SiC സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്ഉപകരണം സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഉപകരണത്തെ അസംസ്കൃത വസ്തുവായി സൂചിപ്പിക്കുന്നു.
വ്യത്യസ്ത പ്രതിരോധ ഗുണങ്ങൾ അനുസരിച്ച്, ഇത് ചാലക സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പവർ ഉപകരണങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നുസെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്RF ഉപകരണങ്ങൾ.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ പ്രധാന ഉപകരണ രൂപങ്ങളും ആപ്ലിക്കേഷനുകളും
SiC യുടെ പ്രധാന നേട്ടങ്ങൾSi മെറ്റീരിയലുകൾഇവയാണ്:
SiC-ന് Si-യുടെ 3 മടങ്ങ് ബാൻഡ് ഗ്യാപ്പ് ഉണ്ട്, ഇത് ചോർച്ച കുറയ്ക്കുകയും താപനില സഹിഷ്ണുത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യും.
Si യുടെ 10 മടങ്ങ് ബ്രേക്ക്‌ഡൗൺ ഫീൽഡ് സ്ട്രെങ്ത് SiC ന് ഉണ്ട്, നിലവിലെ സാന്ദ്രത, ഓപ്പറേറ്റിംഗ് ഫ്രീക്വൻസി എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്താനും വോൾട്ടേജ് ശേഷിയെ ചെറുക്കാനും ഓൺ-ഓഫ് നഷ്ടം കുറയ്ക്കാനും കഴിയും, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് കൂടുതൽ അനുയോജ്യമാണ്.
Si യുടെ ഇലക്ട്രോൺ സാച്ചുറേഷൻ ഡ്രിഫ്റ്റ് വേഗത Si യുടെ ഇരട്ടിയുണ്ട്, അതിനാൽ ഇതിന് ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
Si യുടെ 3 മടങ്ങ് താപ ചാലകത SiC ന് ഉണ്ട്, മികച്ച താപ വിസർജ്ജന പ്രകടനം, ഉയർന്ന പവർ സാന്ദ്രതയെ പിന്തുണയ്ക്കാനും താപ വിസർജ്ജന ആവശ്യകതകൾ കുറയ്ക്കാനും കഴിയും, ഇത് ഉപകരണത്തെ ഭാരം കുറഞ്ഞതാക്കുന്നു.
ചാലകമായ അടിവസ്ത്രം
ചാലക അടിവസ്ത്രം: ക്രിസ്റ്റലിലെ വിവിധ മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, പ്രത്യേകിച്ച് ആഴം കുറഞ്ഞ അളവിലുള്ള മാലിന്യങ്ങൾ, ക്രിസ്റ്റലിൻ്റെ ആന്തരിക ഉയർന്ന പ്രതിരോധശേഷി കൈവരിക്കാൻ.
ചാലകമായസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രംSiC വേഫർ
കണ്ടക്റ്റീവ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് പവർ ഉപകരണം ചാലക അടിവസ്ത്രത്തിലെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെ വളർച്ചയിലൂടെയാണ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഷീറ്റ് കൂടുതൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഷോട്ട്കി ഡയോഡുകൾ, മോസ്ഫെറ്റ്, ഐജിബിടി മുതലായവയുടെ ഉത്പാദനം ഉൾപ്പെടെ. ജനറേഷൻ, റെയിൽ ഗതാഗതം, ഡാറ്റാ സെൻ്റർ, ചാർജിംഗ്, മറ്റ് അടിസ്ഥാന സൗകര്യങ്ങൾ. പ്രകടന നേട്ടങ്ങൾ ഇപ്രകാരമാണ്:
ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിൻ്റെ സവിശേഷതകൾ മെച്ചപ്പെടുത്തി. സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെ തകർച്ച ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡ് ശക്തി സിലിക്കണിൻ്റെ 10 മടങ്ങ് കൂടുതലാണ്, ഇത് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉയർന്ന മർദ്ദം പ്രതിരോധം തുല്യമായ സിലിക്കൺ ഉപകരണങ്ങളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്.
മെച്ചപ്പെട്ട ഉയർന്ന താപനില സവിശേഷതകൾ. സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് സിലിക്കണിനേക്കാൾ ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുണ്ട്, ഇത് ഉപകരണത്തെ താപ വിസർജ്ജനം എളുപ്പമാക്കുകയും പ്രവർത്തന താപനില പരിധി ഉയർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ് പ്രതിരോധം ഊർജ്ജ സാന്ദ്രതയിൽ ഗണ്യമായ വർദ്ധനവിന് ഇടയാക്കും, അതേസമയം തണുപ്പിക്കൽ സംവിധാനത്തിലെ ആവശ്യകതകൾ കുറയ്ക്കുന്നു, അതിനാൽ ടെർമിനൽ കൂടുതൽ ഭാരം കുറഞ്ഞതും ചെറുതും ആയിരിക്കും.
കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജ ഉപഭോഗം. ① സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപകരണത്തിന് വളരെ കുറഞ്ഞ പ്രതിരോധശേഷിയും കുറഞ്ഞ നഷ്ടവും ഉണ്ട്; (2) സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ലീക്കേജ് കറൻ്റ് സിലിക്കൺ ഉപകരണങ്ങളേക്കാൾ ഗണ്യമായി കുറയുന്നു, അതുവഴി വൈദ്യുതി നഷ്ടം കുറയുന്നു; ③ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ടേൺ-ഓഫ് പ്രക്രിയയിൽ നിലവിലെ ടെയ്ലിംഗ് പ്രതിഭാസമില്ല, കൂടാതെ സ്വിച്ചിംഗ് നഷ്ടം കുറവാണ്, ഇത് പ്രായോഗിക ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെ സ്വിച്ചിംഗ് ആവൃത്തിയെ വളരെയധികം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്
സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്: നൈട്രജൻ ഡോപ്പിംഗ് കോൺസൺട്രേഷൻ, വളർച്ചാ നിരക്ക്, ക്രിസ്റ്റൽ റെസിസ്റ്റിവിറ്റി എന്നിവ തമ്മിലുള്ള അനുബന്ധ ബന്ധം കാലിബ്രേറ്റ് ചെയ്തുകൊണ്ട് ചാലക ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ പ്രതിരോധശേഷി കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാൻ N ഡോപ്പിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയൽ
പ്രധാനമായും 5G ആശയവിനിമയങ്ങളിലും വാഹന ആശയവിനിമയങ്ങളിലും ഉപയോഗിക്കുന്ന HEMT, മറ്റ് ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് RF ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് എപ്പിടാക്‌സിയൽ ഷീറ്റ് തയ്യാറാക്കുന്നതിനായി സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് എപ്പിടാക്‌സിയൽ പാളി വളർത്തിയാണ് സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൺ അധിഷ്‌ഠിത RF ഉപകരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നത്. പ്രതിരോധ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ, ഡാറ്റ ട്രാൻസ്മിഷൻ, എയ്റോസ്പേസ്.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെയും ഗാലിയം നൈട്രൈഡിൻ്റെയും പൂരിത ഇലക്ട്രോൺ ഡ്രിഫ്റ്റ് നിരക്ക് യഥാക്രമം സിലിക്കണിൻ്റെ 2.0, 2.5 ഇരട്ടിയാണ്, അതിനാൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൻ്റെയും ഗാലിയം നൈട്രൈഡിൻ്റെയും പ്രവർത്തന ആവൃത്തി പരമ്പരാഗത സിലിക്കൺ ഉപകരണങ്ങളേക്കാൾ കൂടുതലാണ്. എന്നിരുന്നാലും, ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് മെറ്റീരിയലിന് മോശം താപ പ്രതിരോധത്തിൻ്റെ പോരായ്മയുണ്ട്, അതേസമയം സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് നല്ല താപ പ്രതിരോധവും താപ ചാലകതയും ഉണ്ട്, ഇത് ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് ഉപകരണങ്ങളുടെ മോശം താപ പ്രതിരോധം നികത്താൻ കഴിയും, അതിനാൽ വ്യവസായം സെമി-ഇൻസുലേറ്റഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിനെ അടിവസ്ത്രമായി എടുക്കുന്നു. , കൂടാതെ ഗാൻ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി RF ഉപകരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനായി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രത്തിൽ വളർത്തുന്നു.
ലംഘനമുണ്ടെങ്കിൽ, ഇല്ലാതാക്കുക
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂലൈ-16-2024