സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ (ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് ടൈപ്പ്)
വിശദമായ ഡയഗ്രം
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസിന്റെ അവലോകനം
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർസെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം, ഫോട്ടോണിക്സ്, ഓട്ടോമേഷൻ റോബോട്ടിക്സ്, അഡ്വാൻസ്ഡ് മെറ്റീരിയൽ പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവയ്ക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യൽ ഘടകമാണ്. ഒരു ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് കോൺഫിഗറേഷനിൽ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഅസാധാരണമായ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത, അൾട്രാ-ഹൈ കാഠിന്യം, വളരെ കുറഞ്ഞ കണികാ ഉത്പാദനം എന്നിവ നൽകുന്നു, ഇത് സെൻസിറ്റീവ് വേഫർ, സബ്സ്ട്രേറ്റ് ട്രാൻസ്ഫർ പ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
പരമ്പരാഗത ലോഹ അല്ലെങ്കിൽ പോളിമർ എൻഡ് ഉപകരണങ്ങളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർതീവ്രമായ താപനില, കെമിക്കൽ എക്സ്പോഷർ, വാക്വം പരിതസ്ഥിതികൾ എന്നിവയിൽ ആകൃതി കൃത്യത നിലനിർത്താൻ കഴിയും. ഇതിന്റെ അൾട്രാ-ഫ്ലാറ്റ് സപ്പോർട്ടിംഗ് ഉപരിതലം സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, ഗ്ലാസ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ, സഫയർ ഒപ്റ്റിക്സ്, SiC വേഫറുകൾ, മറ്റ് ദുർബലമായ വസ്തുക്കൾ എന്നിവയുടെ സ്ഥിരതയുള്ള കൈകാര്യം ചെയ്യൽ ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഭാരം കുറഞ്ഞതും എന്നാൽ കർക്കശവുമായ ഘടനയോടെ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർദ്രുത റോബോട്ടിക് ആക്സിലറേഷൻ സമയത്ത് വൈബ്രേഷൻ കുറയ്ക്കുകയും, ത്രൂപുട്ട് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും, മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
മലിനീകരണ രഹിത പ്രകടനത്തിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർFOUP ലോഡ് പോർട്ടുകൾ, EFEM മൊഡ്യൂളുകൾ, ലിത്തോഗ്രാഫി സിസ്റ്റങ്ങൾ, വാക്വം ട്രാൻസ്ഫർ ടൂളുകൾ, മെട്രോളജി സ്റ്റേഷനുകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു - ഓട്ടോമേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കും വിലയേറിയ വസ്തുക്കൾക്കും ഇടയിൽ വിശ്വസനീയവും ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ളതുമായ ഇന്റർഫേസ് നൽകുന്നു.
നിർമ്മാണ തത്വം
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത എന്നിവ ഉറപ്പുനൽകുന്ന ഒരു പ്രത്യേക സെറാമിക് ഫാബ്രിക്കേഷൻ വർക്ക്ഫ്ലോയിലൂടെയാണ് ഇത് നിർമ്മിക്കുന്നത്. ഉൽപാദന പ്രക്രിയയിലുടനീളം, കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണങ്ങൾ ഓരോന്നും ഉറപ്പാക്കുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർസെമികണ്ടക്ടർ-ക്ലാസ് ഓട്ടോമേറ്റഡ് സിസ്റ്റങ്ങളുടെ കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു.
1. മെറ്റീരിയൽ തയ്യാറാക്കൽ
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള SiC പൊടികളുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പിലാണ് നിർമ്മാണം ആരംഭിക്കുന്നത്. ഈ പൊടികളാണ് മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും പരിശുദ്ധിയും നിർണ്ണയിക്കുന്നത്.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർപ്രത്യേക ബൈൻഡറുകളും സിന്ററിംഗ് അഡിറ്റീവുകളും സംയോജിപ്പിച്ച് അനുയോജ്യമായ കണികാ പാക്കിംഗ് നേടുകയും ഏകീകൃത സാന്ദ്രത പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
2. രൂപപ്പെടുത്തലും പ്രീഫോർമിംഗും
പച്ച ശരീരംസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ സെറാമിക് ഇഞ്ചക്ഷൻ മോൾഡിംഗ് ഉപയോഗിച്ചാണ് ഇത് രൂപപ്പെടുത്തുന്നത്. ഇത് കുറഞ്ഞ ആന്തരിക വൈകല്യങ്ങളുള്ള ഒരു സ്ട്രെസ്-ബാലൻസ്ഡ് ഘടന ഉറപ്പാക്കുന്നു. വേഫർ വ്യാസങ്ങളും റോബോട്ടിക് മൗണ്ടിംഗ് ഇന്റർഫേസുകളും പൊരുത്തപ്പെടുത്തുന്നതിനായി ഈ ഘട്ടത്തിൽ ഫോർക്ക്-സ്റ്റൈൽ ജ്യാമിതി രൂപപ്പെടുത്തിയിരിക്കുന്നു.
3. ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്
ആകൃതിയിലുള്ള ഘടകം 2000°C ന് മുകളിൽ ഒരു വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷത്തിൽ സിന്റർ ചെയ്യുന്നു. ഈ ഘട്ടത്തിൽ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർസൈദ്ധാന്തിക സാന്ദ്രതയ്ക്ക് സമീപം എത്തുകയും മികച്ച കാഠിന്യം, താപ ആഘാത പ്രതിരോധം, രാസ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ ഘട്ടം ഘടകത്തിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ സമഗ്രതയെ നിർവചിക്കുന്നു.
4. സിഎൻസി പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ്
സിന്ററിംഗിന് ശേഷം, ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, മൾട്ടി-ആക്സിസ് സിഎൻസി മെഷീനിംഗ് എന്നിവ ജ്യാമിതിയെ പരിഷ്കരിക്കുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർവേഫർ കോൺടാക്റ്റ് സർഫേസുകൾ, മൗണ്ടിംഗ് ഹോളുകൾ, അലൈൻമെന്റ് ഗ്രൂവുകൾ, ഫോർക്ക് സ്പെയ്സിംഗ് തുടങ്ങിയ നിർണായക സവിശേഷതകൾ ±0.01 മില്ലീമീറ്റർ വരെ ഇറുകിയ ടോളറൻസുകളിൽ മെഷീൻ ചെയ്തിരിക്കുന്നു.
5. ഉപരിതല ഫിനിഷിംഗും വൃത്തിയാക്കലും
ഒടുവിൽ, ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഅൾട്രാ-ഫൈൻ പോളിഷിംഗിനും ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗിനും വിധേയമാകുന്നു. ഈ ഘട്ടം ഉപരിതല പരുക്കൻത കുറയ്ക്കുകയും സൂക്ഷ്മകണങ്ങൾ ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ക്ലീൻറൂം അനുയോജ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഓപ്ഷണൽ സിവിഡി-എസ്ഐസി കോട്ടിംഗുകൾ അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്മ-പ്രതിരോധ പാളികൾ ഈട് കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിക്കും.
ഈ സൂക്ഷ്മമായ നിർമ്മാണ സമീപനം ഓരോന്നിനും ഉറപ്പാക്കുന്നുസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഓട്ടോമേഷൻ പരിതസ്ഥിതികളിൽ വിശ്വസനീയമായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
അപേക്ഷകൾ
ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർശുചിത്വം, കൃത്യത, വിശ്വാസ്യത എന്നിവ വിലകുറച്ച് കാണാനാവാത്ത വ്യവസായങ്ങൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു. ഇതിന്റെ ഫോർക്ക് ആം/ഹാൻഡ് ഡിസൈൻ റോബോട്ടിക് ആംസ്, പിക്ക്-ആൻഡ്-പ്ലേസ് സിസ്റ്റങ്ങൾ, വാക്വം ട്രാൻസ്ഫർ ടൂളുകൾ, അഡ്വാൻസ്ഡ് ഇൻസ്പെക്ഷൻ പ്ലാറ്റ്ഫോമുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
1. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം
സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബുകളിൽ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർവ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു:
-
വേഫർ ലോഡുചെയ്യൽ/അൺലോഡുചെയ്യൽ
-
FOUP സോർട്ടിംഗ്
-
വാക്വം ചേമ്പർ ഗതാഗതം
-
എച്ചിംഗ്, ലിത്തോഗ്രാഫി, നിക്ഷേപ പ്രക്രിയകൾ
വളരെ വൃത്തിയുള്ളതും കർക്കശവുമായസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർവേഫർ സ്ലിപ്പ്, വില്ല്, മലിനീകരണം എന്നിവ തടയുന്നു, 150 മില്ലിമീറ്റർ മുതൽ 300 മില്ലിമീറ്റർ വരെയുള്ള വേഫറുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
2. ഫോട്ടോണിക്സും ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്സും
ദുർബലമായ ലെൻസുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, GaN സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ, ഫോട്ടോണിക് ചിപ്പുകൾ എന്നിവ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിന്,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർവൈബ്രേഷൻ രഹിത സ്ഥിരത നൽകുന്നു. ഇതിന്റെ ലോഹേതര സ്വഭാവം കാന്തിക ഇടപെടലും ഒപ്റ്റിക്കൽ മലിനീകരണവും ഒഴിവാക്കുന്നു.
3. ഡിസ്പ്ലേ & പാനൽ നിർമ്മാണം
OLED, QLED, LCD പാനൽ നിർമ്മാണത്തിൽ,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർനേർത്ത ഗ്ലാസും പ്രത്യേക അടിവസ്ത്രങ്ങളും സുരക്ഷിതമായി കൈമാറുന്നു. ഇതിന്റെ രാസപരമായി നിർജ്ജീവമായ ഉപരിതലം അവശിഷ്ടങ്ങളിൽ നിന്നും ഉപരിതല നാശത്തിൽ നിന്നും സംരക്ഷിക്കുന്നു.
4. എയ്റോസ്പേസ്, വാക്വം റോബോട്ടിക്സ്
ഉയർന്ന വാക്വം ചേമ്പറുകളിലും എയ്റോസ്പേസ് അസംബ്ലി ലൈനുകളിലും,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഉയർന്ന താപനില, വികിരണ എക്സ്പോഷർ, നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകങ്ങൾ എന്നിവയെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതിനൊപ്പം അളവുകളുടെ കൃത്യത നിലനിർത്തുന്നു.
ഈ വ്യവസായങ്ങളിലെല്ലാം,സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർലോഹ, പോളിമർ ബദലുകളെ സ്ഥിരമായി മറികടക്കുന്നു.
പതിവുചോദ്യങ്ങൾ - പതിവായി ചോദിക്കുന്ന ചോദ്യങ്ങൾ
Q1: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്ററിന് ഇഷ്ടാനുസൃത വലുപ്പങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കാൻ കഴിയുമോ?
അതെ. ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഏത് വേഫർ, പാനൽ അല്ലെങ്കിൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് വലുപ്പത്തിനും വേണ്ടി രൂപകൽപ്പന ചെയ്യാൻ കഴിയും. ഫോർക്ക് സ്പെയ്സിംഗ്, കനം, ഭാരം, മൗണ്ടിംഗ് ഹോൾ പാറ്റേണുകൾ എന്നിവ പൂർണ്ണമായും ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
ചോദ്യം 2: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ വാക്വം പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാണോ?
തീർച്ചയായും. ദിസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർവളരെ കുറഞ്ഞ വാതക മലിനീകരണവും ലോഹ മലിനീകരണവുമില്ല, ഇത് UHV, ക്ലീൻറൂം പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
Q3: അലൂമിനിയം അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റീലിനെ അപേക്ഷിച്ച് ഒരു SiC എൻഡ് ഇഫക്ടറിന്റെ ഗുണങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?
A സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർഓഫറുകൾ:
-
ഉയർന്ന കാഠിന്യം-ഭാരം അനുപാതം
-
താഴ്ന്ന താപ വികാസം
-
മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം
-
മെച്ചപ്പെട്ട പ്ലാസ്മ, രാസ പ്രതിരോധം
-
സീറോ കോറോഷൻ
ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്
പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, മിലിട്ടറി എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.












