സെമികണ്ടക്ടർ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലും ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് വ്യവസായത്തിലും പോലും, വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിന്റെയോ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഷീറ്റിന്റെയോ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരത്തിനായുള്ള ആവശ്യകതകളും വളരെ കർശനമാണ്. അപ്പോൾ, വേഫറുകളുടെ ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്?നീലക്കല്ല് വേഫർഉദാഹരണത്തിന്, വേഫറുകളുടെ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്താൻ ഏതൊക്കെ സൂചകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാം?
വേഫറുകളുടെ മൂല്യനിർണ്ണയ സൂചകങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?
മൂന്ന് സൂചകങ്ങൾ
നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകൾക്ക്, അവയുടെ മൂല്യനിർണ്ണയ സൂചകങ്ങൾ മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം (TTV), ബെൻഡ് (ബോ), വാർപ്പ് (വാർപ്പ്) എന്നിവയാണ്. ഈ മൂന്ന് പാരാമീറ്ററുകളും ഒരുമിച്ച് സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ പരന്നതയെയും കനത്തിന്റെ ഏകീകൃതതയെയും പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ വേഫറിന്റെ തരംഗത്തിന്റെ അളവ് അളക്കാനും കഴിയും. വേഫർ പ്രതലത്തിന്റെ ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്തുന്നതിന് കോറഗേഷനെ പരന്നതയുമായി സംയോജിപ്പിക്കാം.
എന്താണ് ടിടിവി, ബോ, വാർപ്പ്?
ടിടിവി (മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം)
ഒരു വേഫറിന്റെ പരമാവധി കനം, കുറഞ്ഞ കനം എന്നിവ തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസമാണ് TTV. വേഫറിന്റെ കനം ഏകീകൃതത അളക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന സൂചികയാണ് ഈ പാരാമീറ്റർ. ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയയിൽ, വേഫറിന്റെ കനം മുഴുവൻ ഉപരിതലത്തിലും വളരെ ഏകീകൃതമായിരിക്കണം. സാധാരണയായി വേഫറിലെ അഞ്ച് സ്ഥലങ്ങളിൽ അളവുകൾ നടത്തുകയും വ്യത്യാസം കണക്കാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ആത്യന്തികമായി, വേഫറിന്റെ ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന അടിസ്ഥാനമാണ് ഈ മൂല്യം.
വില്ല്
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ വില്ല് എന്നത് ഒരു വേഫറിന്റെ വളവിനെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഒരു അൺക്ലാമ്പ് ചെയ്ത വേഫറിന്റെ മധ്യബിന്ദുവിനും റഫറൻസ് തലത്തിനും ഇടയിലുള്ള ദൂരം സ്വതന്ത്രമാക്കുന്നു. ഒരു വസ്തുവിന്റെ വളഞ്ഞ ആകൃതി പോലെ, വളയുമ്പോൾ അതിന്റെ ആകൃതിയുടെ വിവരണത്തിൽ നിന്നാണ് ഈ വാക്ക് വന്നതെന്ന് കരുതപ്പെടുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ മധ്യത്തിനും അരികിനും ഇടയിലുള്ള വ്യതിയാനം അളക്കുന്നതിലൂടെ വില്ലിന്റെ മൂല്യം നിർവചിക്കപ്പെടുന്നു. ഈ മൂല്യം സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്ററുകളിൽ (µm) പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു.
വാർപ്പ്
സ്വതന്ത്രമായി അൺക്ലാമ്പ് ചെയ്ത വേഫറിന്റെ മധ്യഭാഗത്തിനും റഫറൻസ് പ്ലെയിനിനും ഇടയിലുള്ള പരമാവധി ദൂരവും കുറഞ്ഞ ദൂരവും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം അളക്കുന്ന വേഫറുകളുടെ ഒരു ആഗോള സ്വത്താണ് വാർപ്പ്. സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് തലത്തിലേക്കുള്ള ദൂരത്തെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു.
ടിടിവി, ബോ, വാർപ്പ് എന്നിവ തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം എന്താണ്?
ടിടിവി കട്ടിയുള്ള മാറ്റങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു, വേഫറിന്റെ വളയലോ വികലതയോ അതിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നില്ല.
മധ്യബിന്ദുവിന്റെയും അരികിന്റെയും വളവ് കണക്കിലെടുത്ത്, മൊത്തത്തിലുള്ള വളവിലാണ് വില്ല് ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നത്.
മുഴുവൻ വേഫർ പ്രതലത്തിന്റെയും വളവും വളച്ചൊടിക്കലും ഉൾപ്പെടെ, വാർപ്പ് കൂടുതൽ സമഗ്രമാണ്.
ഈ മൂന്ന് പാരാമീറ്ററുകളും സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ആകൃതിയും ജ്യാമിതീയ ഗുണങ്ങളുമായി ബന്ധപ്പെട്ടതാണെങ്കിലും, അവ അളക്കുകയും വിവരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നത് വ്യത്യസ്ത രീതിയിലാണ്, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിലും വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിലും അവയുടെ സ്വാധീനവും വ്യത്യസ്തമാണ്.
മൂന്ന് പാരാമീറ്ററുകൾ ചെറുതാകുമ്പോൾ മികച്ചതും വലിയ പാരാമീറ്റർ കൂടുന്തോറും സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയയിൽ നെഗറ്റീവ് ആഘാതം വർദ്ധിക്കുന്നതുമാണ്. അതിനാൽ, ഒരു സെമികണ്ടക്ടർ പ്രാക്ടീഷണർ എന്ന നിലയിൽ, മുഴുവൻ പ്രോസസ്സ് പ്രക്രിയയ്ക്കും വേഫർ പ്രൊഫൈൽ പാരാമീറ്ററുകളുടെ പ്രാധാന്യം നാം മനസ്സിലാക്കണം, സെമികണ്ടക്ടർ പ്രക്രിയ നടത്തുക, വിശദാംശങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ ചെലുത്തണം.
(സെൻസറിംഗ്)
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ-24-2024