SiO2 തിൻ ഫിലിം തെർമൽ ഓക്സൈഡ് സിലിക്കൺ വേഫർ 4 ഇഞ്ച് 6 ഇഞ്ച് 8 ഇഞ്ച് 12 ഇഞ്ച്

ഓക്സിഡൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന പ്രക്രിയ സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു: മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർച്ച, വേഫറുകളായി മുറിക്കൽ, മിനുക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, ഓക്സിഡേഷൻ.

മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർച്ച: ഒന്നാമതായി, ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വളർത്തുന്നത്, സോക്രാൾസ്കി രീതി അല്ലെങ്കിൽ ഫ്ലോട്ട്-സോൺ രീതി പോലുള്ള രീതികൾ ഉപയോഗിച്ചാണ്. ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും ലാറ്റിസ് സമഗ്രതയും ഉള്ള സിലിക്കൺ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റലുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഈ രീതി സാധ്യമാക്കുന്നു.

ഡൈസിംഗ്: വളർന്ന മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ സാധാരണയായി ഒരു സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലാണ്, ഒരു വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റായി ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് നേർത്ത വേഫറുകളായി മുറിക്കേണ്ടതുണ്ട്. സാധാരണയായി ഒരു ഡയമണ്ട് കട്ടർ ഉപയോഗിച്ചാണ് മുറിക്കൽ.

പോളിഷിംഗ്: കട്ട് വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലം അസമമായിരിക്കാം, മിനുസമാർന്ന ഉപരിതലം ലഭിക്കുന്നതിന് രാസ-മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് ആവശ്യമാണ്.

വൃത്തിയാക്കൽ: മാലിന്യങ്ങളും പൊടിയും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി പോളിഷ് ചെയ്ത വേഫർ വൃത്തിയാക്കുന്നു.

ഓക്സിഡൈസിംഗ്: അവസാനമായി, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡിൻ്റെ വൈദ്യുത ഗുണങ്ങളും മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിൽ ഇൻസുലേറ്റിംഗ് പാളിയായി വർത്തിക്കുന്നതിനും സിലിക്കൺ ഡൈ ഓക്സൈഡിൻ്റെ ഒരു സംരക്ഷിത പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഓക്സിഡൈസിംഗ് ചികിത്സയ്ക്കായി സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ചൂളയിൽ ഇടുന്നു.

ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണം, സോളാർ സെല്ലുകളുടെ നിർമ്മാണം, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണം എന്നിവയാണ് ഓക്സിഡൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ പ്രധാന ഉപയോഗങ്ങൾ. മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ, ഡൈമൻഷണൽ, കെമിക്കൽ സ്ഥിരത, ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലും പ്രവർത്തിക്കാനുള്ള കഴിവ്, നല്ല ഇൻസുലേറ്റിംഗ്, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ കാരണം അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ മേഖലയിൽ സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് വേഫറുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പൂർണ്ണമായ ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന, ശുദ്ധമായ രാസഘടന, കൃത്യമായ അളവുകൾ, നല്ല മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മുതലായവ ഇതിൻ്റെ ഗുണങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഈ സവിശേഷതകൾ സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് വേഫറുകളെ ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെയും മറ്റ് മൈക്രോ ഇലക്‌ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെയും നിർമ്മാണത്തിന് പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.