇലക്ട്രിക് വാഹനങ്ങൾ (ഇവി): കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും വലുപ്പം കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഇൻവെർട്ടറുകൾ, ചാർജറുകൾ, പവർട്രെയിൻ സിസ്റ്റങ്ങൾ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
2. RF, മൈക്രോവേവ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
റേഡിയോ-ഫ്രീക്വൻസി (RF), മൈക്രോവേവ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് HPSI വേഫറുകളുടെ ഉയർന്ന പ്രതിരോധശേഷിയും കുറഞ്ഞ ഡൈഇലക്ട്രിക് നഷ്ടങ്ങളും അത്യാവശ്യമാണ്, അവയിൽ ചിലത് ഇവയാണ്:
●ടെലികമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ ഇൻഫ്രാസ്ട്രക്ചർ: 5G നെറ്റ്വർക്കുകൾക്കും ഉപഗ്രഹ ആശയവിനിമയങ്ങൾക്കുമുള്ള ബേസ് സ്റ്റേഷനുകൾ.
●എയ്റോസ്പേസും പ്രതിരോധവും: റഡാർ സംവിധാനങ്ങൾ, ഘട്ടം ഘട്ടമായുള്ള ആന്റിനകൾ, ഏവിയോണിക്സ് ഘടകങ്ങൾ.
3. ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്സ്
4H-SiC യുടെ സുതാര്യതയും വിശാലമായ ബാൻഡ്ഗ്യാപ്പും ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളിൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു, ഉദാഹരണത്തിന്:
●യുവി ഫോട്ടോഡിറ്റക്ടറുകൾ: പരിസ്ഥിതി നിരീക്ഷണത്തിനും മെഡിക്കൽ ഡയഗ്നോസ്റ്റിക്സിനും.
●ഉയർന്ന പവർ എൽഇഡികൾ: സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് ലൈറ്റിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
●ലേസർ ഡയോഡുകൾ: വ്യാവസായിക, വൈദ്യ ആവശ്യങ്ങൾക്ക്.
4. ഗവേഷണ വികസനം
നൂതന മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങളും ഉപകരണ നിർമ്മാണവും പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നതിനായി അക്കാദമിക്, വ്യാവസായിക ഗവേഷണ വികസന ലാബുകളിൽ HPSI SiC സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അവയിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
●എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർച്ച: വൈകല്യ കുറയ്ക്കൽ, പാളി ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ എന്നിവയെക്കുറിച്ചുള്ള പഠനങ്ങൾ.
●കാരിയർ മൊബിലിറ്റി പഠനങ്ങൾ: ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വസ്തുക്കളിൽ ഇലക്ട്രോൺ, ഹോൾ ട്രാൻസ്പോർട്ടിനെക്കുറിച്ചുള്ള അന്വേഷണം.
●പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ്: നൂതന ഉപകരണങ്ങളുടെയും സർക്യൂട്ടുകളുടെയും പ്രാരംഭ വികസനം.
പ്രയോജനങ്ങൾ
മികച്ച നിലവാരം:
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും കുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രതയും നൂതന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് വിശ്വസനീയമായ ഒരു പ്ലാറ്റ്ഫോം നൽകുന്നു.
താപ സ്ഥിരത:
മികച്ച താപ വിസർജ്ജന ഗുണങ്ങൾ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ, താപനില സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഉപകരണങ്ങൾ കാര്യക്ഷമമായി പ്രവർത്തിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു.
വിശാലമായ അനുയോജ്യത:
ലഭ്യമായ ഓറിയന്റേഷനുകളും ഇഷ്ടാനുസൃത കനം ഓപ്ഷനുകളും വിവിധ ഉപകരണ ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുയോജ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഈട്:
അസാധാരണമായ കാഠിന്യവും ഘടനാപരമായ സ്ഥിരതയും പ്രോസസ്സിംഗിലും പ്രവർത്തനത്തിലും തേയ്മാനവും രൂപഭേദവും കുറയ്ക്കുന്നു.
വൈവിധ്യം:
പുനരുപയോഗിക്കാവുന്ന ഊർജ്ജം മുതൽ എയ്റോസ്പേസ്, ടെലികമ്മ്യൂണിക്കേഷൻ വരെയുള്ള വിവിധ വ്യവസായങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യം.
തീരുമാനം
3 ഇഞ്ച് ഹൈ പ്യൂരിറ്റി സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ഉയർന്ന പവർ, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്കായുള്ള സബ്സ്ട്രേറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പരകോടിയെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു. മികച്ച തെർമൽ, ഇലക്ട്രിക്കൽ, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളുടെ സംയോജനം വെല്ലുവിളി നിറഞ്ഞ പരിതസ്ഥിതികളിൽ വിശ്വസനീയമായ പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കുന്നു. പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ആർഎഫ് സിസ്റ്റങ്ങൾ മുതൽ ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, നൂതന ഗവേഷണ വികസനം വരെ, ഈ എച്ച്പിഎസ്ഐ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ നാളത്തെ നവീകരണങ്ങൾക്ക് അടിത്തറ നൽകുന്നു.
കൂടുതൽ വിവരങ്ങൾക്ക് അല്ലെങ്കിൽ ഓർഡർ നൽകുന്നതിന്, ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക. നിങ്ങളുടെ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസൃതമായി മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശവും ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ഓപ്ഷനുകളും നൽകാൻ ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക സംഘം ലഭ്യമാണ്.
വിശദമായ ഡയഗ്രം



