സിക് സെറാമിക് ചക്ക് സെറാമിക് സക്ഷൻ കപ്പുകൾ കൃത്യമായി ഇച്ഛാനുസൃതമാക്കി

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

ഉയർന്ന കാഠിന്യം, ഉയർന്ന താപ ചാൽവിത്വം, മികച്ച രാസ സ്ഥിരത എന്നിവ കാരണം അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് അനുയോജ്യമായ തിരഞ്ഞെടുപ്പാണ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ട്രേ സക്കർ. അതിന്റെ ഉയർന്ന പരമവും ഉപരിതലവും വേഫറും സക്കറും തമ്മിൽ പൂർണ്ണ സമ്പർക്കം ഉറപ്പാക്കുന്നു, മലിനീകരണവും നാശവും കുറയ്ക്കുന്നു; ഉയർന്ന താപനിലയും നാശവും പ്രതിരോധം കഠിനമായ പ്രോസസ് പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു; അതേസമയം, ഭാരം കുറഞ്ഞ രൂപകൽപ്പനയും ദീർഘായുസ്സോ സവിശേഷതകളും ഉത്പാദനച്ചെലവ് കുറയ്ക്കുകയും വേഫർ കട്ടിംഗിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ, ഒപ്പം, മിന്നുന്ന, ലിത്തോഗ്രാഫി, മറ്റ് പ്രോസസ്സുകൾ എന്നിവയിലെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത പ്രധാന ഘടകങ്ങളാണ്.


ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

മെറ്റീരിയൽ സവിശേഷതകൾ:

1.ഹ്ശ്വാസം: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന്റെ മോഹസ് കാഠിന്യം 9.2-9.5, രണ്ടാമത് വജ്രത്തിന്മേൽ മാത്രം, ശക്തമായ ധരിക്കൽ.
2. ഉയർന്ന താപചാരകൻ: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന്റെ താപ ചാലകത 120-200 w / m k · · · · · · k k k k k k k k ും.
3. കുറഞ്ഞ താപ വിപുലീകരണം ഗുണകം: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് തെർമൽ വിപുലീകരണ കോഫിഫിഷ്യന്റ് കുറവാണ് (4.0-4.5 × 10 k), ഇപ്പോഴും ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ കഴിയും.
4. രാസ സ്ഥിരത: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ആസിഡ്, ക്ഷാരകോണ പ്രതിരോധം, രാസരഹിതമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഉപയോഗിക്കാൻ അനുയോജ്യമാണ്.
5. ഉയർന്ന മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് ഉയർന്ന വളവ് ശക്തിയും കംപ്രസ്സീവ് ശക്തിയും ഉണ്ട്, കൂടാതെ വലിയ മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദം നേരിടാനും കഴിയും.

ഫീച്ചറുകൾ:

1. അർദ്ധചാലക വ്യവസായം, അങ്ങേയറ്റം നേർത്ത വേഫറുകൾ ഒരു വാക്വം സക്ഷൻ കപ്പിൽ സ്ഥാപിക്കേണ്ടതുണ്ട്, വേഫറുകൾ പരിഹരിക്കാൻ വാക്വം സക്ഷൻ, വാക്സിംഗ്, നേർത്തത്, നേർത്തത്, വൃത്തിയാക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, ക്ലീനിംഗ് എന്നിവയാണ്.
2. അസൈക്കൺ കാർബൈഡ് സക്കറിന് നല്ല താപ ചാലകതയുണ്ട്, മെഴുഷിംഗ്, വാക്സിംഗ് സമയം എന്നിവ ഫലപ്രദമായി ചെറുതാക്കാൻ കഴിയും, ഉൽപാദന കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.
3. സിറ്റിക്കൺ കാർബൈഡ് വാക്വം സക്കറിനും നല്ല ആസിഡും ക്ഷാരവും ഉണ്ട്.
4. പരമ്പരാഗത കോറണ്ടാം കാരിയർ പ്ലേറ്റിനൊപ്പം, ലോഡിംഗ്, ചൂടാക്കൽ, തണുപ്പിക്കൽ സമയം എന്നിവ ചെറുതാക്കുക, ജോലി കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുക; അതേസമയം, മുകളിലും താഴെയുമുള്ള പ്ലേറ്റുകൾ തമ്മിലുള്ള വസ്ത്രങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും നല്ല വിമാന കൃത്യത നിലനിർത്തുക, സേവന ജീവിതം ഏകദേശം 40% വർദ്ധിപ്പിക്കുക.
5. മെറ്റീരിയൽ അനുപാതം ചെറുതും ഭാരം കുറഞ്ഞതുമായ ഭാരം. ഓപ്പറേറ്റർമാർ പലകകൾ വഹിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, ഗതാഗത ബുദ്ധിമുട്ടുകൾ കാരണം 20% വർദ്ധിച്ചു.
6. ഉപകരണങ്ങൾ: പരമാവധി വ്യാസം 640 മിമി; പരന്നത: 3Um അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കുറവ്

ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡ്:

1. അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം
● വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ്:
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, തിരഞ്ഞെടുത്തത്, നേർത്ത ഫിലിം ഡിസെപ്ഷനി, മറ്റ് പ്രോസസ്സുകൾ എന്നിവയിലെ വേഫർ ഫിക്സേഷന് വേണ്ടി, ഉയർന്ന കൃത്യതയും പ്രക്രിയയും ഉറപ്പാക്കൽ. കഠിനമായ അർദ്ധചാലക നിർമാണ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അതിന്റെ ഉയർന്ന താപനിലയും നാശവും പ്രതിരോധം അനുണം നൽകുന്നു.
Ep ഉപ്പിട്ട വളർച്ച:
വിഷമകരമായ വേഫറുകൾ ചൂടാക്കാനും പരിഹരിക്കാനുമുള്ള ഒരു കാരിയേറിയറ്റിലോ, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ താപനില ആകർഷകവും ക്രിസ്റ്റൽ നിലവാരവും ഉറപ്പാക്കുക, ഉപകരണ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
2. ഫോട്ടോ ഇലക്ട്രിക് ഉപകരണങ്ങൾ
● നേട്ടത്തിന്റെ നേതൃത്വത്തിലുള്ള നിർമ്മാണം:
എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയുടെ ഏകത ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് നീലക്കല്ല് അല്ലെങ്കിൽ എസ്ഐസി കെ.ഇ.ഇ കെ.ഇ.
● ലേസർ ഡയോഡ്:
ഒരു ഉയർന്ന കൃത്യത ഘടകം, പ്രോസസ് താപനില സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ കെ.ഇ.യായി ഫിക്സിംഗും ചൂടാക്കുന്നതും, ലേസർ ഡയോഡിന്റെ output ട്ട്പുട്ട് ശക്തിയും വിശ്വാസ്യതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുക.
3. കൃത്യത മെഷീനിംഗ്
● ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടക പ്രോസസ്സിംഗ്:
പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് ഉയർന്ന കൃത്യതയും കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് ഒപ്റ്റിക്കൽ ലെൻസുകളും ഫിൽറ്ററുകളും പോലുള്ള കൃത്യമായ ഘടകങ്ങൾ പരിഹരിക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു, മാത്രമല്ല ഉയർന്ന തീവ്രത മെഷീനിംഗിന് അനുയോജ്യവുമാണ്.
● സെറാമിക് പ്രോസസ്സിംഗ്:
ഒരു ഉയർന്ന സ്ഥിരത ഘടകമെന്ന നിലയിൽ, സെറാമിക് വസ്തുക്കളുടെ കൃത്യത വൈഷനികൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്, ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന അന്തരീക്ഷത്തിനു കീഴിലും സ്ഥിരത ഉറപ്പുവരുത്തുന്നതിന് ഇത് അനുയോജ്യമാണ്.
4. ശാസ്ത്രീയ പരീക്ഷണങ്ങൾ
● ഉയർന്ന താപനില പരീക്ഷണം:
ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ഒരു സാമ്പിൾ ഫിക്സേഷൻ ഉപകരണമായി, താപനില ആകർഷകവും സാമ്പിൾ സ്ഥിരത ഉറപ്പുവരുത്തുന്നതിന് ഇത് 1600 ° C ന് മുകളിലുള്ള കടുത്ത താപനില പരീക്ഷണങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
● വാക്വം പരിശോധന:
വാക്വം പരിസ്ഥിതിയിലെ സാമ്പിൾ ഫിക്സും ചൂടാക്കൽ കാരിയറും പോലെ, വാക്വം പൂശുന്നു, ചൂട് ചികിത്സയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.

സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ:

(മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടി)

(യൂണിറ്റ്)

(SSIC)

(SIC ഉള്ളടക്കം)

 

(Wt)%

> 99

(ശരാശരി ധാന്യ വലുപ്പം)

 

മൈക്രോ

4-10

(സാന്ദ്രത)

 

KG / DM3

> 3.14

(വ്യക്തമായ പോറോസിറ്റി)

 

Vo1%

<0.5

(വിചെർസ് കാഠിന്യം)

എച്ച്വി 0.5

ജിപിഎ

28

* (വഴക്കമുള്ള ശക്തി)
* (മൂന്ന് പോയിന്റുകൾ)

20ºc

എംപിഎ

450

(കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി)

20ºc

എംപിഎ

3900

(ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്)

20ºc

ജിപിഎ

420 420

(ഒടിവ് കാഠിന്യം)

 

Mpa / m '%

3.5

(താപ ചാലകത)

20 ° ºC

W / (m * k)

160

(പ്രതിരോധം)

20 ° ºC

OHM.CM

106-108


(താപ വിപുലീകരണം ഗുണകം)

a (rt ** ... 80ºc)

K-1 * 10-6

4.3


(പരമാവധി ഓപ്പറേറ്റിംഗ് താപനില)

 

OºC

1700

സാങ്കേതിക ശേഖരണത്തിന്റെയും വ്യവസായ അനുഭവത്തിന്റെയും വർഷങ്ങൾ, ചൂടാക്കൽ രീതി, വാക്വം, വാക്വം എന്നിവ പോലുള്ള കീ പാരാമീറ്ററുകൾ ഉപയോഗിച്ച് xkh ന് കഴിയും, ഇത് ഉപഭോക്താവിന്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് ഉപഭോക്താവിന്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച്, ഉൽപ്പന്നത്തിന്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച്, ഉൽപ്പന്നത്തിന്റെ നിർദ്ദിഷ്ട ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച്, ഉൽപ്പന്നം തികച്ചും പൊരുത്തപ്പെടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. എസ്ഐസി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ക്രമിക് ചക്കുകൾ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ്, എപ്പിറ്റിയൽ വളർച്ച, മറ്റ് കീ പ്രോസസ്സുകൾ എന്നിവയിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഘടകങ്ങളായി മാറിയിരിക്കുന്നു. പ്രത്യേകിച്ചും മൂന്നാം തലമുറ അർദ്ധവാർചന സാമഗ്രികളുടെ ഉൽപാദനത്തിൽ സിക്ക്, ഗാൻ തുടങ്ങിയ എസ്ഐസി, ഗാൻ ഉൽപാദിപ്പിക്കുന്നതിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ചക്കുകളുടെ ആവശ്യം വർദ്ധിക്കുന്നു. ഭാവിയിൽ, 5 ജി, ഇലക്ട്രിക് വാഹനങ്ങൾ, കൃത്രിമബുദ്ധി, മറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ എന്നിവയുടെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികസനത്തോടെ, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ചക്കുകളുടെ അപേക്ഷാ സാധ്യതകൾ വിശാലമാകും.

图片 3
图片 2
图片 1
图片 4

വിശദമായ ഡയഗ്രം

സിക് സെറാമിക് ചക്ക് 6
സിക് സെറാമിക് ചക്ക് 5
സിക് സെറാമിക് ചക്ക് 4

  • മുമ്പത്തെ:
  • അടുത്തത്:

  • നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഇവിടെ എഴുതി ഞങ്ങൾക്ക് അയയ്ക്കുക