പേര്: ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിലെ FOUP എന്താണ്?

ഉള്ളടക്ക പട്ടിക

1.​FOUP-യുടെ അവലോകനവും പ്രധാന പ്രവർത്തനങ്ങളും

2.​FOUP​ ന്റെ ഘടനയും രൂപകൽപ്പനയും

3. FOUP യുടെ വർഗ്ഗീകരണവും പ്രയോഗ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങളും

4. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ FOUP യുടെ പ്രവർത്തനങ്ങളും പ്രാധാന്യവും​

5.​​സാങ്കേതിക വെല്ലുവിളികളും ഭാവി വികസന പ്രവണതകളും​

6.XKH-ന്റെ ഇഷ്ടാനുസൃത പരിഹാരങ്ങളും സേവന പിന്തുണയും​

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, ഫ്രണ്ട് ഓപ്പണിംഗ് യൂണിഫൈഡ് പോഡ് (FOUP) വേഫറുകൾ സംരക്ഷിക്കുന്നതിനും കൊണ്ടുപോകുന്നതിനും സംഭരിക്കുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു നിർണായക കണ്ടെയ്നറാണ്. ഇതിന്റെ ഉൾഭാഗത്ത് 300mm വേഫറുകളുടെ 25 കഷണങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളാൻ കഴിയും, കൂടാതെ അതിന്റെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിൽ ഒരു ഫ്രണ്ട്-ഓപ്പണിംഗ് കണ്ടെയ്നറും തുറക്കുന്നതിനും അടയ്ക്കുന്നതിനുമുള്ള ഒരു പ്രത്യേക വാതിൽ ഫ്രെയിമും ഉൾപ്പെടുന്നു. 12 ഇഞ്ച് വേഫർ ഫാബുകൾക്കുള്ളിൽ ഓട്ടോമേറ്റഡ് ട്രാൻസ്പോർട്ടേഷൻ സിസ്റ്റത്തിലെ ഒരു കോർ കാരിയറാണ് FOUP. ഇത് സാധാരണയായി അടച്ച അവസ്ഥയിൽ കൊണ്ടുപോകുന്നു, കൂടാതെ ഉപകരണ ലോഡ് പോർട്ടിലേക്ക് തള്ളുമ്പോൾ മാത്രമേ തുറക്കൂ, ഇത് വേഫറുകൾ ഉപകരണങ്ങളുടെ ലോഡിംഗ്/അൺലോഡിംഗ് പോർട്ടിലേക്ക് മാറ്റാൻ അനുവദിക്കുന്നു.

FOUP യുടെ രൂപകൽപ്പന സൂക്ഷ്മ പരിസ്ഥിതി ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമാണ്. വേഫർ ഉൾപ്പെടുത്തലിനായി പിന്നിൽ സ്ലോട്ടുകൾ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഓപ്പണറിന്റെ ക്ലാമ്പുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന തരത്തിലാണ് ലിഡ് പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. വേഫർ-ഹാൻഡ്‌ലിംഗ് റോബോട്ടുകൾ ക്ലാസ് 1 ശുദ്ധവായു അന്തരീക്ഷത്തിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നു, ഇത് ട്രാൻസ്മിഷൻ സമയത്ത് വേഫറുകൾ മലിനമാകില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. കൂടാതെ, ഒരു ഓട്ടോമേറ്റഡ് മെറ്റീരിയൽ ഹാൻഡ്‌ലിംഗ് സിസ്റ്റം (AMHS) വഴി പ്രോസസ് ഉപകരണങ്ങൾക്കിടയിൽ FOUP നീക്കുന്നു. ആധുനിക വേഫർ ഫാബുകൾ ഗതാഗതത്തിനായി ഓവർഹെഡ് റെയിൽ സംവിധാനങ്ങളാണ് കൂടുതലും ഉപയോഗിക്കുന്നത്, അതേസമയം ചില പഴയ ഫാബുകൾ ഗ്രൗണ്ട്-ബേസ്ഡ് ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഗൈഡഡ് വെഹിക്കിളുകൾ (AGV-കൾ) ഉപയോഗിച്ചേക്കാം.

FOUP ഓട്ടോമേറ്റഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ പ്രാപ്തമാക്കുക മാത്രമല്ല, ഒരു സംഭരണ ​​പ്രവർത്തനവും നിർവഹിക്കുന്നു. നിരവധി നിർമ്മാണ ഘട്ടങ്ങൾ കാരണം, മുഴുവൻ പ്രക്രിയയും പൂർത്തിയാക്കാൻ വേഫറുകൾക്ക് മാസങ്ങൾ എടുത്തേക്കാം. ഉയർന്ന പ്രതിമാസ ഉൽ‌പാദന അളവുകളുമായി സംയോജിപ്പിച്ചാൽ, ഒരു ഫാബിനുള്ളിലെ പതിനായിരക്കണക്കിന് വേഫറുകൾ ഏത് സമയത്തും ഗതാഗതത്തിലോ താൽക്കാലിക സംഭരണത്തിലോ ആയിരിക്കും എന്നാണ് ഇതിനർത്ഥം. സംഭരണ ​​സമയത്ത്, മാലിന്യങ്ങൾ വേഫറുകളുമായി സമ്പർക്കം പുലർത്തുന്നത് തടയാൻ FOUP-കൾ ഇടയ്ക്കിടെ നൈട്രജൻ ഉപയോഗിച്ച് ശുദ്ധീകരിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ശുദ്ധവും വിശ്വസനീയവുമായ ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയ ഉറപ്പാക്കുന്നു.

1. FOUP യുടെ പ്രവർത്തനങ്ങളും പ്രാധാന്യവും

FOUP യുടെ പ്രധാന പ്രവർത്തനം, ബാഹ്യ ആഘാതങ്ങളിൽ നിന്നും മലിനീകരണത്തിൽ നിന്നും വേഫറുകളെ സംരക്ഷിക്കുക എന്നതാണ്, പ്രത്യേകിച്ച് കൈമാറ്റം ചെയ്യുമ്പോൾ വിളവിലുണ്ടാകുന്ന പ്രത്യാഘാതങ്ങൾ ഒഴിവാക്കുക എന്നതാണ്. ഗ്യാസ് ശുദ്ധീകരണം, ലോക്കൽ അറ്റ്മോസ്ഫിയർ കൺട്രോൾ (LAC) തുടങ്ങിയ രീതികളിലൂടെ ഇത് ഈർപ്പം ഫലപ്രദമായി തടയുന്നു, അടുത്ത നിർമ്മാണ ഘട്ടത്തിനായി കാത്തിരിക്കുമ്പോൾ വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായ അവസ്ഥയിൽ തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഇതിന്റെ സീൽ ചെയ്തതും നിയന്ത്രിതവുമായ സംവിധാനം ആവശ്യമായ സംയുക്തങ്ങളെയും മൂലകങ്ങളെയും മാത്രമേ പ്രവേശിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നുള്ളൂ, ഇത് വേഫറുകളിൽ VOC-കൾ, ഓക്സിജൻ, ഈർപ്പം എന്നിവയുടെ പ്രതികൂല ഫലങ്ങൾ ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.

25 വേഫറുകൾ പൂർണ്ണമായി ലോഡുചെയ്‌ത ഒരു FOUP-ന് 9 കിലോഗ്രാം വരെ ഭാരം ഉണ്ടാകുമെന്നതിനാൽ, അതിന്റെ ഗതാഗതം ഒരു ഓട്ടോമേറ്റഡ് മെറ്റീരിയൽ ഹാൻഡ്‌ലിംഗ് സിസ്റ്റത്തെ (AMHS) ആശ്രയിക്കണം. ഇത് സുഗമമാക്കുന്നതിന്, കപ്ലിംഗ് പ്ലേറ്റുകൾ, പിന്നുകൾ, ദ്വാരങ്ങൾ എന്നിവയുടെ വിവിധ കോമ്പിനേഷനുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് FOUP രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ എളുപ്പത്തിൽ തിരിച്ചറിയുന്നതിനും വർഗ്ഗീകരിക്കുന്നതിനുമായി RFID ഇലക്ട്രോണിക് ടാഗുകൾ കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. ഈ ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഹാൻഡ്‌ലിംഗിന് മാനുവൽ പ്രവർത്തനം ആവശ്യമില്ല, ഇത് പിശക് നിരക്കുകൾ വളരെയധികം കുറയ്ക്കുകയും നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ സുരക്ഷയും കൃത്യതയും വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

2. FOUP യുടെ ഘടനയും വർഗ്ഗീകരണവും

ഒരു FOUP യുടെ സാധാരണ അളവുകൾ ഏകദേശം 420 mm വീതിയും 335 mm ആഴവും 335 mm ഉയരവുമാണ്. ഇതിന്റെ പ്രധാന ഘടനാപരമായ ഘടകങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു: ഓവർഹെഡ് ഹോയിസ്റ്റ് ഗതാഗതത്തിനായുള്ള ഒരു മുകളിലെ OHT (മഷ്റൂം ഹെഡ്); ഉപകരണ വേഫർ ആക്‌സസ്സിനുള്ള ഒരു മുൻവാതിൽ; വ്യത്യസ്ത മലിനീകരണ നിലകളുള്ള പ്രോസസ്സ് ഏരിയകളെ വേർതിരിച്ചറിയാൻ പലപ്പോഴും കളർകോഡ് ചെയ്തിരിക്കുന്ന സൈഡ് ഹാൻഡിലുകൾ; സന്ദേശ കാർഡുകൾ സ്ഥാപിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു കാർഡ് ഏരിയ; കൂടാതെ FOUP യുടെ അദ്വിതീയ ഐഡന്റിഫയറായി പ്രവർത്തിക്കുന്ന ഒരു അടിഭാഗത്തെ RFID ടാഗ്, ഉപകരണങ്ങളും ഓവർഹെഡ് ഹോയിസ്റ്റുകളും അത് തിരിച്ചറിയാൻ അനുവദിക്കുന്നു. ഉപകരണങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിനും പ്രോസസ്സ് ഏരിയകൾ വേർതിരിച്ചറിയുന്നതിനുമായി നാല് തിരിച്ചറിയൽ, സ്ഥാനനിർണ്ണയ ദ്വാരങ്ങളും അടിത്തറയിൽ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു.

ഉപയോഗത്തിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ, FOUP-കളെ മൂന്ന് തരങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു: PRD (ഉൽപാദനത്തിനായി), ENG (എഞ്ചിനീയറിംഗ് വേഫറുകൾക്ക്), MON (മോണിറ്റർ വേഫറുകൾക്ക്). ഉൽപ്പന്ന നിർമ്മാണത്തിന് PRD FOUP-കൾ ഉപയോഗിക്കാം, ENG തരങ്ങൾ ഗവേഷണ വികസനത്തിനോ പരീക്ഷണങ്ങൾക്കോ ​​അനുയോജ്യമാണ്, കൂടാതെ CMP, DIFF പോലുള്ള ഘട്ടങ്ങൾക്കായുള്ള പ്രോസസ്സ് മോണിറ്ററിംഗിനായി MON തരങ്ങൾ സമർപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു. PRD FOUP-കൾ ENG, MON ആവശ്യങ്ങൾക്കും ഉപയോഗിക്കാമെന്നും ENG തരങ്ങൾ MON ആവശ്യങ്ങൾക്കും ഉപയോഗിക്കാമെന്നും ENG തരങ്ങൾ MON-നും ഉപയോഗിക്കാമെന്നും ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതാണ്, പക്ഷേ വിപരീത പ്രവർത്തനം ഗുണനിലവാര അപകടസാധ്യതകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

മലിനീകരണ തോത് അനുസരിച്ച് തരംതിരിച്ചിരിക്കുന്ന FOUP-കളെ FE FOUP (ഫ്രണ്ട്-എൻഡ് പ്രോസസ്, മെറ്റൽ-ഫ്രീ), BE FOUP (ബാക്ക്-എൻഡ് പ്രോസസ്, മെറ്റൽ അടങ്ങിയത്), NI FOUP, CU FOUP, CO FOUP പോലുള്ള നിർദ്ദിഷ്ട ലോഹ പ്രക്രിയകൾക്കായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തവ എന്നിങ്ങനെ വിഭജിക്കാം. വ്യത്യസ്ത പ്രക്രിയകൾക്കായുള്ള FOUP-കളെ സാധാരണയായി സൈഡ് ഹാൻഡിലുകളുടെയോ ഡോർ പാനലുകളുടെയോ നിറം കൊണ്ട് വേർതിരിച്ചിരിക്കുന്നു. ഫ്രണ്ട്-എൻഡ് പ്രോസസുകളിൽ നിന്നുള്ള FOUP-കൾ ബാക്ക്-എൻഡ് പ്രോസസുകളിൽ ഉപയോഗിക്കാം, എന്നാൽ ബാക്ക്-എൻഡ് FOUP-കൾ ഒരിക്കലും ഫ്രണ്ട്-എൻഡ് പ്രോസസുകളിൽ ഉപയോഗിക്കരുത്, കാരണം ഇത് മലിനീകരണ അപകടസാധ്യതകൾക്ക് കാരണമാകും.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിലെ ഒരു പ്രധാന കാരിയർ എന്ന നിലയിൽ, ഉയർന്ന ഓട്ടോമേഷനിലൂടെയും കർശനമായ മലിനീകരണ നിയന്ത്രണത്തിലൂടെയും, ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയിൽ വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷയും വൃത്തിയും ഉറപ്പാക്കുന്ന FOUP, ആധുനിക വേഫർ ഫാബുകളിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഒരു അടിസ്ഥാന സൗകര്യമാക്കി മാറ്റുന്നു.

തീരുമാനം

നിങ്ങളുടെ നിർദ്ദിഷ്ട പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകളും ഉപകരണ ഇന്റർഫേസ് സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളും കർശനമായി പാലിച്ചുകൊണ്ട്, ഉയർന്ന നിലവാരത്തിൽ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ ഫ്രണ്ട്-ഓപ്പണിംഗ് യൂണിഫൈഡ് പോഡ് (FOUP) സൊല്യൂഷനുകൾ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് നൽകുന്നതിന് XKH പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്. നൂതന മെറ്റീരിയൽ സാങ്കേതികവിദ്യയും കൃത്യമായ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളും പ്രയോജനപ്പെടുത്തിക്കൊണ്ട്, ഓരോ FOUP ഉൽപ്പന്നവും അസാധാരണമായ വായുസഞ്ചാരം, ശുചിത്വം, മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുന്നുണ്ടെന്ന് ഞങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക ടീമിന് ആഴത്തിലുള്ള വ്യവസായ വൈദഗ്ദ്ധ്യമുണ്ട്, സെലക്ഷൻ കൺസൾട്ടേഷനും സ്ട്രക്ചറൽ ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും മുതൽ ക്ലീനിംഗ്, മെയിന്റനൻസ് വരെ സമഗ്രമായ ജീവിതചക്ര പിന്തുണ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു - FOUP-ഉം നിങ്ങളുടെ ഓട്ടോമേറ്റഡ് മെറ്റീരിയൽ ഹാൻഡ്‌ലിംഗ് സിസ്റ്റവും (AMHS) പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളും തമ്മിലുള്ള തടസ്സമില്ലാത്ത സംയോജനവും കാര്യക്ഷമമായ സഹകരണവും ഉറപ്പാക്കുന്നു. വേഫറുകളുടെ സുരക്ഷയും ഉൽ‌പാദന വിളവ് വർദ്ധിപ്പിക്കലും ഞങ്ങളുടെ പ്രധാന ലക്ഷ്യങ്ങളായി ഞങ്ങൾ സ്ഥിരമായി മുൻഗണന നൽകുന്നു. നൂതന ഉൽപ്പന്നങ്ങളിലൂടെയും സമഗ്രമായ സാങ്കേതിക സേവനങ്ങളിലൂടെയും, നിങ്ങളുടെ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്ക് ഞങ്ങൾ ശക്തമായ ഒരു ഗ്യാരണ്ടി നൽകുന്നു, ആത്യന്തികമായി ഉൽ‌പാദന കാര്യക്ഷമതയും ഉൽപ്പന്ന വിളവും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.