ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ അളക്കുന്നതിനുള്ള വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ സിസ്റ്റം

ഹൃസ്വ വിവരണം:

ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് ഓറിയന്റേഷനുകൾ നിർണ്ണയിച്ചുകൊണ്ട് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണവും മെറ്റീരിയൽ സയൻസ് പ്രക്രിയകളും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ തത്വങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണമാണ് വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ ഉപകരണം. ഇതിന്റെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിൽ ഒരു എക്സ്-റേ ഉറവിടം (ഉദാ. Cu-Kα, 0.154 nm തരംഗദൈർഘ്യം), ഒരു പ്രിസിഷൻ ഗോണിയോമീറ്റർ (കോണീയ റെസല്യൂഷൻ ≤0.001°), ഡിറ്റക്ടറുകൾ (CCD അല്ലെങ്കിൽ സിന്റിലേഷൻ കൗണ്ടറുകൾ) എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. സാമ്പിളുകൾ തിരിക്കുകയും ഡിഫ്രാക്ഷൻ പാറ്റേണുകൾ വിശകലനം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ഇത് ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് സൂചികകളും (ഉദാ. 100, 111) ±30 ആർക്ക് സെക്കൻഡ് കൃത്യതയോടെ ലാറ്റിസ് സ്പേസിംഗും കണക്കാക്കുന്നു. വേഫർ അരികുകൾ, റഫറൻസ് പ്ലെയിനുകൾ, എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയർ അലൈൻമെന്റ് എന്നിവയുടെ ദ്രുത അളവുകൾക്കായി 2-8 ഇഞ്ച് വേഫറുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന ഓട്ടോമേറ്റഡ് പ്രവർത്തനങ്ങൾ, വാക്വം ഫിക്സേഷൻ, മൾട്ടി-ആക്സിസ് റൊട്ടേഷൻ എന്നിവ സിസ്റ്റം പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ കട്ടിംഗ്-ഓറിയന്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, സഫയർ വേഫറുകൾ, ടർബൈൻ ബ്ലേഡ് ഉയർന്ന-താപനില പ്രകടന വാലിഡേഷൻ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു, ഇത് ചിപ്പ് ഇലക്ട്രിക്കൽ ഗുണങ്ങളും യീൽഡും നേരിട്ട് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഫീച്ചറുകൾ

ഉപകരണ ആമുഖം

വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ (XRD) തത്വങ്ങളെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങളാണ്, പ്രധാനമായും സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം, ഒപ്റ്റിക്കൽ മെറ്റീരിയലുകൾ, സെറാമിക്സ്, മറ്റ് ക്രിസ്റ്റലിൻ മെറ്റീരിയൽ വ്യവസായങ്ങൾ എന്നിവയിൽ ഇവ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഈ ഉപകരണങ്ങൾ ക്രിസ്റ്റൽ ലാറ്റിസ് ഓറിയന്റേഷൻ നിർണ്ണയിക്കുകയും കൃത്യമായ കട്ടിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ പോളിഷിംഗ് പ്രക്രിയകളെ നയിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. പ്രധാന സവിശേഷതകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള അളവുകൾ:0.001° വരെയുള്ള കോണീയ റെസല്യൂഷനുള്ള ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് തലങ്ങൾ പരിഹരിക്കാൻ കഴിവുള്ള.
വലിയ സാമ്പിൾ അനുയോജ്യത:450 മില്ലീമീറ്റർ വരെ വ്യാസവും 30 കിലോഗ്രാം ഭാരവുമുള്ള വേഫറുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), സഫയർ, സിലിക്കൺ (Si) തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കൾക്ക് അനുയോജ്യം.
മോഡുലാർ ഡിസൈൻ:വികസിപ്പിക്കാവുന്ന പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ റോക്കിംഗ് കർവ് വിശകലനം, 3D ഉപരിതല വൈകല്യ മാപ്പിംഗ്, മൾട്ടി-സാമ്പിൾ പ്രോസസ്സിംഗിനുള്ള സ്റ്റാക്കിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

പ്രധാന സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ

പാരാമീറ്റർ വിഭാഗം	സാധാരണ മൂല്യങ്ങൾ/ക്രമീകരണം
എക്സ്-റേ ഉറവിടം	Cu-Kα (0.4×1 mm ഫോക്കൽ സ്പോട്ട്), 30 kV ആക്സിലറേറ്റിംഗ് വോൾട്ടേജ്, 0–5 mA ക്രമീകരിക്കാവുന്ന ട്യൂബ് കറന്റ്
ആംഗുലർ ശ്രേണി	θ: -10° മുതൽ +50° വരെ; 2θ: -10° മുതൽ +100° വരെ
കൃത്യത	ടിൽറ്റ് ആംഗിൾ റെസല്യൂഷൻ: 0.001°, ഉപരിതല വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ: ±30 ആർക്ക് സെക്കൻഡ് (റോക്കിംഗ് കർവ്)
സ്കാനിംഗ് വേഗത	ഒമേഗ സ്കാൻ 5 സെക്കൻഡിനുള്ളിൽ പൂർണ്ണ ലാറ്റിസ് ഓറിയന്റേഷൻ പൂർത്തിയാക്കുന്നു; തീറ്റ സ്കാൻ ~ 1 മിനിറ്റ് എടുക്കും.
സാമ്പിൾ ഘട്ടം	വി-ഗ്രൂവ്, ന്യൂമാറ്റിക് സക്ഷൻ, മൾട്ടി-ആംഗിൾ റൊട്ടേഷൻ, 2–8 ഇഞ്ച് വേഫറുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു
വികസിപ്പിക്കാവുന്ന പ്രവർത്തനങ്ങൾ	റോക്കിംഗ് കർവ് വിശകലനം, 3D മാപ്പിംഗ്, സ്റ്റാക്കിംഗ് ഉപകരണം, ഒപ്റ്റിക്കൽ വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ (സ്ക്രാച്ചുകൾ, ജിബികൾ)

പ്രവർത്തന തത്വം

1. എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ ഫൗണ്ടേഷൻ

എക്സ്-കിരണങ്ങൾ ക്രിസ്റ്റൽ ലാറ്റിസിലെ ആറ്റോമിക് ന്യൂക്ലിയസുകളുമായും ഇലക്ട്രോണുകളുമായും പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഡിഫ്രാക്ഷൻ പാറ്റേണുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഡിഫ്രാക്ഷൻ കോണുകൾ (θ) ഉം ലാറ്റിസ് സ്‌പെയ്‌സിംഗും (d) തമ്മിലുള്ള ബന്ധത്തെ ബ്രാഗിന്റെ നിയമം (nλ = 2d sinθ) നിയന്ത്രിക്കുന്നു.
ഡിറ്റക്ടറുകൾ ഈ പാറ്റേണുകൾ പിടിച്ചെടുക്കുകയും ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് ഘടന പുനർനിർമ്മിക്കുന്നതിനായി വിശകലനം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

2. ഒമേഗ സ്കാനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ

എക്സ്-കിരണങ്ങൾ അതിനെ പ്രകാശിപ്പിക്കുമ്പോൾ ക്രിസ്റ്റൽ ഒരു നിശ്ചിത അച്ചുതണ്ടിന് ചുറ്റും തുടർച്ചയായി കറങ്ങുന്നു.
ഒന്നിലധികം ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് തലങ്ങളിലുടനീളം ഡിറ്റക്ടറുകൾ ഡിറ്റക്ടറുകൾ ഡിറ്റക്ടറുകൾ ശേഖരിക്കുന്നു, ഇത് 5 സെക്കൻഡിനുള്ളിൽ പൂർണ്ണ ലാറ്റിസ് ഓറിയന്റേഷൻ നിർണ്ണയിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.

3. റോക്കിംഗ് കർവ് വിശകലനം

പീക്ക് വീതി (FWHM) അളക്കുന്നതിനും ലാറ്റിസ് വൈകല്യങ്ങളും ആയാസവും വിലയിരുത്തുന്നതിനും വ്യത്യസ്ത എക്സ്-റേ ഇൻസിഡൻസ് കോണുകളുള്ള സ്ഥിരമായ ക്രിസ്റ്റൽ ആംഗിൾ.

4. ഓട്ടോമേറ്റഡ് നിയന്ത്രണം

പി‌എൽ‌സിയും ടച്ച്‌സ്‌ക്രീൻ ഇന്റർഫേസുകളും പ്രീസെറ്റ് കട്ടിംഗ് ആംഗിളുകൾ, തത്സമയ ഫീഡ്‌ബാക്ക്, ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് നിയന്ത്രണത്തിനായി കട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുമായുള്ള സംയോജനം എന്നിവ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.

ഗുണങ്ങളും സവിശേഷതകളും

1. കൃത്യതയും കാര്യക്ഷമതയും

കോണീയ കൃത്യത ± 0.001°, വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ റെസല്യൂഷൻ <30 ആർക്ക് സെക്കൻഡ്.
പരമ്പരാഗത തീറ്റ സ്കാനുകളേക്കാൾ 200× വേഗതയുള്ളതാണ് ഒമേഗ സ്കാൻ വേഗത.

2. മോഡുലാരിറ്റിയും സ്കേലബിളിറ്റിയും

പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി വികസിപ്പിക്കാവുന്നതാണ് (ഉദാ. SiC വേഫറുകൾ, ടർബൈൻ ബ്ലേഡുകൾ).
തത്സമയ ഉൽ‌പാദന നിരീക്ഷണത്തിനായി MES സിസ്റ്റങ്ങളുമായി സംയോജിപ്പിക്കുന്നു.

3. അനുയോജ്യതയും സ്ഥിരതയും

ക്രമരഹിതമായ ആകൃതിയിലുള്ള സാമ്പിളുകൾ (ഉദാ: പൊട്ടിയ നീലക്കല്ലിന്റെ കഷ്ണങ്ങൾ) ഉൾക്കൊള്ളാൻ കഴിയും.
എയർ-കൂൾഡ് ഡിസൈൻ അറ്റകുറ്റപ്പണികളുടെ ആവശ്യകത കുറയ്ക്കുന്നു.

4. ഇന്റലിജന്റ് ഓപ്പറേഷൻ

ഒറ്റ-ക്ലിക്ക് കാലിബ്രേഷനും മൾട്ടി-ടാസ്‌ക് പ്രോസസ്സിംഗും.
മനുഷ്യ പിശകുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് റഫറൻസ് ക്രിസ്റ്റലുകൾ ഉപയോഗിച്ചുള്ള യാന്ത്രിക-കാലിബ്രേഷൻ.

അപേക്ഷകൾ

1. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം

വേഫർ ഡൈസിംഗ് ഓറിയന്റേഷൻ: ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത കട്ടിംഗ് കാര്യക്ഷമതയ്ക്കായി Si, SiC, GaN വേഫർ ഓറിയന്റേഷനുകൾ നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
ഡിഫെക്റ്റ് മാപ്പിംഗ്: ചിപ്പ് വിളവ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഉപരിതല പോറലുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സ്ഥാനഭ്രംശങ്ങൾ തിരിച്ചറിയുന്നു.

2. ഒപ്റ്റിക്കൽ മെറ്റീരിയലുകൾ

ലേസർ ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള നോൺലീനിയർ ക്രിസ്റ്റലുകൾ (ഉദാ. LBO, BBO).
LED സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്കുള്ള സഫയർ വേഫർ റഫറൻസ് ഉപരിതല അടയാളപ്പെടുത്തൽ.

3. സെറാമിക്സും കമ്പോസിറ്റുകളും

ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള പ്രയോഗങ്ങൾക്കായി Si3N4, ZrO2 എന്നിവയിലെ ധാന്യ ഓറിയന്റേഷൻ വിശകലനം ചെയ്യുന്നു.

4. ഗവേഷണവും ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണവും

നൂതനമായ മെറ്റീരിയൽ വികസനത്തിനായുള്ള സർവകലാശാലകൾ/ലാബുകൾ (ഉദാ: ഉയർന്ന എൻട്രോപ്പി അലോയ്കൾ).
ബാച്ച് സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ വ്യാവസായിക ക്യുസി.

എക്സ്.കെ.എച്ചിന്റെ സേവനങ്ങൾ

ഇൻസ്റ്റലേഷൻ, പ്രോസസ് പാരാമീറ്റർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ, റോക്കിംഗ് കർവ് വിശകലനം, 3D ഉപരിതല വൈകല്യ മാപ്പിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെ വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് XKH സമഗ്രമായ ലൈഫ് സൈക്കിൾ സാങ്കേതിക പിന്തുണ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ, ഒപ്റ്റിക്കൽ മെറ്റീരിയൽ ഉൽപ്പാദന കാര്യക്ഷമത 30%-ത്തിലധികം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമായ പരിഹാരങ്ങൾ (ഉദാ: ഇൻഗോട്ട് സ്റ്റാക്കിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ) നൽകുന്നു. ഒരു സമർപ്പിത ടീം ഓൺ-സൈറ്റ് പരിശീലനം നടത്തുന്നു, അതേസമയം 24/7 റിമോട്ട് പിന്തുണയും ദ്രുത സ്പെയർ പാർട്സ് മാറ്റിസ്ഥാപിക്കലും ഉപകരണങ്ങളുടെ വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.

മുമ്പത്തേത്: ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള വേഫർ കാരിയറിനുള്ള SiC സെറാമിക് ട്രേ

അടുത്തത്: ആഭരണ നിർമ്മാണത്തിനായി യെല്ലോ സഫയർ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ ലാബ് സൃഷ്ടിച്ചു.