വേഫറുകളിൽ TTV, BOW, WARP, TIR എന്നിവ എന്താണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത്?

സെമികണ്ടക്ടർ സിലിക്കൺ വേഫറുകളോ മറ്റ് വസ്തുക്കളാൽ നിർമ്മിച്ച സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളോ പരിശോധിക്കുമ്പോൾ, TTV, BOW, WARP, ഒരുപക്ഷേ TIR, STIR, LTV തുടങ്ങിയ സാങ്കേതിക സൂചകങ്ങൾ നമുക്ക് പലപ്പോഴും നേരിടേണ്ടിവരുന്നു. ഇവ ഏതൊക്കെ പാരാമീറ്ററുകളെയാണ് പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നത്?

 

ടിടിവി — ആകെ കനം വ്യതിയാനം
വില്ലു - വില്ല്
വാർപ്പ് - വാർപ്പ്
TIR — ആകെ സൂചിപ്പിച്ച വായന
STIR — സൈറ്റ് ആകെ സൂചിപ്പിച്ച വായന
എൽ‌ടി‌വി — ലോക്കൽ കനം വ്യതിയാനം

 

1. ആകെ കനം വ്യതിയാനം - ടിടിവി

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7വേഫർ ക്ലാമ്പ് ചെയ്ത് അടുത്ത സമ്പർക്കത്തിലായിരിക്കുമ്പോൾ, റഫറൻസ് തലവുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ വേഫറിന്റെ പരമാവധി, കുറഞ്ഞ കനം തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം. ഇത് സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്ററുകളിൽ (μm) പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, പലപ്പോഴും ഇത് ഇങ്ങനെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു: ≤15 μm.

 

2. വില്ല് - വില്ല്

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

വേഫർ ഒരു സ്വതന്ത്ര (അൺക്ലാമ്പ്ഡ്) അവസ്ഥയിലായിരിക്കുമ്പോൾ, വേഫർ പ്രതലത്തിന്റെ മധ്യബിന്ദുവിൽ നിന്ന് റഫറൻസ് തലത്തിലേക്കുള്ള ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ദൂരവും പരമാവധി ദൂരവും തമ്മിലുള്ള വ്യതിയാനം. ഇതിൽ കോൺകേവ് (നെഗറ്റീവ് വില്ല്), കോൺവെക്സ് (പോസിറ്റീവ് വില്ല്) കേസുകൾ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഇത് സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്ററുകളിൽ (μm) പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, പലപ്പോഴും ഇത് ഇങ്ങനെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു: ≤40 μm.

 

3. വാർപ്പ് - വാർപ്പ്

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

വേഫർ സ്വതന്ത്ര (അൺക്ലാമ്പ്ഡ്) അവസ്ഥയിലായിരിക്കുമ്പോൾ, വേഫർ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് റഫറൻസ് തലത്തിലേക്കുള്ള (സാധാരണയായി വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗം) ഏറ്റവും കുറഞ്ഞതും കൂടിയതുമായ ദൂരം തമ്മിലുള്ള വ്യതിയാനം. ഇതിൽ കോൺകേവ് (നെഗറ്റീവ് വാർപ്പ്), കോൺവെക്സ് (പോസിറ്റീവ് വാർപ്പ്) കേസുകൾ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഇത് സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്ററുകളിൽ (μm) പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, പലപ്പോഴും ഇത് ഇങ്ങനെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു: ≤30 μm.

 

4. ആകെ സൂചിപ്പിച്ച വായന - TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4

 

വേഫർ ക്ലാമ്പ് ചെയ്ത് അടുത്ത സമ്പർക്കത്തിലായിരിക്കുമ്പോൾ, ഗുണനിലവാര മേഖലയിലോ വേഫർ പ്രതലത്തിലെ ഒരു നിർദ്ദിഷ്ട പ്രാദേശിക മേഖലയിലോ ഉള്ള എല്ലാ പോയിന്റുകളുടെയും ഇന്റർസെപ്റ്റുകളുടെ ആകെത്തുക കുറയ്ക്കുന്ന ഒരു റഫറൻസ് തലം ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, വേഫർ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് ഈ റഫറൻസ് തലത്തിലേക്കുള്ള പരമാവധി, കുറഞ്ഞ ദൂരങ്ങൾക്കിടയിലുള്ള വ്യതിയാനമാണ് TIR.

 

TTV, BOW, WARP, TIR തുടങ്ങിയ സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയൽ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളിൽ ആഴത്തിലുള്ള വൈദഗ്ധ്യത്തിൽ സ്ഥാപിതമായ XKH, കർശനമായ വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾക്കനുസൃതമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത പ്രിസിഷൻ കസ്റ്റം വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് സേവനങ്ങൾ നൽകുന്നു. ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, പവർ ഉപകരണങ്ങൾ, MEMS എന്നിവയിലെ നൂതന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി അസാധാരണമായ പരന്നത, കട്ടിയുള്ള സ്ഥിരത, ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം എന്നിവ ഉറപ്പാക്കുന്ന സഫയർ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, SOI, ക്വാർട്സ് എന്നിവയുൾപ്പെടെ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള വസ്തുക്കളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണി ഞങ്ങൾ വിതരണം ചെയ്യുകയും പിന്തുണയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. നിങ്ങളുടെ ഏറ്റവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന ഡിസൈൻ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്ന വിശ്വസനീയമായ മെറ്റീരിയൽ സൊല്യൂഷനുകളും പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗും നൽകാൻ ഞങ്ങളെ വിശ്വസിക്കൂ.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


പോസ്റ്റ് സമയം: ഓഗസ്റ്റ്-29-2025