സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് SiC സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് ഫോർ ക്രിട്ടിക്കൽ ഹാൻഡ്ലിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ
വിശദമായ ഡയഗ്രം


സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് പരിചയപ്പെടുത്തൽ
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്നൂതന വ്യാവസായിക ഓട്ടോമേഷൻ, സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ്സിംഗ്, അൾട്രാ-ക്ലീൻ പരിതസ്ഥിതികൾ എന്നിവയ്ക്കായി വികസിപ്പിച്ചെടുത്ത ഒരു നൂതന ഘടകമാണിത്. ഇതിന്റെ വ്യത്യസ്തമായ ഫോർക്ക്ഡ് ആർക്കിടെക്ചറും അൾട്രാ-ഫ്ലാറ്റ് സെറാമിക് പ്രതലവും സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, ഗ്ലാസ് പാനലുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള അതിലോലമായ അടിവസ്ത്രങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. കൃത്യതയോടെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ചെയ്ത് അൾട്രാ-പ്യുവർ സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്സമാനതകളില്ലാത്ത മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, താപ വിശ്വാസ്യത, മലിനീകരണ നിയന്ത്രണം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
പരമ്പരാഗത ലോഹ അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്റ്റിക് ആയുധങ്ങളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്അങ്ങേയറ്റത്തെ താപ, രാസ, വാക്വം അവസ്ഥകളിൽ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രകടനം നൽകുന്നു. ക്ലാസ് 1 ക്ലീൻറൂമിലോ ഉയർന്ന വാക്വം പ്ലാസ്മ ചേമ്പറിലോ പ്രവർത്തിക്കുന്നത് എന്തുതന്നെയായാലും, വിലയേറിയ ഭാഗങ്ങളുടെ സുരക്ഷിതവും കാര്യക്ഷമവും അവശിഷ്ടരഹിതവുമായ ഗതാഗതം ഈ ഘടകം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
റോബോട്ടിക് ആയുധങ്ങൾ, വേഫർ ഹാൻഡ്ലറുകൾ, ഓട്ടോമേറ്റഡ് ട്രാൻസ്ഫർ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഒരു ഘടനയോടെ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്ഏതൊരു ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സിസ്റ്റത്തിനും വേണ്ടിയുള്ള ഒരു മികച്ച അപ്ഗ്രേഡാണ്.


സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ
ഉയർന്ന പ്രകടനശേഷിയുള്ള ഒരു ഉപകരണം നിർമ്മിക്കുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്ആവർത്തനക്ഷമത, വിശ്വാസ്യത, വളരെ കുറഞ്ഞ വൈകല്യ നിരക്കുകൾ എന്നിവ ഉറപ്പാക്കുന്ന കർശനമായി നിയന്ത്രിതമായ സെറാമിക് എഞ്ചിനീയറിംഗ് വർക്ക്ഫ്ലോ ഉൾപ്പെടുന്നു.
1. മെറ്റീരിയൽ എഞ്ചിനീയറിംഗ്
അൾട്രാ-ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പൗഡർ മാത്രമാണ് നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നത്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്, കുറഞ്ഞ അയോണിക് മലിനീകരണവും ഉയർന്ന ബൾക്ക് ശക്തിയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.ഒപ്റ്റിമൽ ഡെൻസിഫിക്കേഷൻ നേടുന്നതിന് പൊടികൾ സിന്ററിംഗ് അഡിറ്റീവുകളുമായും ബൈൻഡറുകളുമായും കൃത്യമായി സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.
2. അടിസ്ഥാന ഘടന രൂപപ്പെടുത്തൽ
അടിസ്ഥാന ജ്യാമിതിഫോർക്ക് കൈ/കൈകോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രെസ്സിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ഇഞ്ചക്ഷൻ മോൾഡിംഗ് ഉപയോഗിച്ചാണ് രൂപപ്പെടുന്നത്, ഇത് ഉയർന്ന പച്ച സാന്ദ്രതയും ഏകീകൃത സമ്മർദ്ദ വിതരണവും ഉറപ്പാക്കുന്നു. കാഠിന്യം-ഭാരം അനുപാതത്തിനും ചലനാത്മക പ്രതികരണത്തിനും വേണ്ടി യു-ആകൃതിയിലുള്ള കോൺഫിഗറേഷൻ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു.
3. സിന്ററിംഗ് പ്രക്രിയ
പച്ച ശരീരംസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്2000°C-ൽ കൂടുതൽ താപനിലയിൽ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള, നിഷ്ക്രിയ വാതക ചൂളയിൽ സിന്റർ ചെയ്യുന്നു. ഈ ഘട്ടം സൈദ്ധാന്തിക സാന്ദ്രത ഉറപ്പാക്കുന്നു, യഥാർത്ഥ താപ ലോഡുകൾക്ക് കീഴിൽ വിള്ളൽ, വളച്ചൊടിക്കൽ, ഡൈമൻഷണൽ വ്യതിയാനം എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഒരു ഘടകം ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു.
4. പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗും മെഷീനിംഗും
നൂതന CNC ഡയമണ്ട് ടൂളിംഗ് ഉപയോഗിച്ച് ന്റെ അന്തിമ അളവുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്. ടൈറ്റ് ടോളറൻസുകളും (± 0.01 മിമി) മിറർ-ലെവൽ ഉപരിതല ഫിനിഷും കണികകളുടെ പ്രകാശനവും മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദവും കുറയ്ക്കുന്നു.
5. ഉപരിതല കണ്ടീഷനിംഗും വൃത്തിയാക്കലും
അന്തിമ ഉപരിതല ഫിനിഷിംഗിൽ കെമിക്കൽ പോളിഷിംഗും അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗും ഉൾപ്പെടുന്നു, ഇത് തയ്യാറാക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു.ഫോർക്ക് കൈ/കൈഅൾട്രാ-ക്ലീൻ സിസ്റ്റങ്ങളിൽ നേരിട്ടുള്ള സംയോജനത്തിനായി. ഓപ്ഷണൽ കോട്ടിംഗുകളും (CVD-SiC, ആന്റി-റിഫ്ലെക്റ്റീവ് പാളികൾ) ലഭ്യമാണ്.
ഈ സൂക്ഷ്മമായ പ്രക്രിയ ഓരോന്നിനും ഉറപ്പുനൽകുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്SEMI, ISO ക്ലീൻറൂം ആവശ്യകതകൾ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഏറ്റവും കർശനമായ വ്യാവസായിക മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡിന്റെ പാരാമീറ്റ്
ഇനം | പരീക്ഷണ വ്യവസ്ഥകൾ | ഡാറ്റ | യൂണിറ്റ് |
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉള്ളടക്കം | / | > 99.5 | % |
ശരാശരി ധാന്യ വലുപ്പം | / | 4-10 | മൈക്രോൺ |
സാന്ദ്രത | / | >3.14 | ഗ്രാം/സെ.മീ3 |
പ്രകടമായ പോറോസിറ്റി | / | <0.5 <0.5 | വോളിയം % |
വിക്കേഴ്സ് കാഠിന്യം | എച്ച്വി0.5 | 2800 പി.ആർ. | കിലോഗ്രാം/മില്ലീമീറ്റർ2 |
മൊഡ്യൂളസ് ഓഫ് റപ്ചർ (3 പോയിന്റുകൾ) | ടെസ്റ്റ് ബാർ വലുപ്പം: 3 x 4 x 40 മിമി | 450 മീറ്റർ | എം.പി.എ |
കംപ്രഷൻ ശക്തി | 20°C താപനില | 3900 പിആർ | എം.പി.എ |
ഇലാസ്തികതയുടെ മോഡുലസ് | 20°C താപനില | 420 (420) | ജിപിഎ |
ഒടിവിന്റെ കാഠിന്യം | / | 3.5 3.5 | എംപിഎ/മീറ്റർ1/2 |
താപ ചാലകത | 20°C താപനില | 160 | പ/(എം.കെ) |
വൈദ്യുത പ്രതിരോധം | 20°C താപനില | 106-10 -8 | Ωസെ.മീ |
താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം | 20°C-800°C | 4.3 വർഗ്ഗീകരണം | K-110-6 |
പരമാവധി ആപ്ലിക്കേഷൻ താപനില | ഓക്സൈഡ് അന്തരീക്ഷം | 1600 മദ്ധ്യം | ഠ സെ |
പരമാവധി ആപ്ലിക്കേഷൻ താപനില | നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷം | 1950 | ഠ സെ |
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡിന്റെ പ്രയോഗങ്ങൾ
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്ഉയർന്ന കൃത്യത, ഉയർന്ന അപകടസാധ്യത, മലിനീകരണ സെൻസിറ്റീവ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു. വിട്ടുവീഴ്ചയില്ലാതെ നിർണായക ഘടകങ്ങളുടെ വിശ്വസനീയമായ കൈകാര്യം ചെയ്യൽ, കൈമാറ്റം അല്ലെങ്കിൽ പിന്തുണ ഇത് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
➤ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം
-
ഫ്രണ്ട്-എൻഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ, FOUP സ്റ്റേഷനുകളിൽ ഒരു റോബോട്ടിക് ഫോർക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
-
പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗിനും പിവിഡി/സിവിഡി പ്രക്രിയകൾക്കുമായി വാക്വം ചേമ്പറുകളിൽ സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.
-
മെട്രോളജിയിലും വേഫർ അലൈൻമെന്റ് ടൂളുകളിലും ഒരു കാരിയർ ആം ആയി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഡിസ്ചാർജ് (ESD) അപകടസാധ്യതകൾ ഇല്ലാതാക്കുന്നു, ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യതയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, പ്ലാസ്മ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു.
➤ ഫോട്ടോണിക്സും ഒപ്റ്റിക്സും
-
നിർമ്മാണ വേളയിലോ പരിശോധനയിലോ അതിലോലമായ ലെൻസുകൾ, ലേസർ ക്രിസ്റ്റലുകൾ, സെൻസറുകൾ എന്നിവയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
ഇതിന്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം വൈബ്രേഷനെ തടയുന്നു, അതേസമയം സെറാമിക് ബോഡി ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രതലങ്ങളിലെ മലിനീകരണത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു.
➤ ഡിസ്പ്ലേ, പാനൽ പ്രൊഡക്ഷൻ
-
ഗതാഗതത്തിലോ പരിശോധനയിലോ നേർത്ത ഗ്ലാസ്, OLED മൊഡ്യൂളുകൾ, LCD സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ എന്നിവ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നു.
പരന്നതും രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയവുമായത്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്പോറലുകൾ അല്ലെങ്കിൽ കെമിക്കൽ എച്ചിംഗിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കുന്നു.
➤ ബഹിരാകാശ, ശാസ്ത്രീയ ഉപകരണങ്ങൾ
-
സാറ്റലൈറ്റ് ഒപ്റ്റിക്സ് അസംബ്ലി, വാക്വം റോബോട്ടിക്സ്, സിൻക്രോട്രോൺ ബീംലൈൻ സജ്ജീകരണങ്ങൾ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ബഹിരാകാശ നിലവാരമുള്ള ക്ലീൻറൂമുകളിലും റേഡിയേഷൻ സാധ്യതയുള്ള പരിതസ്ഥിതികളിലും കുറ്റമറ്റ രീതിയിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
ഓരോ മേഖലയിലും,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്സിസ്റ്റം കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, ഭാഗങ്ങളുടെ പരാജയം കുറയ്ക്കുന്നു, പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുന്നു.

പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ - സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് സംബന്ധിച്ച പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ
Q1: ലോഹ ബദലുകളേക്കാൾ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡിനെ മികച്ചതാക്കുന്നത് എന്താണ്?
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്ഉയർന്ന കാഠിന്യം, കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത, മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം, ലോഹങ്ങളേക്കാൾ ഗണ്യമായി കുറഞ്ഞ താപ വികാസം എന്നിവയുണ്ട്. ഇത് ക്ലീൻറൂം-അനുയോജ്യവും നാശത്തിൽ നിന്നോ കണിക ഉത്പാദനത്തിൽ നിന്നോ മുക്തവുമാണ്.
ചോദ്യം 2: എന്റെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡിന് ഇഷ്ടാനുസൃത അളവുകൾ അഭ്യർത്ഥിക്കാമോ?
അതെ. ഫോർക്ക് വീതി, കനം, മൗണ്ടിംഗ് ഹോളുകൾ, കട്ടൗട്ടുകൾ, ഉപരിതല ചികിത്സകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ പൂർണ്ണമായ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. 6", 8" അല്ലെങ്കിൽ 12" വേഫറുകൾക്ക്, നിങ്ങളുടെഫോർക്ക് കൈ/കൈഅനുയോജ്യമായ രീതിയിൽ ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.
ചോദ്യം 3: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് പ്ലാസ്മയിലോ വാക്വമിലോ എത്രനേരം നിലനിൽക്കും?
ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള SiC പദാർത്ഥവും നിഷ്ക്രിയ സ്വഭാവവും കാരണം,ഫോർക്ക് കൈ/കൈആയിരക്കണക്കിന് പ്രക്രിയ ചക്രങ്ങൾക്ക് ശേഷവും പ്രവർത്തനക്ഷമമായി തുടരുന്നു. ആക്രമണാത്മക പ്ലാസ്മ അല്ലെങ്കിൽ വാക്വം ഹീറ്റ് ലോഡുകൾക്ക് കീഴിൽ ഇത് കുറഞ്ഞ തേയ്മാനം കാണിക്കുന്നു.
ചോദ്യം 4: ഉൽപ്പന്നം ISO ക്ലാസ് 1 ക്ലീൻറൂമുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണോ?
തീർച്ചയായും. ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്സർട്ടിഫൈഡ് ക്ലീൻറൂം സൗകര്യങ്ങളിലാണ് ഇത് നിർമ്മിച്ച് പാക്കേജ് ചെയ്യുന്നത്, കണികാ അളവ് ISO ക്ലാസ് 1 ആവശ്യകതകൾക്ക് വളരെ താഴെയാണ്.
Q5: ഈ ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡിന്റെ പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില എന്താണ്?
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്1500°C വരെ തുടർച്ചയായി പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രോസസ്സ് ചേമ്പറുകളിലും താപ വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങളിലും നേരിട്ടുള്ള ഉപയോഗത്തിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
എഞ്ചിനീയർമാർ, ലാബ് മാനേജർമാർ, സിസ്റ്റം ഇന്റഗ്രേറ്റർമാർ എന്നിവരിൽ നിന്നുള്ള ഏറ്റവും സാധാരണമായ സാങ്കേതിക ആശങ്കകളെ ഈ പതിവുചോദ്യങ്ങൾ പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ്.
ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്
പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.
