SiO2 തിൻ ഫിലിം തെർമൽ ഓക്സൈഡ് സിലിക്കൺ വേഫർ 4 ഇഞ്ച് 6 ഇഞ്ച് 8 ഇഞ്ച് 12 ഇഞ്ച്
വേഫർ ബോക്സിന്റെ ആമുഖം
ഓക്സിഡൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന പ്രക്രിയയിൽ സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു: മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർച്ച, വേഫറുകളായി മുറിക്കൽ, മിനുക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, ഓക്സീകരണം.
മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർച്ച: ഒന്നാമതായി, സോക്രാൽസ്കി രീതി അല്ലെങ്കിൽ ഫ്ലോട്ട്-സോൺ രീതി പോലുള്ള രീതികൾ ഉപയോഗിച്ച് ഉയർന്ന താപനിലയിൽ മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർത്തുന്നു. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും ലാറ്റിസ് സമഗ്രതയും ഉള്ള സിലിക്കൺ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റലുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഈ രീതി പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
ഡൈസിംഗ്: വളർന്ന മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ സാധാരണയായി ഒരു സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലാണ്, വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റായി ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് നേർത്ത വേഫറുകളായി മുറിക്കേണ്ടതുണ്ട്. സാധാരണയായി ഒരു ഡയമണ്ട് കട്ടർ ഉപയോഗിച്ചാണ് കട്ടിംഗ് നടത്തുന്നത്.
പോളിഷിംഗ്: മുറിച്ച വേഫറിന്റെ ഉപരിതലം അസമമായിരിക്കാം, മിനുസമാർന്ന പ്രതലം ലഭിക്കാൻ കെമിക്കൽ-മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് ആവശ്യമാണ്.
വൃത്തിയാക്കൽ: മിനുക്കിയ വേഫർ മാലിന്യങ്ങളും പൊടിയും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി വൃത്തിയാക്കുന്നു.
ഓക്സിഡൈസിംഗ്: ഒടുവിൽ, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഒരു ചൂളയിൽ ഇട്ട് ഓക്സിഡൈസിംഗ് ചികിത്സ നടത്തുന്നു, ഇത് സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡിന്റെ ഒരു സംരക്ഷിത പാളി രൂപപ്പെടുത്തുകയും അതിന്റെ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങളും മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിൽ ഒരു ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പാളിയായി പ്രവർത്തിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണം, സോളാർ സെല്ലുകളുടെ നിർമ്മാണം, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണം എന്നിവയാണ് ഓക്സിഡൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ പ്രധാന ഉപയോഗങ്ങൾ. മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ, ഡൈമൻഷണൽ, കെമിക്കൽ സ്ഥിരത, ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലും പ്രവർത്തിക്കാനുള്ള കഴിവ്, നല്ല ഇൻസുലേറ്റിംഗ്, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ കാരണം സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് വേഫറുകൾ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ മേഖലയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
സമ്പൂർണ്ണമായ ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന, ശുദ്ധമായ രാസഘടന, കൃത്യമായ അളവുകൾ, നല്ല മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മുതലായവ ഇതിന്റെ ഗുണങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഈ സവിശേഷതകൾ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെയും മറ്റ് മൈക്രോഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണത്തിന് സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് വേഫറുകളെ പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
വിശദമായ ഡയഗ്രം
