വെറ്റ് എച്ചിംഗ്

വെറ്റ് എച്ചിംഗ്, നീലക്കല്ലിന്റെ വസ്തുക്കൾ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും ആവശ്യമുള്ള സൂക്ഷ്മഘടനകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനും പ്രത്യേക രാസ ലായനികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ പ്രക്രിയ ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട്, നല്ല ഏകീകൃതത, താരതമ്യേന കുറഞ്ഞ പ്രോസസ്സിംഗ് ചെലവ് എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഇത് വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള പാറ്റേണിംഗിനും മിതമായ സൈഡ്‌വാൾ പ്രൊഫൈൽ ആവശ്യകതകളുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

ലായനി ഘടന, താപനില, എച്ചിംഗ് സമയം എന്നിവ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നതിലൂടെ, എച്ചിന്റെ ആഴത്തിന്റെയും ഉപരിതല രൂപഘടനയുടെയും സ്ഥിരമായ നിയന്ത്രണം കൈവരിക്കാൻ കഴിയും. എൽഇഡി പാക്കേജിംഗ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ, ഘടനാപരമായ പിന്തുണ പാളികൾ, തിരഞ്ഞെടുത്ത MEMS ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയിൽ വെറ്റ്-എച്ചഡ് സഫയർ വേഫറുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഡ്രൈ എച്ചിംഗ്

പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ റിയാക്ടീവ് അയോൺ എച്ചിംഗ് (RIE) പോലുള്ള ഡ്രൈ എച്ചിംഗ്, ഭൗതികവും രാസപരവുമായ സംവിധാനങ്ങളിലൂടെ നീലക്കല്ല് കൊത്തിവയ്ക്കുന്നതിന് ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോണുകളോ റിയാക്ടീവ് സ്പീഷീസുകളോ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ രീതി മികച്ച അനീസോട്രോപ്പി, ഉയർന്ന കൃത്യത, മികച്ച പാറ്റേൺ ട്രാൻസ്ഫർ കഴിവ് എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് മികച്ച സവിശേഷതകളുടെയും ഉയർന്ന വീക്ഷണാനുപാത മൈക്രോസ്ട്രക്ചറുകളുടെയും നിർമ്മാണം പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.

ലംബമായ സൈഡ്‌വാളുകൾ, മൂർച്ചയുള്ള ഫീച്ചർ ഡെഫനിഷൻ, മൈക്രോ-എൽഇഡി ഉപകരണങ്ങൾ, നൂതന സെമികണ്ടക്ടർ പാക്കേജിംഗ്, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള MEMS ഘടനകൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഇറുകിയ ഡൈമൻഷണൽ നിയന്ത്രണം എന്നിവ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് ഡ്രൈ എച്ചിംഗ് പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാണ്.