സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) വേഫർ ബോട്ട്

1. എന്താണ് ഒരു SiC വേഫർ ബോട്ട്?

ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ് കാരിയറാണ് SiC വേഫർ ബോട്ട്. എപ്പിറ്റാക്സി, ഓക്സിഡേഷൻ, ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ വേഫറുകൾ പിടിക്കാനും കൊണ്ടുപോകാനും ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു. പരമ്പരാഗത ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, SiC വേഫർ ബോട്ടുകൾ മികച്ച താപ സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം, ദീർഘമായ സേവന ജീവിതം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.

2. ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾക്ക് പകരം SiC വേഫർ ബോട്ടുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

• ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം: ക്വാർട്സ് (≤1200°C) നെ അപേക്ഷിച്ച് 1800°C വരെ സ്ഥിരതയുള്ളത്.

• മികച്ച CTE പൊരുത്തം: SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്ക് സമീപം, വേഫർ സമ്മർദ്ദവും വിള്ളലും കുറയ്ക്കുന്നു.

• താഴ്ന്ന കണിക ഉത്പാദനം: മിനുസമാർന്നതും ഇടതൂർന്നതുമായ പ്രതലം മലിനീകരണം കുറയ്ക്കുന്നു.

• കൂടുതൽ ആയുസ്സ്: ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകളേക്കാൾ 3–5 മടങ്ങ് നീളം, ഉടമസ്ഥാവകാശ ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു.

3. SiC വേഫർ ബോട്ടുകൾക്ക് ഏതൊക്കെ വേഫർ വലുപ്പങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കാൻ കഴിയും?

ഞങ്ങൾ സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഡിസൈനുകൾ നൽകുന്നു4-ഇഞ്ച്, 6-ഇഞ്ച്, 8-ഇഞ്ച്ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി പൂർണ്ണമായ ഇച്ഛാനുസൃതമാക്കലോടെ വേഫറുകൾ ലഭ്യമാണ്.

4. SiC വേഫർ ബോട്ടുകൾ സാധാരണയായി ഏതൊക്കെ പ്രക്രിയകളിലാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്?

• SiC എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച

• പവർ സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ നിർമ്മാണം (SiC MOSFET-കൾ, SBD-കൾ, IGBT-കൾ)

• ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള അനീലിംഗ്, നൈട്രിഡേഷൻ, കാർബണൈസേഷൻ

• ഓക്സിഡേഷൻ, ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രക്രിയകൾ