അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ SiC എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ്

ഹൃസ്വ വിവരണം:

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ തുടർച്ചയായ പരിണാമത്തോടെ, പ്രോസസ്സിംഗ്, പരിശോധന ഉപകരണങ്ങൾക്ക് എക്കാലത്തെയും ഉയർന്ന പ്രകടനം ആവശ്യമാണ്. ചലന നിയന്ത്രണത്തിലും നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ പൊസിഷനിംഗിലും വിപുലമായ വൈദഗ്ധ്യം കെട്ടിപ്പടുക്കുന്നതിലൂടെ, ഞങ്ങൾ ഒരു പ്ലാനർ H-ടൈപ്പ് ഡ്യുവൽ-ആക്സിസ് അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ് വികസിപ്പിച്ചെടുത്തിട്ടുണ്ട്.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഫീച്ചറുകൾ

വിശദമായ ഡയഗ്രം

അവലോകനം

ഫിനിറ്റ്-എലമെന്റ്-ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സെറാമിക് ഘടനയും കോമ്പൻസേറ്റഡ് എയർ-ബെയറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉപയോഗിച്ച് രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഈ സ്റ്റേജ് മികച്ച കൃത്യത, കാഠിന്യം, ചലനാത്മക പ്രതികരണം എന്നിവ നൽകുന്നു. ഇത് ഇവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്:

സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ്സിംഗും പരിശോധനയും
മൈക്രോ/നാനോ നിർമ്മാണവും മെട്രോളജിയും
നാനോമീറ്റർ-സ്കെയിൽ ഫ്ലൈ-കട്ടിംഗും പോളിഷിംഗും
ഹൈ-സ്പീഡ് പ്രിസിഷൻ സ്കാനിംഗ്

പ്രധാന സവിശേഷതകൾ

SiC എയർ-ബെയറിംഗ് ഗൈഡ്‌വേവളരെ ഉയർന്ന കാഠിന്യത്തിനും കൃത്യതയ്ക്കും
ഉയർന്ന ചലനാത്മകത: 1 മീ/സെക്കൻഡ് വരെ വേഗത, 4 ഗ്രാം വരെ ത്വരണം, ദ്രുതഗതിയിലുള്ള സ്ഥിരീകരണം
ഡ്യുവൽ-ഡ്രൈവ് ഗാൻട്രി Y-ആക്സിസ്ഉയർന്ന ലോഡ് ശേഷിയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു
എൻകോഡർ ഓപ്ഷനുകൾ: ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്രേറ്റിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ
സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത: ±0.15 μm;ആവർത്തനക്ഷമത: ±75 നാനോമീറ്റർ
ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത കേബിൾ റൂട്ടിംഗ്വൃത്തിയുള്ള രൂപകൽപ്പനയ്ക്കും ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യതയ്ക്കും വേണ്ടി
ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്ന കോൺഫിഗറേഷനുകൾആപ്ലിക്കേഷൻ-നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യങ്ങൾക്ക്

അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ ഡിസൈൻ & ഡയറക്ട്-ഡ്രൈവ്, നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് ആർക്കിടെക്ചർ

SiC സെറാമിക് ഫ്രെയിം: അലുമിനിയം അലോയ്യുടെ കാഠിന്യം ~5× ഉം താപ വികാസം ~5× ഉം കുറഞ്ഞതിനാൽ ഉയർന്ന വേഗതയുള്ള സ്ഥിരതയും താപ കരുത്തും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
നഷ്ടപരിഹാരം നൽകുന്ന എയർ-ബെയറിംഗ്: പ്രൊപ്രൈറ്ററി ഡിസൈൻ കാഠിന്യം, ലോഡ് ശേഷി, ചലന സ്ഥിരത എന്നിവ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
ഡൈനാമിക് പ്രകടനം: 1 മീ/സെക്കൻഡ് വേഗതയും 4 ഗ്രാം ത്വരണവും പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട് പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യം.
സുഗമമായ സംയോജനം: വൈബ്രേഷൻ ഐസൊലേഷൻ സിസ്റ്റങ്ങൾ, റോട്ടറി സ്റ്റേജുകൾ, ടിൽറ്റ് മൊഡ്യൂളുകൾ, വേഫർ ഹാൻഡ്ലിംഗ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമുകൾ എന്നിവയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
കേബിൾ മാനേജ്മെന്റ്: നിയന്ത്രിത വളയുന്ന ആരം ദീർഘമായ സേവന ജീവിതത്തിനായി സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നു.

കോർലെസ് ലീനിയർ മോട്ടോർ: കോഗിംഗ് ഫോഴ്‌സ് ഇല്ലാതെ സുഗമമായ ചലനം.
മൾട്ടി-മോട്ടോർ ഡ്രൈവ്: ലോഡ്-പ്ലെയിൻ മോട്ടോർ പ്ലേസ്മെന്റ് നേരായത, പരന്നത, കോണീയ കൃത്യത എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
താപ ഒറ്റപ്പെടൽ: സ്റ്റേജ് ഘടനയിൽ നിന്ന് മോട്ടോറുകൾ വേർതിരിച്ചിരിക്കുന്നു; ഉയർന്ന ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിളുകൾക്ക് ഓപ്ഷണൽ എയർ അല്ലെങ്കിൽ വാട്ടർ കൂളിംഗ്.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ

മോഡൽ	400-400	500-500	600-600
അച്ചുതണ്ടുകൾ	X (സ്കാൻ) / Y (ഘട്ടം)	X (സ്കാൻ) / Y (ഘട്ടം)	X (സ്കാൻ) / Y (ഘട്ടം)
യാത്ര (മില്ലീമീറ്റർ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
കൃത്യത (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
ആവർത്തനക്ഷമത (nm)	±75	±100	±100
റെസല്യൂഷൻ (nm)	0.3	0.3	0.3
പരമാവധി വേഗത (മീ/സെ)	1	1	1
ത്വരണം (ഗ്രാം)	4	4	4
നേരായത് (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
സ്ഥിരത (nm)	±5	±5	±5
പരമാവധി ലോഡ് (കിലോ)	20	20	20
പിച്ച്/റോൾ/യാവ് (ആർക്ക്-സെക്കൻഡ്)	±1	±1	±1

പരീക്ഷണ വ്യവസ്ഥകൾ:

വായു വിതരണം: വൃത്തിയുള്ളതും വരണ്ടതും; മഞ്ഞു പോയിന്റ് ≤ 0°F; കണികാ ശുദ്ധീകരണം ≤ 0.25 μm; അല്ലെങ്കിൽ 99.99% നൈട്രജൻ.
സ്റ്റേജ് സെന്ററിന് മുകളിൽ 20±1 °C, 40–60% RH എന്നിവയിൽ 25 mm അളന്ന കൃത്യത.

അപേക്ഷകൾ

സെമികണ്ടക്ടർ ലിത്തോഗ്രാഫി, പരിശോധന, വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ
മൈക്രോ/നാനോ നിർമ്മാണവും കൃത്യത മെട്രോളജിയും
ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഒപ്റ്റിക്സ് നിർമ്മാണവും ഇന്റർഫെറോമെട്രിയും
ബഹിരാകാശവും നൂതന ശാസ്ത്ര ഗവേഷണവും

പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ - സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ്

1. വായു വഹിക്കുന്ന ഘട്ടം എന്താണ്?

ഒരു എയർ-ബെയറിംഗ് സ്റ്റേജ് സ്റ്റേജിനും ഗൈഡ്‌വേയ്‌ക്കും ഇടയിൽ മർദ്ദമുള്ള വായുവിന്റെ നേർത്ത പാളി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് നൽകുന്നത്ഘർഷണരഹിതം, തേയ്മാനം-രഹിതം, വളരെ സുഗമമായ ചലനംപരമ്പരാഗത മെക്കാനിക്കൽ ബെയറിംഗുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, ഇത് സ്റ്റിക്ക്-സ്ലിപ്പ് ഒഴിവാക്കുന്നു, നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ കൃത്യത നൽകുന്നു, ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യതയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.

2. സ്റ്റേജ് ഘടനയ്ക്ക് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) ഉപയോഗിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

ഉയർന്ന കാഠിന്യം: ~5× അലുമിനിയം അലോയ്, ഡൈനാമിക് മോഷൻ സമയത്ത് രൂപഭേദം കുറയ്ക്കുന്നു.
കുറഞ്ഞ താപ വികാസം: അലൂമിനിയത്തേക്കാൾ ~5× കുറവ്, താപനില വ്യതിയാനങ്ങളിൽ കൃത്യത നിലനിർത്തുന്നു.
ഭാരം കുറഞ്ഞത്: സ്റ്റീലിനെ അപേക്ഷിച്ച് കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത, ഉയർന്ന വേഗതയും ഉയർന്ന ത്വരിതപ്പെടുത്തലും സാധ്യമാക്കുന്നു.
മികച്ച സ്ഥിരത: അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ പൊസിഷനിംഗിനായി മികച്ച ഡാംപിംഗും കാഠിന്യവും.

3. സ്റ്റേജിന് ലൂബ്രിക്കേഷനോ അറ്റകുറ്റപ്പണികളോ ആവശ്യമുണ്ടോ?

പരമ്പരാഗത ലൂബ്രിക്കേഷൻ ആവശ്യമില്ല, കാരണം അവിടെയുണ്ട്മെക്കാനിക്കൽ സമ്പർക്കം ഇല്ലശുപാർശ ചെയ്യുന്ന അറ്റകുറ്റപ്പണികളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

വിതരണം ചെയ്യുന്നുശുദ്ധവും വരണ്ടതുമായ കംപ്രസ് ചെയ്ത വായു അല്ലെങ്കിൽ നൈട്രജൻ
ഫിൽട്ടറുകളുടെയും ഡ്രയറുകളുടെയും ആനുകാലിക പരിശോധന.
കേബിളുകളും കൂളിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളും നിരീക്ഷിക്കൽ

4. വായു വിതരണ ആവശ്യകതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

മഞ്ഞു പോയിന്റ്: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
കണികാ ശുദ്ധീകരണം: ≤ 0.25 μm
ശുദ്ധവും വരണ്ടതുമായ വായു അല്ലെങ്കിൽ 99.99% ശുദ്ധമായ നൈട്രജൻ
കുറഞ്ഞ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളുള്ള സ്ഥിരതയുള്ള മർദ്ദം

ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്

പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്‌കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്‌ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.