സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ സക്കർ സിലിക്കൺ സെറാമിക് ട്യൂബ് വിതരണം ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സീനറിംഗ് കസ്റ്റം പ്രോസസ്സിംഗ്
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ:
1. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ
- ഉയർന്ന കാഠിന്യവും റെസിസ്റ്റോസും: കാഠിന്യം വജ്രത്തോട് അടുത്താണ്, മാത്രമല്ല വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിൽ മെക്കാനിക്കൽ വസ്ത്രം നേരിടാൻ കഴിയും.
- ഉയർന്ന താപ ചാലക്ഷവും കുറഞ്ഞ താപ വികാരിക ഗുണകവും: വേഗത്തിൽ ചൂട് അലിപ്പനിയും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരതയും, താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന രൂപഭേദം ഒഴിവാക്കൽ.
- ഉയർന്ന പരന്നതും ഉപരിതലവുമായ ഫിനിഷ്: ഉപരിതല പരന്നതാണ്, മാത്രമല്ല അവശരവും ഡിസ്ക്യും തമ്മിലുള്ള പൂർണ്ണ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കൽ, മലിനീകരണവും കേടുപാടുകളും കുറയ്ക്കുന്നു.
കെമിക്കൽ സ്ഥിരത: ശക്തമായ നാശ്വനി പ്രതിരോധം, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ നനഞ്ഞ വൃത്തിയാക്കുന്നതിനും പ്രോസസ്സുകൾക്കുമായി അനുയോജ്യം.
2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ്
- ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം: 1600 ° C ന് മുകളിലുള്ള ഉയർന്ന താപനില പരിതസ്ഥിതിയിൽ വളരെക്കാലം ജോലിചെയ്യാം, അർദ്ധചാലക ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയയ്ക്ക് അനുയോജ്യം.
മികച്ച കരൗഷൻ പ്രതിരോധം: അസിസ്റ്റുകൾ, ക്ഷാളുകൾ, വൈവിധ്യമാർന്ന രാസ ലായകങ്ങൾ എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കുന്നത്, കഠിനമായ പ്രോസസ് പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യം.
- ഉയർന്ന കാഠിന്യവും റെസിസ്റ്റും: കണിക മണ്ണൊലിപ്പ്, മെക്കാനിക്കൽ വസ്ത്രങ്ങൾ എന്നിവ പ്രതിരോധിക്കുക, സേവന ജീവിതം വിപുലീകരിക്കുക.
- ഉയർന്ന താപ ചാലക്ഷവും താപ വികാസത്തിന്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകതയും: ചൂടിന്റെയും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരതയുടെയും വേഗത്തിലുള്ള പാലകം, താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന തകരാറുകൾ കുറയ്ക്കുക.
ഉൽപ്പന്ന പാരാമീറ്റർ:
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ പാരാമീറ്റർ:
(മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി) | (യൂണിറ്റ്) | (SSIC) | |
(SIC ഉള്ളടക്കം) | (Wt)% | > 99 | |
(ശരാശരി ധാന്യ വലുപ്പം) | മൈക്രോ | 4-10 | |
(സാന്ദ്രത) | KG / DM3 | > 3.14 | |
(വ്യക്തമായ പോറോസിറ്റി) | Vo1% | <0.5 | |
(വിചെർസ് കാഠിന്യം) | എച്ച്വി 0.5 | ജിപിഎ | 28 |
* () വഴക്കമുള്ള ശക്തി * (മൂന്ന് പോയിന്റുകൾ) | 20ºc | എംപിഎ | 450 |
(കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി) | 20ºc | എംപിഎ | 3900 |
(ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്) | 20ºc | ജിപിഎ | 420 420 |
(ഒടിവ് കാഠിന്യം) | Mpa / m '% | 3.5 | |
(താപ ചാലകത) | 20 ° ºC | W / (m * k) | 160 |
(പ്രതിരോധം) | 20 ° ºC | OHM.CM | 106-108 |
(താപ വിപുലീകരണം ഗുണകം) | a (rt ** ... 80ºc) | K-1 * 10-6 | 4.3 |
(പരമാവധി ഓപ്പറേറ്റിംഗ് താപനില) | OºC | 1700 |
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ് പാരാമീറ്റർ:
ഇനങ്ങൾ | സൂചിക |
α-SIC | 99% മിനിറ്റ് |
വ്യക്തമായ പോറോസിറ്റി | 16% പരമാവധി |
ബൾക്ക് സാന്ദ്രത | 2.7 ജി / cm3 മിനിറ്റ് |
ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ശക്തി വളയുന്നു | 100 എംപിഎ മിനിറ്റ് |
താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം | K-1 4.7x10 -6 |
താപ ചാലകതയുടെ ഗുണകം (1400ºc) | 24 w / mk |
പരമാവധി. പ്രവർത്തന താപനില | 1650ºC |
പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ:
1. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് പ്ലേറ്റ്
- വേഫർ കട്ടിംഗും മിനുക്കളും: കട്ടിംഗിലും മിനുക്കുന്നതിലും ഉയർന്ന കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ബെയറിംഗ് പ്ലാറ്റ്ഫോമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
- ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയ: എക്സ്പോഷറിൽ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്ഥാനം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് വേഫർ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിൽ നിശ്ചയിച്ചിട്ടുണ്ട്.
- കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (സിഎംപി): മിനുസപ്പെടുത്തുന്ന പാഡുകൾ മിനുസപ്പെടുത്തുന്ന ഒരു പിന്തുണാ പ്ലാറ്റ്ഫോമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു, ഇത് യൂണിഫോം സമ്മർദ്ദവും ചൂട് വിതരണവും നൽകുന്നു.
2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ്
- ഉയർന്ന താപനിലയിലെ ടർണസ് ട്യൂബ്: ഉയർന്ന താപനില പ്രോസസ് ചികിത്സയ്ക്കായി വേഫറുകൾ വഹിക്കുന്നതിന് വ്യാഴാഴ്ച വ്യാപനം, ഓക്സിഡേഷൻ ചൂള എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപനില ഉപകരണങ്ങൾക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
- സിവിഡി / പിവിഡി പ്രോസസ്സ്: പ്രതികരണ അറയിൽ ഒരു ചുമക്കുന്ന ട്യൂബായി, ഉയർന്ന താപനിലയും നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകങ്ങളും പ്രതിരോധിക്കും.
- അർദ്ധചാലക ഉപകരണ ആക്സസറികൾ: ഡിവൈസ് ഓഫ് ഉപകരണങ്ങളുടെ താപ മാനേജുമെന്റ് കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ചൂട് എക്സ്ചേഞ്ചറുകൾ, ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾ മുതലായവ.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേകൾ, സക്ഷൻ കപ്പുകൾ, സിലിക്കൺ സെറാമിക് ട്യൂബുകൾക്കായി ഒരു മുഴുവൻ കസ്റ്റം സേവനങ്ങളുടെ ഒരു മുഴുവൻ ശ്രേണിയാണ് xkh വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നത്. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ട്രെയിമിക് ട്രേകൾ, സക്ഷൻ കപ്പുകൾ എന്നിവ അനുസരിച്ച്, എക്സ്കെഎച്ച് ഇച്ഛാനുസൃതമാക്കാനും പ്രത്യേക പൂശുന്ന ചികിത്സയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനും പ്രതിരോധത്തെ പ്രതിരോധം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും ക്ലോസിംഗ് പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും കഴിയും; സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ട്യൂബിക് ട്യൂബുകൾക്ക്, എക്സ്കെഎച്ചിന് പലതരം ആന്തരിക വ്യാസമുള്ള, ബാഹ്യ ട്യൂബ് അല്ലെങ്കിൽ നീളമുള്ള ഘടന (ആകൃതിയിലുള്ള ട്യൂബ്, പോറസ് ട്യൂബ്), മിനുസമാർന്ന, ആന്റി ഓക്സിഡേഷൻ കോട്ടിംഗുകൾ, മറ്റ് ഉപരിതല ചികിത്സാ പ്രക്രിയകൾ എന്നിവ സ്ഥാപിക്കാൻ കഴിയും. അർദ്ധരാധികാരികൾ, എൽഇഡികൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടക്സ് തുടങ്ങിയ ഹൈ-എൻഡ് നിർമ്മാണ ഫീൽഡുകളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഉൽപന്നങ്ങളുടെ പ്രകടന ആനുകൂല്യങ്ങൾ നേടാൻ കഴിയുമെന്ന് ഉത്സാഹിക്കുന്നു.
വിശദമായ ഡയഗ്രം



