ഉയർന്ന അളവിലുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിനുള്ള 12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫർ
വിശദമായ ഡയഗ്രം
12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറിന്റെ ആമുഖം
വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള, ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ട് സെമികണ്ടക്ടർ, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് നിർമ്മാണത്തിനുള്ള വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ആവശ്യം നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് 12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫർ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഉപകരണ ആർക്കിടെക്ചറുകൾ സ്കെയിൽ ചെയ്യുന്നത് തുടരുകയും ഉൽപാദന ലൈനുകൾ വലിയ വേഫർ ഫോർമാറ്റുകളിലേക്ക് നീങ്ങുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ, അൾട്രാ-ലാർജ് വ്യാസമുള്ള നീലക്കല്ലിന്റെ അടിവസ്ത്രങ്ങൾ ഉൽപാദനക്ഷമത, വിളവ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ, ചെലവ് നിയന്ത്രണം എന്നിവയിൽ വ്യക്തമായ നേട്ടങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ Al₂O₃ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഞങ്ങളുടെ 12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകൾ മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, താപ സ്ഥിരത, ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയിലൂടെയും കൃത്യമായ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിലൂടെയും, ഈ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ നൂതന LED, GaN, പ്രത്യേക സെമികണ്ടക്ടർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് വിശ്വസനീയമായ പ്രകടനം നൽകുന്നു.

മെറ്റീരിയൽ സവിശേഷതകൾ
സഫയർ (സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ്, Al₂O₃) അതിന്റെ മികച്ച ഭൗതിക, രാസ ഗുണങ്ങൾക്ക് പേരുകേട്ടതാണ്. 12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറുകൾ സഫയർ മെറ്റീരിയലിന്റെ എല്ലാ ഗുണങ്ങളും അവകാശപ്പെടുത്തുന്നു, അതേസമയം വളരെ വലിയ ഉപയോഗയോഗ്യമായ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണം നൽകുന്നു.
പ്രധാന മെറ്റീരിയൽ സവിശേഷതകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
-
വളരെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും
-
മികച്ച താപ സ്ഥിരതയും ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കവും
-
ആസിഡുകൾക്കും ക്ഷാരങ്ങൾക്കും ഉയർന്ന രാസ പ്രതിരോധം
-
UV മുതൽ IR തരംഗദൈർഘ്യങ്ങൾ വരെയുള്ള ഉയർന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ സുതാര്യത
-
മികച്ച വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ ഗുണങ്ങൾ
ഈ സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ 12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകളെ കഠിനമായ സംസ്കരണ പരിതസ്ഥിതികൾക്കും ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്കും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
നിര്മ്മാണ പ്രക്രിയ
12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകളുടെ ഉത്പാദനത്തിന് വിപുലമായ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയും അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളും ആവശ്യമാണ്. സാധാരണ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
-
സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത്
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള നീലക്കല്ലിന്റെ പരലുകൾ KY പോലുള്ള നൂതന രീതികൾ ഉപയോഗിച്ചോ അല്ലെങ്കിൽ വലിയ വ്യാസമുള്ള മറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ചോ വളർത്തുന്നു, ഇത് ഏകീകൃത ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷനും കുറഞ്ഞ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദവും ഉറപ്പാക്കുന്നു. -
ക്രിസ്റ്റൽ ഷേപ്പിംഗും സ്ലൈസിംഗും
ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച്, ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന്, നീലക്കല്ലിന്റെ കഷണം കൃത്യമായി രൂപപ്പെടുത്തി 12 ഇഞ്ച് വേഫറുകളായി മുറിച്ചിരിക്കുന്നു. -
ലാപ്പിംഗും പോളിഷിംഗും
മികച്ച ഉപരിതല പരുക്കൻത, പരന്നത, കട്ടിയുള്ള ഏകത എന്നിവ കൈവരിക്കുന്നതിന് മൾട്ടി-സ്റ്റെപ്പ് ലാപ്പിംഗ്, കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (CMP) പ്രക്രിയകൾ പ്രയോഗിക്കുന്നു. -
വൃത്തിയാക്കലും പരിശോധനയും
ഓരോ 12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറും സമഗ്രമായ വൃത്തിയാക്കലിനും കർശനമായ പരിശോധനയ്ക്കും വിധേയമാക്കുന്നു, അതിൽ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം, ടിടിവി, ബോ, വാർപ്പ്, വൈകല്യ വിശകലനം എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
അപേക്ഷകൾ
12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ല് വേഫറുകൾ നൂതനവും ഉയർന്നുവരുന്നതുമായ സാങ്കേതികവിദ്യകളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അവയിൽ ചിലത് ഇവയാണ്:
-
ഉയർന്ന പവറും ഉയർന്ന തെളിച്ചവുമുള്ള LED സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
-
GaN-അധിഷ്ഠിത പവർ ഉപകരണങ്ങളും RF ഉപകരണങ്ങളും
-
സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ കാരിയർ, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
-
ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകളും വലിയ ഏരിയ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളും
-
നൂതന സെമികണ്ടക്ടർ പാക്കേജിംഗും പ്രത്യേക പ്രോസസ് കാരിയറുകളും
വലിയ വ്യാസം ബഹുജന ഉൽപ്പാദനത്തിൽ ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ടും മെച്ചപ്പെട്ട ചെലവ് കാര്യക്ഷമതയും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറുകളുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ
-
ഓരോ വേഫറിനും ഉയർന്ന ഉപകരണ ഔട്ട്പുട്ടിനായി ഉപയോഗിക്കാവുന്ന വലിയ ഏരിയ
-
മെച്ചപ്പെട്ട പ്രക്രിയ സ്ഥിരതയും ഏകീകൃതതയും
-
ഉയർന്ന അളവിലുള്ള ഉൽപാദനത്തിൽ ഓരോ ഉപകരണത്തിനും കുറഞ്ഞ ചെലവ്
-
വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യലിനായി മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി
-
വ്യത്യസ്ത ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്ന സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ

ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ഓപ്ഷനുകൾ
12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറുകൾക്കായി ഞങ്ങൾ വഴക്കമുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, അവയിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
-
ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ (സി-പ്ലെയിൻ, എ-പ്ലെയിൻ, ആർ-പ്ലെയിൻ, മുതലായവ)
-
കനവും വ്യാസവും തമ്മിലുള്ള സഹിഷ്ണുത
-
സിംഗിൾ-സൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഡബിൾ-സൈഡ് പോളിഷിംഗ്
-
എഡ്ജ് പ്രൊഫൈലും ചേംഫർ ഡിസൈനും
-
ഉപരിതല പരുക്കനും പരന്നതുമായ ആവശ്യകതകൾ
| പാരാമീറ്റർ | സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | കുറിപ്പുകൾ |
|---|---|---|
| വേഫർ വ്യാസം | 12 ഇഞ്ച് (300 മില്ലീമീറ്റർ) | സ്റ്റാൻഡേർഡ് വലിയ വ്യാസമുള്ള വേഫർ |
| മെറ്റീരിയൽ | ഏക-ക്രിസ്റ്റൽ നീലക്കല്ല് (Al₂O₃) | ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഇലക്ട്രോണിക്/ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്രേഡ് |
| ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ (0001), എ-പ്ലെയിൻ (11-20), ആർ-പ്ലെയിൻ (1-102) | ഓപ്ഷണൽ ഓറിയന്റേഷനുകൾ ലഭ്യമാണ് |
| കനം | 430–500 മൈക്രോൺ | അഭ്യർത്ഥന പ്രകാരം ഇഷ്ടാനുസൃത കനം ലഭ്യമാണ്. |
| കനം സഹിഷ്ണുത | ±10 μm | നൂതന ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള ഇറുകിയ സഹിഷ്ണുത |
| ആകെ കനം വ്യതിയാനം (TTV) | ≤10 μm | വേഫറിലുടനീളം ഏകീകൃത പ്രോസസ്സിംഗ് ഉറപ്പാക്കുന്നു |
| വില്ല് | ≤50 μm | മുഴുവൻ വേഫറിലും അളന്നു |
| വാർപ്പ് | ≤50 μm | മുഴുവൻ വേഫറിലും അളന്നു |
| ഉപരിതല ഫിനിഷ് | സിംഗിൾ-സൈഡ് പോളിഷ്ഡ് (SSP) / ഡബിൾ-സൈഡ് പോളിഷ്ഡ് (DSP) | ഉയർന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണനിലവാരമുള്ള ഉപരിതലം |
| ഉപരിതല പരുക്കൻത (Ra) | ≤0.5 നാനോമീറ്റർ (പോളിഷ് ചെയ്തത്) | എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള ആറ്റോമിക്-ലെവൽ സുഗമത |
| എഡ്ജ് പ്രൊഫൈൽ | ചേംഫർ / വൃത്താകൃതിയിലുള്ള അരിക് | കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ ചിപ്പിംഗ് തടയാൻ |
| ഓറിയന്റേഷൻ കൃത്യത | ±0.5° | ശരിയായ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർച്ച ഉറപ്പാക്കുന്നു |
| വൈകല്യ സാന്ദ്രത | <10 സെ.മീ⁻² | ഒപ്റ്റിക്കൽ പരിശോധനയിലൂടെ അളക്കുന്നു |
| പരന്നത | ≤2 μm / 100 മി.മീ. | ഏകീകൃത ലിത്തോഗ്രാഫിയും എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയും ഉറപ്പാക്കുന്നു. |
| ശുചിത്വം | ക്ലാസ് 100 – ക്ലാസ് 1000 | ക്ലീൻറൂം അനുയോജ്യം |
| ഒപ്റ്റിക്കൽ ട്രാൻസ്മിഷൻ | >85% (UV–IR) | തരംഗദൈർഘ്യത്തെയും കനത്തെയും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു |
12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫർ പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ
Q1: 12 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറിന്റെ സ്റ്റാൻഡേർഡ് കനം എന്താണ്?
A: സ്റ്റാൻഡേർഡ് കനം 430 μm മുതൽ 500 μm വരെയാണ്.ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് ഇഷ്ടാനുസൃത കനം നിർമ്മിക്കാനും കഴിയും.
ചോദ്യം 2: 12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറുകൾക്ക് ഏതൊക്കെ ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷനുകളാണ് ലഭ്യമായത്?
A: ഞങ്ങൾ C-പ്ലെയിൻ (0001), A-പ്ലെയിൻ (11-20), R-പ്ലെയിൻ (1-102) ഓറിയന്റേഷനുകൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. നിർദ്ദിഷ്ട ഉപകരണ ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി മറ്റ് ഓറിയന്റേഷനുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
ചോദ്യം 3: വേഫറിന്റെ ആകെ കനം വ്യതിയാനം (TTV) എത്രയാണ്?
A: ഞങ്ങളുടെ 12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫറുകൾക്ക് സാധാരണയായി ≤10 μm TTV ഉണ്ടായിരിക്കും, ഇത് ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിനായി മുഴുവൻ വേഫർ പ്രതലത്തിലും ഏകീകൃതത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്
പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, മിലിട്ടറി എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.










