സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ സക്കർ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ് സപ്ലൈ ഹൈ ടെമ്പറേച്ചർ സിന്ററിംഗ് കസ്റ്റം പ്രോസസ്സിംഗ്

ഹൃസ്വ വിവരണം:

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഉയർന്ന പ്രകടന വസ്തുക്കളാണ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേയും സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബുകളും. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രക്രിയയുടെ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ പ്രധാനമായും വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് ഫിക്സഡ്, ബെയറിംഗിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു; തീവ്രമായ പരിതസ്ഥിതികളെ നേരിടാനും കാര്യക്ഷമമായ താപ മാനേജ്മെന്റ് നിലനിർത്താനും ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഫർണസ് ട്യൂബുകൾ, ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസ് ട്യൂബുകൾ, മറ്റ് സാഹചര്യങ്ങൾ എന്നിവയിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. രണ്ടും കോർ മെറ്റീരിയലായി സിലിക്കൺ കാർബൈഡിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, മികച്ച ഭൗതിക, രാസ ഗുണങ്ങൾ കാരണം സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ ഒരു പ്രധാന ഘടകമായി ഇത് മാറിയിരിക്കുന്നു.


ഫീച്ചറുകൾ

പ്രധാന സവിശേഷതകൾ:

1. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ
- ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും: കാഠിന്യം വജ്രത്തിന് അടുത്താണ്, കൂടാതെ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിൽ മെക്കാനിക്കൽ തേയ്മാനത്തെ വളരെക്കാലം നേരിടാൻ കഴിയും.
- ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകവും: വേഗത്തിലുള്ള താപ വിസർജ്ജനവും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരതയും, താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന രൂപഭേദം ഒഴിവാക്കുന്നു.
- ഉയർന്ന പരന്നതും ഉപരിതല ഫിനിഷും: ഉപരിതല പരന്നത മൈക്രോൺ ലെവൽ വരെയാണ്, ഇത് വേഫറിനും ഡിസ്കിനും ഇടയിൽ പൂർണ്ണ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കുന്നു, മലിനീകരണവും കേടുപാടുകളും കുറയ്ക്കുന്നു.
രാസ സ്ഥിരത: ശക്തമായ നാശന പ്രതിരോധം, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ വെറ്റ് ക്ലീനിംഗ്, എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യം.
2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ്
- ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം: 1600°C-ന് മുകളിലുള്ള ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഇത് വളരെക്കാലം പ്രവർത്തിക്കും, അർദ്ധചാലക ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം: ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ, വിവിധതരം രാസ ലായകങ്ങൾ എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കും, കഠിനമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യം.
- ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും: കണികാ മണ്ണൊലിപ്പിനെയും മെക്കാനിക്കൽ തേയ്മാനത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുക, സേവന ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുക.
- ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകവും: താപത്തിന്റെ വേഗത്തിലുള്ള ചാലകതയും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരതയും, താപ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന രൂപഭേദം അല്ലെങ്കിൽ വിള്ളൽ കുറയ്ക്കുന്നു.

ഉൽപ്പന്ന പാരാമീറ്റർ:

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേ പാരാമീറ്റർ:

(മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി) (യൂണിറ്റ്) (ssic)
(SiC ഉള്ളടക്കം)   (പടിഞ്ഞാറ്)% >99 समान
(ശരാശരി ധാന്യ വലുപ്പം)   മൈക്രോൺ 4-10
(സാന്ദ്രത)   കിലോഗ്രാം/ഡിഎം3 >3.14
(പ്രത്യക്ഷമായ സുഷിരം)   വോ1% <0.5 <0.5
(വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം) എച്ച്വി 0.5 ജിപിഎ 28
*()
വഴക്കമുള്ള ശക്തി* (മൂന്ന് പോയിന്റുകൾ)
20ºC എം.പി.എ 450 മീറ്റർ
(കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി) 20ºC എം.പി.എ 3900 പിആർ
(ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്) 20ºC ജിപിഎ 420 (420)
(ഒടിവിന്റെ കാഠിന്യം)   MPa/m'% 3.5
(താപ ചാലകത) 20°ºC പ/(മീ*ക) 160
(പ്രതിരോധശേഷി) 20°ºC ഓം.സെ.മീ. 106-108

(താപ വികാസ ഗുണകം)
എ(ആർടി**...80ºC) കെ-1*10-6 4.3 വർഗ്ഗീകരണം

(പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില)
  oºC 1700 മദ്ധ്യസ്ഥൻ

 

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ് പാരാമീറ്റർ:

ഇനങ്ങൾ സൂചിക
α-സിഐസി 99% മിനിറ്റ്
പ്രകടമായ പോറോസിറ്റി പരമാവധി 16%
ബൾക്ക് ഡെൻസിറ്റി 2.7 ഗ്രാം/സെ.മീ3 മിനിറ്റ്
ഉയർന്ന താപനിലയിൽ വളയുന്ന ശക്തി 100 എംപിഎ മിനിറ്റ്
താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം കെ-1 4.7x10 -6
താപ ചാലകതയുടെ ഗുണകം (1400ºC) 24 വാട്ട്/എംകെ
പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില 1650ºC

 

പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ:

1. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് പ്ലേറ്റ്
- വേഫർ കട്ടിംഗും പോളിഷിംഗും: കട്ടിംഗിലും പോളിഷിംഗിലും ഉയർന്ന കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു ബെയറിംഗ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോമായി ഇത് പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
- ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയ: എക്സ്പോഷർ സമയത്ത് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സ്ഥാനം ഉറപ്പാക്കാൻ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിൽ വേഫർ ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.
- കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (CMP): പോളിഷിംഗ് പാഡുകൾക്കുള്ള ഒരു പിന്തുണാ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു, ഇത് ഏകീകൃത മർദ്ദവും താപ വിതരണവും നൽകുന്നു.
2. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബ്
- ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഫർണസ് ട്യൂബ്: ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള പ്രോസസ്സ് ട്രീറ്റ്‌മെന്റിനായി വേഫറുകൾ കൊണ്ടുപോകുന്നതിന് ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസ്, ഓക്‌സിഡേഷൻ ഫർണസ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഉപയോഗിക്കുന്നു.
- സിവിഡി/പിവിഡി പ്രക്രിയ: ഉയർന്ന താപനിലയെയും നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകങ്ങളെയും പ്രതിരോധിക്കുന്ന, പ്രതികരണ അറയിലെ ഒരു ബെയറിംഗ് ട്യൂബ് എന്ന നിലയിൽ.
- സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ ആക്സസറികൾ: ഉപകരണങ്ങളുടെ താപ മാനേജ്മെന്റ് കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഹീറ്റ് എക്സ്ചേഞ്ചറുകൾ, ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾ മുതലായവയ്ക്ക്.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേകൾ, സക്ഷൻ കപ്പുകൾ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബുകൾ എന്നിവയ്ക്കായി XKH പൂർണ്ണമായ കസ്റ്റം സേവനങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്രേകളും സക്ഷൻ കപ്പുകളും, വ്യത്യസ്ത വലുപ്പങ്ങൾ, ആകൃതികൾ, ഉപരിതല പരുക്കൻത എന്നിവയുടെ ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് XKH ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാനും പ്രത്യേക കോട്ടിംഗ് ചികിത്സയെ പിന്തുണയ്ക്കാനും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും നാശന പ്രതിരോധവും വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും; സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ട്യൂബുകൾക്ക്, XKH-ന് വൈവിധ്യമാർന്ന ആന്തരിക വ്യാസം, പുറം വ്യാസം, നീളം, സങ്കീർണ്ണമായ ഘടന (ആകൃതിയിലുള്ള ട്യൂബ് അല്ലെങ്കിൽ പോറസ് ട്യൂബ് പോലുള്ളവ) ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാനും പോളിഷിംഗ്, ആന്റി-ഓക്‌സിഡേഷൻ കോട്ടിംഗ്, മറ്റ് ഉപരിതല ചികിത്സ പ്രക്രിയകൾ എന്നിവ നൽകാനും കഴിയും. സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, ലെഡുകൾ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്‌ക്‌സ് തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിർമ്മാണ മേഖലകളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിന് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ പ്രകടന നേട്ടങ്ങൾ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് പൂർണ്ണമായി പ്രയോജനപ്പെടുത്താൻ കഴിയുമെന്ന് XKH ഉറപ്പാക്കുന്നു.

വിശദമായ ഡയഗ്രം

SIC സെറാമിക് ട്രേയും ട്യൂബും 6
SIC സെറാമിക് ട്രേയും ട്യൂബും 7
എസ്‌ഐസി സെറാമിക് ട്രേയും ട്യൂബും 8
എസ്‌ഐസി സെറാമിക് ട്രേയും ട്യൂബും 9

  • മുമ്പത്തേത്:
  • അടുത്തത്:

  • നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഇവിടെ എഴുതി ഞങ്ങൾക്ക് അയക്കുക.