സഫയർ വേഫറിനും ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോ നിർമ്മാണത്തിനുമുള്ള സഫയർ ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് ഫർണസ് കെവൈ കൈറോപൗലോസ് രീതി
പ്രവർത്തന തത്വം
KY രീതിയുടെ കാതലായ തത്വം ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള Al₂O₃ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ 2050°C-ൽ ഒരു ടങ്സ്റ്റൺ/മോളിബ്ഡിനം ക്രൂസിബിളിൽ ഉരുക്കുന്നതാണ്. ഒരു വിത്ത് പരൽ ഉരുക്കിലേക്ക് താഴ്ത്തുകയും, തുടർന്ന് നിയന്ത്രിത പിൻവലിക്കൽ (0.5–10 mm/h), ഭ്രമണം (0.5–20 rpm) എന്നിവയിലൂടെ α-Al₂O₃ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റലുകളുടെ ദിശാസൂചന വളർച്ച കൈവരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. പ്രധാന സവിശേഷതകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
• വലിയ അളവിലുള്ള പരലുകൾ (പരമാവധി Φ400 മിമി × 500 മിമി)
• ലോ-സ്ട്രെസ് ഒപ്റ്റിക്കൽ-ഗ്രേഡ് സഫയർ (വേവ്ഫ്രണ്ട് ഡിസ്റ്റോർഷൻ <λ/8 @ 633 nm)
• ഡോപ്പ് ചെയ്ത പരലുകൾ (ഉദാ. നക്ഷത്ര നീലക്കല്ലിന് Ti³⁰ ഡോപ്പിംഗ്)
കോർ സിസ്റ്റം ഘടകങ്ങൾ
1. ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ഉരുകൽ സംവിധാനം
• ടങ്സ്റ്റൺ-മോളിബ്ഡിനം കോമ്പോസിറ്റ് ക്രൂസിബിൾ (പരമാവധി താപനില 2300°C)
• മൾട്ടി-സോൺ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റർ (±0.5°C താപനില നിയന്ത്രണം)
2. ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് സിസ്റ്റം
• സെർവോ-ഡ്രൈവൺ പുള്ളിംഗ് മെക്കാനിസം (± 0.01 മില്ലീമീറ്റർ കൃത്യത)
• മാഗ്നറ്റിക് ഫ്ലൂയിഡ് റോട്ടറി സീൽ (0–30 rpm സ്റ്റെപ്ലെസ് സ്പീഡ് റെഗുലേഷൻ)
3. താപ ഫീൽഡ് നിയന്ത്രണം
• 5-സോൺ സ്വതന്ത്ര താപനില നിയന്ത്രണം (1800–2200°C)
• ക്രമീകരിക്കാവുന്ന ഹീറ്റ് ഷീൽഡ് (±2°C/cm ഗ്രേഡിയന്റ്)
• വാക്വം & അന്തരീക്ഷ സംവിധാനം
• 10⁻⁴ Pa ഉയർന്ന വാക്വം
• Ar/N₂/H₂ മിക്സഡ് ഗ്യാസ് നിയന്ത്രണം
4. ഇന്റലിജന്റ് മോണിറ്ററിംഗ്
• സിസിഡി റിയൽ-ടൈം ക്രിസ്റ്റൽ വ്യാസം നിരീക്ഷണം
• മൾട്ടി-സ്പെക്ട്രൽ മെൽറ്റ് ലെവൽ ഡിറ്റക്ഷൻ
KY vs. CZ രീതി താരതമ്യം
പാരാമീറ്റർ | KY രീതി | CZ രീതി |
പരമാവധി ക്രിസ്റ്റൽ വലുപ്പം | Φ400 മിമി | Φ200 മിമി |
വളർച്ചാ നിരക്ക് | 5–15 മി.മീ/മണിക്കൂർ | 20–50 മി.മീ/മണിക്കൂർ |
വൈകല്യ സാന്ദ്രത | <100/സെ.മീ² | 500–1000/സെ.മീ² |
ഊർജ്ജ ഉപഭോഗം | 80–120 കിലോവാട്ട്/കിലോഗ്രാം | 50–80 കിലോവാട്ട്/കിലോ |
സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ | ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ/വലിയ വേഫറുകൾ | LED സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ/ആഭരണങ്ങൾ |
പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
1. ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് വിൻഡോകൾ
• മിലിട്ടറി IR ഡോമുകൾ (ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ് >85%@3–5 μm)
• UV ലേസർ വിൻഡോകൾ (200 W/cm² പവർ ഡെൻസിറ്റിയെ ചെറുക്കാൻ കഴിയും)
2. സെമികണ്ടക്ടർ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
• GaN എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫറുകൾ (2–8 ഇഞ്ച്, TTV <10 μm)
• SOI സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ (ഉപരിതല പരുക്കൻത <0.2 nm)
3. കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്
• സ്മാർട്ട്ഫോൺ ക്യാമറ കവർ ഗ്ലാസ് (മോഹ്സ് കാഠിന്യം 9)
• സ്മാർട്ട് വാച്ച് ഡിസ്പ്ലേകൾ (10× സ്ക്രാച്ച് റെസിസ്റ്റൻസ് മെച്ചപ്പെടുത്തൽ)
4. പ്രത്യേക വസ്തുക്കൾ
• ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള IR ഒപ്റ്റിക്സ് (ആഗിരണം ഗുണകം <10⁻³ cm⁻¹)
• ന്യൂക്ലിയർ റിയാക്ടർ നിരീക്ഷണ ജാലകങ്ങൾ (റേഡിയേഷൻ ടോളറൻസ്: 10¹⁶ n/cm²)
കൈറോപൗലോസ് (കെവൈ) സഫയർ ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത് ഉപകരണത്തിന്റെ ഗുണങ്ങൾ
കൈറോപൗലോസ് (കെവൈ) രീതി അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള നീലക്കല്ലിന്റെ പരൽ വളർച്ചാ ഉപകരണങ്ങൾ സമാനതകളില്ലാത്ത സാങ്കേതിക നേട്ടങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, വ്യാവസായിക തലത്തിലുള്ള ഉൽപാദനത്തിനുള്ള ഒരു നൂതന പരിഹാരമായി ഇതിനെ സ്ഥാപിക്കുന്നു. പ്രധാന നേട്ടങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. വലിയ വ്യാസമുള്ള ശേഷി: 12 ഇഞ്ച് (300 മില്ലിമീറ്റർ) വരെ വ്യാസമുള്ള നീലക്കല്ലിന്റെ പരലുകൾ വളർത്താനുള്ള കഴിവ്, GaN എപ്പിറ്റാക്സി, മിലിട്ടറി-ഗ്രേഡ് വിൻഡോകൾ പോലുള്ള നൂതന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി വേഫറുകളുടെയും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെയും ഉയർന്ന വിളവ് ഉൽപ്പാദനം സാധ്യമാക്കുന്നു.
2. അൾട്രാ-ലോ ഡിഫെക്റ്റ് ഡെൻസിറ്റി: ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത തെർമൽ ഫീൽഡ് ഡിസൈനിലൂടെയും കൃത്യമായ താപനില ഗ്രേഡിയന്റ് നിയന്ത്രണത്തിലൂടെയും ഡിസ്ലോക്കേഷൻ ഡെൻസിറ്റി <100/cm² കൈവരിക്കുന്നു, ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് മികച്ച ക്രിസ്റ്റൽ ഇന്റഗ്രിറ്റി ഉറപ്പാക്കുന്നു.
3. ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രകടനം: ദൃശ്യമാകുന്ന ഇൻഫ്രാറെഡ് സ്പെക്ട്രയിൽ (400–5500 nm) 85% ട്രാൻസ്മിഷൻ നൽകുന്നു, ഇത് UV ലേസർ വിൻഡോകൾക്കും ഇൻഫ്രാറെഡ് ഒപ്റ്റിക്സിനും നിർണായകമാണ്.
4. അഡ്വാൻസ്ഡ് ഓട്ടോമേഷൻ: സെർവോ-ഡ്രൈവൺ പുള്ളിംഗ് മെക്കാനിസങ്ങൾ (±0.01 mm കൃത്യത) കൂടാതെ മാഗ്നറ്റിക് ഫ്ലൂയിഡ് റോട്ടറി സീലുകളും (0–30 rpm സ്റ്റെപ്ലെസ് കൺട്രോൾ) സവിശേഷതകൾ, ഇത് മനുഷ്യന്റെ ഇടപെടൽ കുറയ്ക്കുകയും സ്ഥിരത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
5. ഫ്ലെക്സിബിൾ ഡോപ്പിംഗ് ഓപ്ഷനുകൾ: Cr³⁰ (റൂബിക്ക്) Ti³⁰ (സ്റ്റാർ സഫയറിന്) പോലുള്ള ഡോപന്റുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ഇത് ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്സിലും ആഭരണങ്ങളിലും പ്രത്യേക വിപണികളെ സഹായിക്കുന്നു.
6. ഊർജ്ജ കാര്യക്ഷമത: ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത താപ ഇൻസുലേഷൻ (ടങ്സ്റ്റൺ-മോളിബ്ഡിനം ക്രൂസിബിൾ) ഊർജ്ജ ഉപഭോഗം 80–120 kWh/kg ആയി കുറയ്ക്കുന്നു, ഇതര വളർച്ചാ രീതികളുമായി മത്സരിക്കുന്നു.
7. സ്കെയിലബിൾ പ്രൊഡക്ഷൻ: 200-ലധികം ആഗോള ഇൻസ്റ്റാളേഷനുകൾ സാധൂകരിച്ച, ദ്രുത സൈക്കിൾ സമയങ്ങളിൽ (30–40 കിലോഗ്രാം ക്രിസ്റ്റലുകൾക്ക് 8–10 ദിവസം) 5,000+ വേഫറുകളുടെ പ്രതിമാസ ഔട്ട്പുട്ട് കൈവരിക്കുന്നു.
(
8. മിലിട്ടറി-ഗ്രേഡ് ഈട്: റേഡിയേഷൻ-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ഡിസൈനുകളും താപ-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള വസ്തുക്കളും (10¹⁶ n/cm² വരെ താങ്ങാൻ കഴിയും) ഉൾപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്, ഇത് ബഹിരാകാശ, ആണവ പ്രയോഗങ്ങൾക്ക് അത്യാവശ്യമാണ്.
ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സഫയർ പരലുകൾ ഉൽപാദിപ്പിക്കുന്നതിനും, 5G ആശയവിനിമയങ്ങൾ, ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗ്, പ്രതിരോധ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ എന്നിവയിൽ പുരോഗതി കൈവരിക്കുന്നതിനുമുള്ള സുവർണ്ണ നിലവാരമായി KY രീതിയെ ഈ നൂതനാശയങ്ങൾ ഉറപ്പിക്കുന്നു.
എക്സ്.കെ.എച്ച്. സർവീസസ്
സഫയർ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ സംവിധാനങ്ങൾക്കായി സമഗ്രമായ ടേൺകീ സൊല്യൂഷനുകൾ XKH നൽകുന്നു, ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ, പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ, തടസ്സമില്ലാത്ത പ്രവർത്തന സംയോജനം ഉറപ്പാക്കാൻ സ്റ്റാഫ് പരിശീലനം എന്നിവ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. വൈവിധ്യമാർന്ന വ്യാവസായിക ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസൃതമായി ഞങ്ങൾ പ്രീ-വാലിഡേറ്റഡ് ഗ്രോത്ത് പാചകക്കുറിപ്പുകൾ (50+) നൽകുന്നു, ഇത് ക്ലയന്റുകൾക്ക് ഗവേഷണ-വികസന സമയം ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു. പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളെയും റേഡിയേഷൻ-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള വസ്തുക്കളെയും പിന്തുണയ്ക്കുന്ന കാവിറ്റി കസ്റ്റമൈസേഷൻ (Φ200–400 mm), അഡ്വാൻസ്ഡ് ഡോപ്പിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ (Cr/Ti/Ni) എന്നിവ കസ്റ്റം ഡെവലപ്മെന്റ് സേവനങ്ങൾ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
മൂല്യവർദ്ധിത സേവനങ്ങളിൽ സ്ലൈസിംഗ്, ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പോളിഷിംഗ് തുടങ്ങിയ വളർച്ചയ്ക്ക് ശേഷമുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് ഉൾപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ വേഫറുകൾ, ട്യൂബുകൾ, ജെംസ്റ്റോൺ ബ്ലാങ്കുകൾ തുടങ്ങിയ സഫയർ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ പൂർണ്ണ ശ്രേണിയും ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഈ ഓഫറുകൾ ഉപഭോക്തൃ ഇലക്ട്രോണിക്സ് മുതൽ എയ്റോസ്പേസ് വരെയുള്ള മേഖലകളെ സഹായിക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക പിന്തുണ 24 മാസത്തെ വാറണ്ടിയും തത്സമയ വിദൂര ഡയഗ്നോസ്റ്റിക്സും ഉറപ്പ് നൽകുന്നു, ഇത് കുറഞ്ഞ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയവും സുസ്ഥിരമായ ഉൽപാദന കാര്യക്ഷമതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.


