മൈക്രോജെറ്റ് ലേസർ ടെക്നോളജി ഉപകരണങ്ങൾ വേഫർ കട്ടിംഗ് SiC മെറ്റീരിയൽ പ്രോസസ്സിംഗ്
പ്രവർത്തന തത്വം:
1. ലേസർ കപ്ലിംഗ്: പൾസ്ഡ് ലേസർ (UV/പച്ച/ഇൻഫ്രാറെഡ്) ദ്രാവക ജെറ്റിനുള്ളിൽ കേന്ദ്രീകരിച്ച് ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള ഊർജ്ജ ട്രാൻസ്മിഷൻ ചാനൽ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു.
2. ലിക്വിഡ് ഗൈഡൻസ്: ഹൈ-സ്പീഡ് ജെറ്റ് (ഫ്ലോ റേറ്റ് 50-200 മീ/സെ) സംസ്കരണ മേഖലയെ തണുപ്പിക്കുകയും താപ ശേഖരണവും മലിനീകരണവും ഒഴിവാക്കാൻ അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.
3. മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യൽ: ലേസർ ഊർജ്ജം ദ്രാവകത്തിൽ കാവിറ്റേഷൻ പ്രഭാവം ഉണ്ടാക്കുകയും മെറ്റീരിയലിന്റെ തണുത്ത സംസ്കരണം കൈവരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു (താപ ബാധിത മേഖല <1μm).
4. ഡൈനാമിക് നിയന്ത്രണം: വ്യത്യസ്ത വസ്തുക്കളുടെയും ഘടനകളുടെയും ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ലേസർ പാരാമീറ്ററുകളുടെ (പവർ, ഫ്രീക്വൻസി) തത്സമയ ക്രമീകരണവും ജെറ്റ് മർദ്ദവും.
പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകൾ:
1. ലേസർ പവർ: 10-500W (ക്രമീകരിക്കാവുന്നത്)
2. ജെറ്റ് വ്യാസം: 50-300μm
3. മെഷീനിംഗ് കൃത്യത: ±0.5μm (കട്ടിംഗ്), ആഴം മുതൽ വീതി വരെയുള്ള അനുപാതം 10:1 (ഡ്രില്ലിംഗ്)

സാങ്കേതിക നേട്ടങ്ങൾ:
(1) ഏതാണ്ട് പൂജ്യം ചൂട് കേടുപാടുകൾ
- ലിക്വിഡ് ജെറ്റ് കൂളിംഗ് താപ ബാധിത മേഖലയെ (HAZ) **<1μm** ആയി നിയന്ത്രിക്കുന്നു, പരമ്പരാഗത ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന മൈക്രോ-ക്രാക്കുകൾ ഒഴിവാക്കുന്നു (HAZ സാധാരണയായി >10μm ആണ്).
(2) അൾട്രാ-ഹൈ പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ്
- **±0.5μm** വരെ കട്ടിംഗ്/ഡ്രില്ലിംഗ് കൃത്യത, അരികുകളുടെ പരുക്കൻത Ra<0.2μm, തുടർന്നുള്ള മിനുക്കുപണികളുടെ ആവശ്യകത കുറയ്ക്കുന്നു.
- സങ്കീർണ്ണമായ 3D ഘടന പ്രോസസ്സിംഗിനെ പിന്തുണയ്ക്കുക (കോണാകൃതിയിലുള്ള ദ്വാരങ്ങൾ, ആകൃതിയിലുള്ള സ്ലോട്ടുകൾ പോലുള്ളവ).
(3) വിശാലമായ മെറ്റീരിയൽ അനുയോജ്യത
- കടുപ്പമുള്ളതും പൊട്ടുന്നതുമായ വസ്തുക്കൾ: SiC, നീലക്കല്ല്, ഗ്ലാസ്, സെറാമിക്സ് (പരമ്പരാഗത രീതികൾ എളുപ്പത്തിൽ തകർക്കാൻ കഴിയും).
- താപ സംവേദനക്ഷമതയുള്ള വസ്തുക്കൾ: പോളിമറുകൾ, ബയോളജിക്കൽ ടിഷ്യൂകൾ (താപ ഡീനാറ്ററേഷന് സാധ്യതയില്ല).
(4) പരിസ്ഥിതി സംരക്ഷണവും കാര്യക്ഷമതയും
- പൊടി മലിനീകരണമില്ല, ദ്രാവകം പുനരുപയോഗം ചെയ്യാനും ഫിൽട്ടർ ചെയ്യാനും കഴിയും.
- പ്രോസസ്സിംഗ് വേഗതയിൽ 30%-50% വർദ്ധനവ് (മെഷീനിംഗുമായി താരതമ്യം ചെയ്യുമ്പോൾ).
(5) ബുദ്ധിപരമായ നിയന്ത്രണം
- ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് വിഷ്വൽ പൊസിഷനിംഗും AI പാരാമീറ്റർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും, അഡാപ്റ്റീവ് മെറ്റീരിയൽ കനവും വൈകല്യങ്ങളും.
സാങ്കേതിക സവിശേഷതകളും:
കൗണ്ടർടോപ്പ് വോളിയം | 300*300*150 | 400*400*200 |
രേഖീയ അക്ഷം XY | ലീനിയർ മോട്ടോർ. ലീനിയർ മോട്ടോർ | ലീനിയർ മോട്ടോർ. ലീനിയർ മോട്ടോർ |
ലീനിയർ അക്ഷം Z | 150 മീറ്റർ | 200 മീറ്റർ |
സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത μm | +/-5 | +/-5 |
ആവർത്തിച്ചുള്ള സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത μm | +/-2 | +/-2 |
ആക്സിലറേഷൻ ജി | 1 | 0.29 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
സംഖ്യാ നിയന്ത്രണം | 3 അക്ഷം /3+1 അക്ഷം /3+2 അക്ഷം | 3 അക്ഷം /3+1 അക്ഷം /3+2 അക്ഷം |
സംഖ്യാ നിയന്ത്രണ തരം | ഡിപിഎസ്എസ് എൻഡി:യാഗ് | ഡിപിഎസ്എസ് എൻഡി:യാഗ് |
തരംഗദൈർഘ്യം nm | 532/1064 | 532/1064 |
റേറ്റുചെയ്ത പവർ W | 50/100/200 | 50/100/200 |
വാട്ടർ ജെറ്റ് | 40-100 | 40-100 |
നോസൽ പ്രഷർ ബാർ | 50-100 | 50-600 |
അളവുകൾ (മെഷീൻ ഉപകരണം) (വീതി * നീളം * ഉയരം) മില്ലീമീറ്റർ | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
വലിപ്പം (കൺട്രോൾ കാബിനറ്റ്) (പ * എൽ * എച്ച്) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
ഭാരം (ഉപകരണങ്ങൾ) ടി | 2.5 प्रकाली2.5 | 3 |
ഭാരം (നിയന്ത്രണ കാബിനറ്റ്) കെ.ജി. | 800 മീറ്റർ | 800 മീറ്റർ |
പ്രോസസ്സിംഗ് ശേഷി | ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra≤1.6um തുറക്കുന്ന വേഗത ≥1.25mm/s ചുറ്റളവ് മുറിക്കൽ ≥6mm/s ലീനിയർ കട്ടിംഗ് വേഗത ≥50 മിമി/സെ | ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra≤1.2um തുറക്കുന്ന വേഗത ≥1.25mm/s ചുറ്റളവ് മുറിക്കൽ ≥6mm/s ലീനിയർ കട്ടിംഗ് വേഗത ≥50 മിമി/സെ |
ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് ക്രിസ്റ്റൽ, അൾട്രാ-വൈഡ് ബാൻഡ് ഗ്യാപ് സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയലുകൾ (ഡയമണ്ട്/ഗാലിയം ഓക്സൈഡ്), എയ്റോസ്പേസ് സ്പെഷ്യൽ മെറ്റീരിയലുകൾ, എൽടിസിസി കാർബൺ സെറാമിക് സബ്സ്ട്രേറ്റ്, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്, സിന്റില്ലേറ്റർ ക്രിസ്റ്റൽ, മറ്റ് മെറ്റീരിയൽ പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവയ്ക്കായി. കുറിപ്പ്: മെറ്റീരിയൽ സവിശേഷതകളെ ആശ്രയിച്ച് പ്രോസസ്സിംഗ് ശേഷി വ്യത്യാസപ്പെടുന്നു.
|
പ്രോസസ്സിംഗ് കേസ്:

XKH ന്റെ സേവനങ്ങൾ:
മൈക്രോജെറ്റ് ലേസർ ടെക്നോളജി ഉപകരണങ്ങൾക്കായി XKH പൂർണ്ണ ലൈഫ് സൈക്കിൾ സേവന പിന്തുണയുടെ പൂർണ്ണ ശ്രേണി നൽകുന്നു, ആദ്യകാല പ്രോസസ് ഡെവലപ്മെന്റ്, ഉപകരണ സെലക്ഷൻ കൺസൾട്ടേഷൻ മുതൽ മിഡ്-ടേം കസ്റ്റമൈസ്ഡ് സിസ്റ്റം ഇന്റഗ്രേഷൻ (ലേസർ സോഴ്സ്, ജെറ്റ് സിസ്റ്റം, ഓട്ടോമേഷൻ മൊഡ്യൂൾ എന്നിവയുടെ പ്രത്യേക പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ ഉൾപ്പെടെ), പിന്നീടുള്ള പ്രവർത്തന, പരിപാലന പരിശീലനവും തുടർച്ചയായ പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും വരെ, മുഴുവൻ പ്രക്രിയയും പ്രൊഫഷണൽ ടെക്നിക്കൽ ടീം പിന്തുണയോടെ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു; 20 വർഷത്തെ പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ് അനുഭവത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കി, സെമികണ്ടക്ടർ, മെഡിക്കൽ തുടങ്ങിയ വ്യത്യസ്ത വ്യവസായങ്ങൾക്കായി ഉപകരണ പരിശോധന, മാസ് പ്രൊഡക്ഷൻ ആമുഖം, വിൽപ്പനാനന്തര ദ്രുത പ്രതികരണം (24 മണിക്കൂർ സാങ്കേതിക പിന്തുണ + കീ സ്പെയർ പാർട്സ് റിസർവ്) എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള ഒറ്റത്തവണ പരിഹാരങ്ങൾ ഞങ്ങൾക്ക് നൽകാൻ കഴിയും, കൂടാതെ 12 മാസത്തെ വാറണ്ടിയും ആജീവനാന്ത പരിപാലനവും അപ്ഗ്രേഡ് സേവനവും വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഉപഭോക്തൃ ഉപകരണങ്ങൾ എല്ലായ്പ്പോഴും വ്യവസായ-നേതൃത്വമുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രകടനവും സ്ഥിരതയും നിലനിർത്തുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക.
വിശദമായ ഡയഗ്രം


