സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാന്റിലിവർ പാഡിൽ (SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽ)

ഹൃസ്വ വിവരണം:

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഫീച്ചറുകൾ

വിശദമായ ഡയഗ്രം

ഉൽപ്പന്ന അവലോകനം

ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള റിയാക്ഷൻ-ബോണ്ടഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ (RBSiC) നിന്ന് നിർമ്മിച്ച സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാന്റിലിവർ പാഡിൽ, അർദ്ധചാലക, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായുള്ള വേഫർ ലോഡിംഗ്, ഹാൻഡ്ലിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നിർണായക ഘടകമാണ്.
പരമ്പരാഗത ക്വാർട്സ് അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് പാഡിലുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, SiC കാന്റിലിവർ പാഡിലുകൾ മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, ഉയർന്ന കാഠിന്യം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയിൽ അവ മികച്ച ഘടനാപരമായ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുന്നു, വലിയ വേഫർ വലുപ്പങ്ങൾ, വിപുലീകൃത സേവന ജീവിതം, വളരെ കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം എന്നിവയുടെ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു.

വലിയ വേഫർ വ്യാസം, ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട്, ക്ലീനർ പ്രോസസ്സിംഗ് പരിതസ്ഥിതികൾ എന്നിവയിലേക്കുള്ള അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയകളുടെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, SiC കാന്റിലിവർ പാഡലുകൾ ക്രമേണ പരമ്പരാഗത വസ്തുക്കളെ മാറ്റിസ്ഥാപിച്ചു, ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസുകൾ, LPCVD, അനുബന്ധ ഉയർന്ന താപനില ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് ഇഷ്ടപ്പെട്ട തിരഞ്ഞെടുപ്പായി മാറി.

ഉൽപ്പന്ന സവിശേഷതകൾ

മികച്ച ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത
- 1000–1300℃ താപനിലയിൽ രൂപഭേദം കൂടാതെ വിശ്വസനീയമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
- പരമാവധി സേവന താപനില 1380℃ വരെ.
ഉയർന്ന ലോഡ്-ബെയറിംഗ് ശേഷി
- 250–280 MPa വരെ വളയാനുള്ള ശക്തി, ക്വാർട്സ് പാഡിലുകളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്.
- വലിയ വ്യാസമുള്ള വേഫറുകൾ (300 മില്ലീമീറ്ററും അതിൽ കൂടുതലും) കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ കഴിവുണ്ട്.
ദീർഘിപ്പിച്ച സേവന ജീവിതവും കുറഞ്ഞ പരിപാലനവും
- കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളുമായി നന്നായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
- സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന വിള്ളലുകളും അടർന്നുവീഴലും കുറയ്ക്കുന്നു, വൃത്തിയാക്കലും അറ്റകുറ്റപ്പണികളും ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
നാശന പ്രതിരോധവും പരിശുദ്ധിയും
- ആസിഡുകൾക്കും ക്ഷാരങ്ങൾക്കും മികച്ച പ്രതിരോധം.
- കണിക ഉത്പാദനവും മാലിന്യ പുറന്തള്ളലും കുറയ്ക്കുന്ന, തുറന്ന പോറോസിറ്റി <0.1% ഉള്ള സാന്ദ്രമായ സൂക്ഷ്മഘടന.
ഓട്ടോമേഷൻ-അനുയോജ്യമായ ഡിസൈൻ
- ഉയർന്ന അളവിലുള്ള കൃത്യതയോടെ സ്ഥിരതയുള്ള ക്രോസ്-സെക്ഷണൽ ജ്യാമിതി.
- റോബോട്ടിക് വേഫർ ലോഡിംഗ്, അൺലോഡിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളുമായി സുഗമമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഉൽപ്പാദനം സാധ്യമാക്കുന്നു.

ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങൾ

ഇനം	യൂണിറ്റ്	ഡാറ്റ
പരമാവധി സേവന താപനില	℃	1380 മേരിലാൻഡ്
സാന്ദ്രത	ഗ്രാം/സെ.മീ³	3.04 - 3.08
തുറന്ന പോറോസിറ്റി	%	< 0.1
ബെൻഡിംഗ് സ്ട്രെങ്ത്	എം.പി.എ	250 (20℃), 280 (1200℃)
ഇലാസ്തികതയുടെ മോഡുലസ്	ജിപിഎ	330 (20℃), 300 (1200℃)
താപ ചാലകത	പടിഞ്ഞാറ്/മീറ്റർ·ക	45 (1200℃)
താപ വികാസ ഗുണകം	കെ⁻¹×10⁻⁶	4.5 प्रकाली
വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം	എച്ച്വി2	≥ 2100
ആസിഡ്/ക്ഷാര പ്രതിരോധം	-	മികച്ചത്

സ്റ്റാൻഡേർഡ് ദൈർഘ്യം:2378 മി.മീ., 2550 മി.മീ., 2660 മി.മീ.
അഭ്യർത്ഥന പ്രകാരം ഇഷ്ടാനുസൃത അളവുകൾ ലഭ്യമാണ്.

അപേക്ഷകൾ

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം
- എൽപിസിവിഡി (ലോ പ്രഷർ കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ)
- ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രക്രിയകൾ (ഫോസ്ഫറസ്, ബോറോൺ, മുതലായവ)
- താപ ഓക്സീകരണം
ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് വ്യവസായം
- പോളിസിലിക്കൺ, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ വേഫർ ഡിഫ്യൂഷനും കോട്ടിംഗും
- ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള അനീലിംഗും നിഷ്ക്രിയത്വവും
മറ്റ് മേഖലകൾ
- ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള നശിപ്പിക്കുന്ന ചുറ്റുപാടുകൾ
- ദീർഘമായ സേവന ജീവിതവും കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും ആവശ്യമുള്ള കൃത്യമായ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ സംവിധാനങ്ങൾ

ഉപഭോക്തൃ ആനുകൂല്യങ്ങൾ

പ്രവർത്തനച്ചെലവ് കുറച്ചു- ക്വാർട്സ് പാഡിലുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ കൂടുതൽ ആയുസ്സ്, പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയവും മാറ്റിസ്ഥാപിക്കൽ ആവൃത്തിയും കുറയ്ക്കുന്നു.
ഉയർന്ന വിളവ്- വളരെ കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം വേഫറിന്റെ ഉപരിതല ശുചിത്വം ഉറപ്പാക്കുകയും വൈകല്യ നിരക്ക് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഭാവി-തെളിവ്- വലിയ വേഫർ വലുപ്പങ്ങളുമായും അടുത്ത തലമുറ സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയകളുമായും പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
മെച്ചപ്പെട്ട ഉൽപ്പാദനക്ഷമത- ഉയർന്ന അളവിലുള്ള നിർമ്മാണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന, റോബോട്ടിക് ഓട്ടോമേഷൻ സിസ്റ്റങ്ങളുമായി പൂർണ്ണമായും പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.

പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ - സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാന്റിലിവർ പാഡിൽ

Q1: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാന്റിലിവർ പാഡിൽ എന്താണ്?
A: ഇത് റിയാക്ഷൻ-ബോണ്ടഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (RBSiC) കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഒരു വേഫർ സപ്പോർട്ടും ഹാൻഡ്ലിംഗ് ഘടകവുമാണ്. ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസുകൾ, LPCVD, മറ്റ് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അർദ്ധചാലക, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

Q2: ക്വാർട്സ് പാഡിലുകൾക്ക് പകരം SiC തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?
A: ക്വാർട്സ് പാഡിലുകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, SiC പാഡിലുകൾ ഇവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു:

ഉയർന്ന മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും ഭാരം താങ്ങാനുള്ള ശേഷിയും
1380°C വരെയുള്ള താപനിലയിൽ മികച്ച താപ സ്ഥിരത
വളരെ നീണ്ട സേവന ജീവിതവും കുറഞ്ഞ അറ്റകുറ്റപ്പണി ചക്രങ്ങളും
കണിക ഉത്പാദനത്തിനും മലിനീകരണ സാധ്യതയ്ക്കും കുറവ്
വലിയ വേഫർ വലുപ്പങ്ങളുമായുള്ള അനുയോജ്യത (300 മില്ലീമീറ്ററും അതിൽ കൂടുതലും)

Q3: SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽ ഏതൊക്കെ വേഫർ വലുപ്പങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കും?
A: 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm ഫർണസ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് സ്റ്റാൻഡേർഡ് പാഡിൽസ് ലഭ്യമാണ്. 300 mm വരെയും അതിൽ കൂടുതലുമുള്ള വേഫറുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിന് ഇഷ്ടാനുസൃത അളവുകൾ ലഭ്യമാണ്.

ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്

പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്‌കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്‌ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.