വേഫർ ഉപരിതല ഗുണനിലവാര വിലയിരുത്തലിൻ്റെ സൂചകങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലും ഫോട്ടോവോൾട്ടേയിക് വ്യവസായത്തിലും പോലും, വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൻ്റെ അല്ലെങ്കിൽ എപ്പിടാക്‌സിയൽ ഷീറ്റിൻ്റെ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരത്തിനുള്ള ആവശ്യകതകളും വളരെ കർശനമാണ്. അതിനാൽ, വേഫറുകളുടെ ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ എന്തൊക്കെയാണ്? എടുക്കുന്നുനീലക്കല്ല് വേഫർഉദാഹരണമായി, വേഫറുകളുടെ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്തുന്നതിന് എന്ത് സൂചകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാം?

വേഫറുകളുടെ മൂല്യനിർണ്ണയ സൂചകങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

മൂന്ന് സൂചകങ്ങൾ
സഫയർ വേഫറുകൾക്കായി, അതിൻ്റെ മൂല്യനിർണ്ണയ സൂചകങ്ങൾ മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം (ടിടിവി), ബെൻഡ് (ബോ), വാർപ്പ് (വാർപ്പ്) എന്നിവയാണ്. ഈ മൂന്ന് പരാമീറ്ററുകളും ഒരുമിച്ച് സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ പരന്നതും കനവും ഏകീകൃതമായി പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ വേഫറിൻ്റെ അലകളുടെ അളവ് അളക്കാനും കഴിയും. വേഫർ ഉപരിതലത്തിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്തുന്നതിന് കോറഗേഷൻ പരന്നതയുമായി സംയോജിപ്പിക്കാം.

hh5

എന്താണ് TTV, BOW, Warp?
TTV (മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം)

hh8

ഒരു വേഫറിൻ്റെ പരമാവധി കനം തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസമാണ് TTV. ഈ പരാമീറ്റർ വേഫർ കനം ഏകതാനത അളക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രധാന സൂചികയാണ്. ഒരു അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ, വേഫറിൻ്റെ കനം മുഴുവൻ ഉപരിതലത്തിലും വളരെ ഏകതാനമായിരിക്കണം. സാധാരണയായി വേഫറിൽ അഞ്ച് സ്ഥലങ്ങളിൽ അളവുകൾ നടത്തുകയും വ്യത്യാസം കണക്കാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ആത്യന്തികമായി, ഈ മൂല്യം വേഫറിൻ്റെ ഗുണനിലവാരം വിലയിരുത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന അടിസ്ഥാനമാണ്.

വില്ല്

hh7

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിലെ വില്ലു എന്നത് ഒരു വേഫറിൻ്റെ ബെൻഡിനെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഒരു അൺക്ലാമ്പ്ഡ് വേഫറിൻ്റെ മധ്യഭാഗവും റഫറൻസ് പ്ലെയിനും തമ്മിലുള്ള ദൂരം സ്വതന്ത്രമാക്കുന്നു. വില്ലിൻ്റെ വളഞ്ഞ ആകൃതി പോലെ വളയുമ്പോൾ ഒരു വസ്തുവിൻ്റെ ആകൃതിയുടെ വിവരണത്തിൽ നിന്നാണ് ഈ വാക്ക് വരുന്നത്. സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ മധ്യവും അരികും തമ്മിലുള്ള വ്യതിയാനം അളക്കുന്നതിലൂടെയാണ് വില്ലിൻ്റെ മൂല്യം നിർവചിക്കുന്നത്. ഈ മൂല്യം സാധാരണയായി മൈക്രോമീറ്ററിൽ (µm) പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു.

വാർപ്പ്

hh6

സ്വതന്ത്രമായി അൺക്ലാംപ് ചെയ്യാത്ത വേഫറിൻ്റെ മധ്യഭാഗവും റഫറൻസ് പ്ലെയിനും തമ്മിലുള്ള പരമാവധി, കുറഞ്ഞ ദൂരം തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം അളക്കുന്ന വേഫറുകളുടെ ആഗോള സ്വത്താണ് വാർപ്പ്. സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് വിമാനത്തിലേക്കുള്ള ദൂരം പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു.

ബി-ചിത്രം

TTV, Bow, Warp എന്നിവ തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം എന്താണ്?

TTV കട്ടിയിലെ മാറ്റങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു, കൂടാതെ വേഫറിൻ്റെ വളയുന്നതോ വളച്ചൊടിക്കുന്നതോ സംബന്ധിച്ച് ആശങ്കയില്ല.

ബൗ മൊത്തത്തിലുള്ള വളവിൽ ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു, പ്രധാനമായും മധ്യ പോയിൻ്റിൻ്റെയും അരികിൻ്റെയും വളവ് പരിഗണിക്കുന്നു.

മുഴുവൻ വേഫർ ഉപരിതലവും വളയുന്നതും വളച്ചൊടിക്കുന്നതും ഉൾപ്പെടെ വാർപ്പ് കൂടുതൽ സമഗ്രമാണ്.

ഈ മൂന്ന് പരാമീറ്ററുകളും സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ ആകൃതിയും ജ്യാമിതീയ ഗുണങ്ങളുമായി ബന്ധപ്പെട്ടതാണെങ്കിലും, അവ വ്യത്യസ്തമായി അളക്കുകയും വിവരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിലും വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിലും അവയുടെ സ്വാധീനവും വ്യത്യസ്തമാണ്.

മൂന്ന് പാരാമീറ്ററുകൾ ചെറുതാണെങ്കിൽ, മികച്ചതും വലുതുമായ പരാമീറ്റർ, അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയയിൽ നെഗറ്റീവ് സ്വാധീനം വർദ്ധിപ്പിക്കും. അതിനാൽ, ഒരു അർദ്ധചാലക പ്രാക്ടീഷണർ എന്ന നിലയിൽ, മുഴുവൻ പ്രക്രിയ പ്രക്രിയയ്ക്കും വേഫർ പ്രൊഫൈൽ പാരാമീറ്ററുകളുടെ പ്രാധാന്യം നാം മനസ്സിലാക്കണം, അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ നടത്തുക, വിശദാംശങ്ങളിൽ ശ്രദ്ധ ചെലുത്തണം.

(സെൻസറിംഗ്)


പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ-24-2024