Ti/Cu മെറ്റൽ-കോട്ടിഡ് സിലിക്കൺ വേഫർ (ടൈറ്റാനിയം/ചെമ്പ്)
വിശദമായ ഡയഗ്രം
അവലോകനം
നമ്മുടെTi/Cu ലോഹം പൂശിയ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സിലിക്കൺ (അല്ലെങ്കിൽ ഓപ്ഷണൽ ഗ്ലാസ്/ക്വാർട്സ്) സബ്സ്ട്രേറ്റ് ആവരണം ചെയ്തിരിക്കുന്നത് aടൈറ്റാനിയം അഡീഷൻ പാളികൂടാതെ ഒരുചെമ്പ് ചാലക പാളിഉപയോഗിച്ച്സ്റ്റാൻഡേർഡ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്. Ti ഇന്റർലെയർ അഡീഷനും പ്രോസസ് സ്ഥിരതയും ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, അതേസമയം Cu മുകളിലെ പാളി ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇന്റർഫേസിംഗിനും ഡൗൺസ്ട്രീം മൈക്രോഫാബ്രിക്കേഷനും അനുയോജ്യമായ കുറഞ്ഞ പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള, ഏകീകൃതമായ പ്രതലം നൽകുന്നു.
ഗവേഷണത്തിനും പൈലറ്റ്-സ്കെയിൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന ഈ വേഫറുകൾ ഒന്നിലധികം വലുപ്പങ്ങളിലും റെസിസ്റ്റിവിറ്റി ശ്രേണികളിലും ലഭ്യമാണ്, കനം, സബ്സ്ട്രേറ്റ് തരം, കോട്ടിംഗ് കോൺഫിഗറേഷൻ എന്നിവയ്ക്കായി വഴക്കമുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കലോടെ.
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ
-
ശക്തമായ അഡീഷനും വിശ്വാസ്യതയും: Ti ബോണ്ടിംഗ് പാളി Si/SiO₂ ലേക്കുള്ള ഫിലിം അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള കരുത്ത് മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
-
ഉയർന്ന ചാലകത ഉപരിതലം: കോൺടാക്റ്റുകൾക്കും ടെസ്റ്റ് ഘടനകൾക്കും Cu കോട്ടിംഗ് മികച്ച വൈദ്യുത പ്രകടനം നൽകുന്നു.
-
വിശാലമായ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ശ്രേണി: വേഫറിന്റെ വലിപ്പം, പ്രതിരോധശേഷി, ഓറിയന്റേഷൻ, അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ കനം, ഫിലിം കനം എന്നിവ അഭ്യർത്ഥന പ്രകാരം ലഭ്യമാണ്.
-
പ്രോസസ്സ്-റെഡി സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ: സാധാരണ ലാബ്, ഫാബ് വർക്ക്ഫ്ലോകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു (ലിത്തോഗ്രാഫി, ഇലക്ട്രോപ്ലേറ്റിംഗ് ബിൽഡ്-അപ്പ്, മെട്രോളജി മുതലായവ)
-
മെറ്റീരിയൽ പരമ്പര ലഭ്യമാണ്: Ti/Cu കൂടാതെ, ഞങ്ങൾ Au, Pt, Al, Ni, Ag മെറ്റൽ-കോട്ടഡ് വേഫറുകളും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
സാധാരണ ഘടനയും നിക്ഷേപവും
-
സ്റ്റാക്ക്: സബ്സ്ട്രേറ്റ് + Ti അഡീഷൻ പാളി + Cu കോട്ടിംഗ് പാളി
-
സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രക്രിയ: മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്
-
ഓപ്ഷണൽ പ്രക്രിയകൾ: താപ ബാഷ്പീകരണം / ഇലക്ട്രോപ്ലേറ്റിംഗ് (കട്ടിയുള്ള Cu ആവശ്യകതകൾക്ക്)
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ
| ഇനം | ഓപ്ഷനുകൾ |
|---|---|
| വേഫർ വലുപ്പം | 2", 4", 6", 8"; 10×10 മിമി; ഇഷ്ടാനുസൃത ഡൈസിംഗ് വലുപ്പങ്ങൾ |
| ചാലകത തരം | പി-ടൈപ്പ് / എൻ-ടൈപ്പ് / ഇൻട്രിൻസിക് ഹൈ-റെസിസ്റ്റിവിറ്റി (അൺ) |
| ഓറിയന്റേഷൻ | <100>, <111>, മുതലായവ. |
| പ്രതിരോധശേഷി | <0.0015 Ω·cm; 1-10 Ω·cm; >1000–10000 Ω·cm |
| കനം (µm) | 2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; കസ്റ്റം |
| അടിവസ്ത്ര വസ്തുക്കൾ | സിലിക്കൺ; ഓപ്ഷണൽ ക്വാർട്സ്, BF33 ഗ്ലാസ്, മുതലായവ. |
| ഫിലിം കനം | 10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നത്) |
| മെറ്റൽ ഫിലിം ഓപ്ഷനുകൾ | Ti/Cu; Au, Pt, Al, Ni, Ag എന്നിവയും ലഭ്യമാണ് |
അപേക്ഷകൾ
-
ഓമിക് കോൺടാക്റ്റ് & കണ്ടക്റ്റീവ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾഉപകരണ ഗവേഷണ വികസനത്തിനും വൈദ്യുത പരിശോധനയ്ക്കും
-
ഇലക്ട്രോപ്ലേറ്റിംഗിനുള്ള വിത്ത് പാളികൾ(RDL, MEMS ഘടനകൾ, കട്ടിയുള്ള Cu ബിൽഡ്-അപ്പ്)
-
സോൾ-ജെൽ, നാനോമെറ്റീരിയൽ വളർച്ചാ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾനാനോ, നേർത്ത ഫിലിം ഗവേഷണത്തിനായി
-
മൈക്രോസ്കോപ്പി & സർഫസ് മെട്രോളജി(SEM/AFM/SPM സാമ്പിൾ തയ്യാറാക്കലും അളവെടുപ്പും)
-
ജൈവ/രാസ പ്രതലങ്ങൾസെൽ കൾച്ചർ പ്ലാറ്റ്ഫോമുകൾ, പ്രോട്ടീൻ/ഡിഎൻഎ മൈക്രോഅറേകൾ, റിഫ്ലെക്റ്റോമെട്രി സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ എന്നിവ പോലുള്ളവ
പതിവുചോദ്യങ്ങൾ (Ti/Cu ലോഹം പൂശിയ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ)
ചോദ്യം 1: Cu കോട്ടിംഗിന് കീഴിൽ ഒരു Ti ലെയർ ഉപയോഗിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?
എ: ടൈറ്റാനിയം ഒരു ആയി പ്രവർത്തിക്കുന്നുഅഡീഷൻ (ബോണ്ടിംഗ്) പാളി, അടിവസ്ത്രത്തിലേക്കുള്ള ചെമ്പിന്റെ അറ്റാച്ച്മെന്റ് മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ഇന്റർഫേസ് സ്ഥിരത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോഴും പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുമ്പോഴും പുറംതൊലി അല്ലെങ്കിൽ ഡീലാമിനേഷൻ കുറയ്ക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു.
Q2: സാധാരണ Ti/Cu കനം കോൺഫിഗറേഷൻ എന്താണ്?
എ: സാധാരണ കോമ്പിനേഷനുകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നുTi: പത്ത് നാനോമീറ്റർ (ഉദാ. 10–50 നാനോമീറ്റർ)ഒപ്പംകുമിളയുടെ അംശം: 50–300 നാനോമീറ്റർകട്ടിയുള്ള Cu പാളികൾ (µm-ലെവൽ) പലപ്പോഴും നേടുന്നത്ഒരു സ്പൂട്ടർഡ് Cu വിത്ത് പാളിയിൽ ഇലക്ട്രോപ്ലേറ്റിംഗ്, നിങ്ങളുടെ അപേക്ഷയെ ആശ്രയിച്ച്.
ചോദ്യം 3: വേഫറിന്റെ ഇരുവശവും പൂശാൻ കഴിയുമോ?
അതെ: അതെ.ഒറ്റ-വശ അല്ലെങ്കിൽ ഇരട്ട-വശ കോട്ടിംഗ്അഭ്യർത്ഥന പ്രകാരം ലഭ്യമാണ്. ഓർഡർ ചെയ്യുമ്പോൾ നിങ്ങളുടെ ആവശ്യകത വ്യക്തമാക്കുക.
ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്
പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.










