5G/6G ആശയവിനിമയങ്ങൾക്കായി LiTaO3 വേഫർ 2 ഇഞ്ച്-8 ഇഞ്ച് 10x10x0.5 mm 1sp 2sp
സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ
പേര് | ഒപ്റ്റിക്കൽ-ഗ്രേഡ് LiTaO3 | സൗണ്ട് ടേബിൾ ലെവൽ LiTaO3 |
അച്ചുതണ്ട് | Z കട്ട് + / - 0.2° | 36° Y കട്ട് / 42° Y കട്ട് / X കട്ട് (+ / - 0.2°) |
വ്യാസം | 76.2 മിമി + / - 0.3 മിമി/ 100±0.2മിമി | 76.2 മിമി + /-0.3 മിമി 100 മിമി + /-0.3 മിമി 0r 150±0.5 മിമി |
ഡാറ്റം തലം | 22മിമി + / - 2മിമി | 22മിമി + /-2മിമി 32 മിമി + /-2 മിമി |
കനം | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
ടിടിവി | ≤ 10 ഉം | ≤ 10 ഉം |
ക്യൂറി താപനില | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA രീതി) | 605 °C + / -3 °C (DTAരീതി |
ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം | ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള പോളിഷിംഗ് | ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള പോളിഷിംഗ് |
ചാംഫെർഡ് അരികുകൾ | എഡ്ജ് റൗണ്ടിംഗ് | എഡ്ജ് റൗണ്ടിംഗ് |
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ
1. ഇലക്ട്രിക്കൽ, ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രകടനം
· ഇലക്ട്രോ-ഒപ്റ്റിക് ഗുണകം: r33 30 pm/V (X-കട്ട്) എത്തുന്നു, LiNbO3 നേക്കാൾ 1.5× കൂടുതലാണ്, അൾട്രാ-വൈഡ്ബാൻഡ് ഇലക്ട്രോ-ഒപ്റ്റിക് മോഡുലേഷൻ (>40 GHz ബാൻഡ്വിഡ്ത്ത്) പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
· വിശാലമായ സ്പെക്ട്രൽ പ്രതികരണം: ട്രാൻസ്മിഷൻ ശ്രേണി 0.4–5.0 μm (8 mm കനം), അൾട്രാവയലറ്റ് ആഗിരണം എഡ്ജ് 280 nm വരെ കുറവാണ്, UV ലേസറുകൾക്കും ക്വാണ്ടം ഡോട്ട് ഉപകരണങ്ങൾക്കും അനുയോജ്യം.
· കുറഞ്ഞ പൈറോഇലക്ട്രിക് ഗുണകം: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ഇൻഫ്രാറെഡ് സെൻസറുകളിൽ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
2. താപ, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ
· ഉയർന്ന താപ ചാലകത: 4.6 W/m·K (എക്സ്-കട്ട്), ക്വാർട്സിനേക്കാൾ നാലിരട്ടി, -200–500°C താപ സൈക്ലിംഗ് നിലനിർത്തുന്നു.
· കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിന് സിലിക്കൺ പാക്കേജിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
3. വൈകല്യ നിയന്ത്രണവും പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യതയും
· മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത: <0.1 സെ.മീ⁻² (8-ഇഞ്ച് വേഫറുകൾ), ഡിസ്ലോക്കേഷൻ സാന്ദ്രത <500 സെ.മീ⁻² (KOH എച്ചിംഗ് വഴി പരിശോധിച്ചു).
· ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം: CMP- പോളിഷ് ചെയ്ത Ra <0.5 nm, EUV ലിത്തോഗ്രാഫി-ഗ്രേഡ് ഫ്ലാറ്റ്നസ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു.
പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
ഡൊമെയ്ൻ | ആപ്ലിക്കേഷൻ സാഹചര്യങ്ങൾ | സാങ്കേതിക നേട്ടങ്ങൾ |
ഒപ്റ്റിക്കൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ് | 100G/400G DWDM ലേസറുകൾ, സിലിക്കൺ ഫോട്ടോണിക്സ് ഹൈബ്രിഡ് മൊഡ്യൂളുകൾ | LiTaO3 വേഫറിന്റെ വിശാലമായ സ്പെക്ട്രൽ ട്രാൻസ്മിഷനും കുറഞ്ഞ വേവ്ഗൈഡ് നഷ്ടവും (α <0.1 dB/cm) സി-ബാൻഡ് വികാസം പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. |
5G/6G ആശയവിനിമയങ്ങൾ | SAW ഫിൽട്ടറുകൾ (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR ഫിൽട്ടറുകൾ | 42°Y-കട്ട് വേഫറുകൾ Kt² >15% നേടുന്നു, കുറഞ്ഞ ഇൻസേർഷൻ നഷ്ടവും (<1.5 dB) ഉയർന്ന റോൾ-ഓഫും (>30 dB) നൽകുന്നു. |
ക്വാണ്ടം ടെക്നോളജീസ് | സിംഗിൾ-ഫോട്ടോൺ ഡിറ്റക്ടറുകൾ, പാരാമെട്രിക് ഡൗൺ-കൺവേർഷൻ സ്രോതസ്സുകൾ | ഉയർന്ന നോൺലീനിയർ കോഫിഫിഷ്യന്റ് (χ(2)=40 pm/V) ഉം കുറഞ്ഞ ഡാർക്ക് കൗണ്ട് റേറ്റും (<100 കൗണ്ട്/സെ) ക്വാണ്ടം വിശ്വസ്തത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. |
വ്യാവസായിക സെൻസിംഗ് | ഉയർന്ന താപനില മർദ്ദ സെൻസറുകൾ, കറന്റ് ട്രാൻസ്ഫോർമറുകൾ | LiTaO3 വേഫറിന്റെ പീസോഇലക്ട്രിക് പ്രതികരണവും (g33 >20 mV/m) ഉയർന്ന താപനില സഹിഷ്ണുതയും (>400°C) അങ്ങേയറ്റത്തെ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്. |
എക്സ്.കെ.എച്ച്. സർവീസസ്
1. കസ്റ്റം വേഫർ ഫാബ്രിക്കേഷൻ
· വലിപ്പവും കട്ടിംഗും: X/Y/Z-കട്ട്, 42°Y-കട്ട്, ഇഷ്ടാനുസൃത ആംഗുലർ കട്ടുകൾ (±0.01° ടോളറൻസ്) ഉള്ള 2–8-ഇഞ്ച് വേഫറുകൾ.
· ഡോപ്പിംഗ് നിയന്ത്രണം: ഇലക്ട്രോ-ഒപ്റ്റിക് ഗുണകങ്ങളും താപ സ്ഥിരതയും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് സോക്രാൽസ്കി രീതി (സാന്ദ്രത പരിധി 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) വഴി Fe, Mg ഡോപ്പിംഗ്.
2. നൂതന പ്രക്രിയ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ
(
· പീരിയോഡിക് പോളിംഗ് (PPLT): LTOI വേഫറുകൾക്കായുള്ള സ്മാർട്ട്-കട്ട് സാങ്കേതികവിദ്യ, ±10 nm ഡൊമെയ്ൻ പിരീഡ് കൃത്യതയും ക്വാസി-ഫേസ്-മാച്ച്ഡ് (QPM) ഫ്രീക്വൻസി പരിവർത്തനവും കൈവരിക്കുന്നു.
· വൈവിധ്യമാർന്ന സംയോജനം: ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി SAW ഫിൽട്ടറുകൾക്ക് കനം നിയന്ത്രണവും (300–600 nm) 8.78 W/m·K വരെ താപ ചാലകതയും ഉള്ള Si-അധിഷ്ഠിത LiTaO3 കോമ്പോസിറ്റ് വേഫറുകൾ (POI).
3. ഗുണനിലവാര മാനേജ്മെന്റ് സിസ്റ്റങ്ങൾ
(
· എൻഡ്-ടു-എൻഡ് പരിശോധന: രാമൻ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി (പോളിടൈപ്പ് പരിശോധന), എക്സ്ആർഡി (ക്രിസ്റ്റലിനിറ്റി), എഎഫ്എം (സർഫസ് മോർഫോളജി), ഒപ്റ്റിക്കൽ യൂണിഫോമിറ്റി പരിശോധന (Δn <5×10⁻⁵).
4. ആഗോള വിതരണ ശൃംഖല പിന്തുണ
(
· ഉൽപാദന ശേഷി: പ്രതിമാസ ഔട്ട്പുട്ട്> 5,000 വേഫറുകൾ (8-ഇഞ്ച്: 70%), 48 മണിക്കൂർ അടിയന്തര ഡെലിവറി.
· ലോജിസ്റ്റിക്സ് നെറ്റ്വർക്ക്: താപനില നിയന്ത്രിത പാക്കേജിംഗോടുകൂടിയ വായു/കടൽ ചരക്ക് വഴി യൂറോപ്പ്, വടക്കേ അമേരിക്ക, ഏഷ്യ-പസഫിക് എന്നിവിടങ്ങളിൽ കവറേജ്.


