നീലക്കല്ല് SiC Si-ക്കുള്ള അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ

സഫയർ SiC Si-യ്‌ക്കുള്ള അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ ഫീച്ചർ ചെയ്‌ത ചിത്രം

ഹൃസ്വ വിവരണം:

അയോൺ ബീം ഫിഗറിംഗ് ആൻഡ് പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ എന്ന തത്വത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്അയോൺ സ്പട്ടറിംഗ്ഒരു ഉയർന്ന വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിൽ, ഒരു അയോൺ സ്രോതസ്സ് പ്ലാസ്മ ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള അയോൺ ബീമായി ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു. ഈ ബീം ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബ് ഇടിക്കുകയും, അൾട്രാ-പ്രിസൈസ് ഉപരിതല തിരുത്തലും ഫിനിഷിംഗും നേടുന്നതിന് ആറ്റോമിക് സ്കെയിലിൽ മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഫീച്ചറുകൾ

വിശദമായ ഡയഗ്രം

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ ഉൽപ്പന്ന അവലോകനം

അയോൺ ബീം ഫിഗറിംഗ് ആൻഡ് പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ അയോൺ സ്പട്ടറിംഗ് തത്വത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. ഒരു ഉയർന്ന വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിൽ, ഒരു അയോൺ സ്രോതസ്സ് പ്ലാസ്മ ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു, അത് ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള അയോൺ ബീമായി ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു. ഈ ബീം ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബ് ഇടിക്കുകയും, അൾട്രാ-പ്രിസിസ് ഉപരിതല തിരുത്തലും ഫിനിഷിംഗും നേടുന്നതിന് ആറ്റോമിക് സ്കെയിലിൽ മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഒരു നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പ്രക്രിയ എന്ന നിലയിൽ, അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദം ഇല്ലാതാക്കുകയും ഉപരിതലത്തിന് താഴെയുള്ള കേടുപാടുകൾ ഒഴിവാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഇത് ജ്യോതിശാസ്ത്രം, ബഹിരാകാശം, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, നൂതന ഗവേഷണ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഒപ്റ്റിക്സ് നിർമ്മിക്കുന്നതിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രവർത്തന തത്വം

അയോൺ ജനറേഷൻ
നിഷ്ക്രിയ വാതകം (ഉദാ: ആർഗോൺ) വാക്വം ചേമ്പറിലേക്ക് കടത്തിവിടുകയും ഒരു വൈദ്യുത ഡിസ്ചാർജ് വഴി അയോണീകരിക്കപ്പെടുകയും പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.

ത്വരണം & ബീം രൂപീകരണം
അയോണുകൾ നൂറുകണക്കിന് അല്ലെങ്കിൽ ആയിരം ഇലക്ട്രോൺ വോൾട്ടുകളായി (eV) ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും സ്ഥിരതയുള്ളതും ഫോക്കസ് ചെയ്തതുമായ ഒരു ബീം സ്പോട്ടായി രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.

മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യൽ
രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് തുടക്കമിടാതെ തന്നെ അയോൺ ബീം ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് ആറ്റങ്ങളെ ഭൗതികമായി ചിതറിക്കുന്നു.

പിശക് കണ്ടെത്തലും പാത ആസൂത്രണവും
ഇന്റർഫെറോമെട്രി ഉപയോഗിച്ചാണ് ഉപരിതല രൂപ വ്യതിയാനങ്ങൾ അളക്കുന്നത്. താമസ സമയങ്ങൾ നിർണ്ണയിക്കുന്നതിനും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത ടൂൾ പാത്തുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനും നീക്കംചെയ്യൽ ഫംഗ്ഷനുകൾ പ്രയോഗിക്കുന്നു.

ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് തിരുത്തൽ
ആർ‌എം‌എസ്/പിവി കൃത്യത ലക്ഷ്യങ്ങൾ കൈവരിക്കുന്നതുവരെ പ്രോസസ്സിംഗിന്റെയും അളക്കലിന്റെയും ആവർത്തിച്ചുള്ള ചക്രങ്ങൾ തുടരും.

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രധാന സവിശേഷതകൾ

സാർവത്രിക ഉപരിതല അനുയോജ്യത– പരന്ന, ഗോളാകൃതി, ആസ്‌ഫെറിക്കൽ, ഫ്രീഫോം പ്രതലങ്ങളെ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു

അൾട്രാ-സ്റ്റേബിൾ നീക്കംചെയ്യൽ നിരക്ക്– സബ്-നാനോമീറ്റർ ഫിഗർ കറക്ഷൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു

കേടുപാടുകൾ ഇല്ലാത്ത പ്രോസസ്സിംഗ്- ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങളോ ഘടനാപരമായ മാറ്റങ്ങളോ ഇല്ല.

സ്ഥിരമായ പ്രകടനം- വ്യത്യസ്ത കാഠിന്യമുള്ള വസ്തുക്കളിൽ ഒരുപോലെ നന്നായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു

താഴ്ന്ന/ഇടത്തരം ആവൃത്തി തിരുത്തൽ- മിഡ്/ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി ആർട്ടിഫാക്റ്റുകൾ സൃഷ്ടിക്കാതെ പിശകുകൾ ഇല്ലാതാക്കുന്നു.

കുറഞ്ഞ പരിപാലന ആവശ്യകതകൾ- കുറഞ്ഞ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയത്തോടെ നീണ്ട തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനം.

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രധാന സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ

ഇനം	സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
പ്രോസസ്സിംഗ് രീതി	ഉയർന്ന വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ അയോൺ സ്പൂട്ടറിംഗ്
പ്രോസസ്സിംഗ് തരം	നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പ്രതല ഫിഗറിംഗും പോളിഷിംഗും
പരമാവധി വർക്ക്പീസ് വലുപ്പം	Φ4000 മിമി
ചലന അച്ചുതണ്ടുകൾ	3-അക്ഷം / 5-അക്ഷം
നീക്കംചെയ്യൽ സ്ഥിരത	≥95%
ഉപരിതല കൃത്യത	പിവി < 10 നാനോമീറ്റർ; ആർഎംഎസ് ≤ 0.5 നാനോമീറ്റർ (സാധാരണ ആർഎംഎസ് < 1 നാനോമീറ്റർ; പിവി < 15 നാനോമീറ്റർ)
ഫ്രീക്വൻസി തിരുത്തൽ ശേഷി	മിഡ്/ഹൈ ഫ്രീക്വൻസി പിശകുകൾ അവതരിപ്പിക്കാതെ ലോ-മീഡിയം ഫ്രീക്വൻസി പിശകുകൾ നീക്കംചെയ്യുന്നു.
തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനം	വാക്വം മെയിന്റനൻസ് ഇല്ലാതെ 3–5 ആഴ്ച
പരിപാലന ചെലവ്	താഴ്ന്നത്

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രോസസ്സിംഗ് ശേഷികൾ

പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ഉപരിതല തരങ്ങൾ

ലളിതം: പരന്ന, ഗോളാകൃതി, പ്രിസം

കോംപ്ലക്സ്: സിമെട്രിക്/അസിമട്രിക് ആസ്‌ഫിയർ, ഓഫ്-ആക്സിസ് ആസ്‌ഫിയർ, സിലിണ്ടർ

പ്രത്യേകം: അൾട്രാ-തിൻ ഒപ്റ്റിക്സ്, സ്ലാറ്റ് ഒപ്റ്റിക്സ്, ഹെമിസ്ഫെറിക്കൽ ഒപ്റ്റിക്സ്, കൺഫോർമൽ ഒപ്റ്റിക്സ്, ഫേസ് പ്ലേറ്റുകൾ, ഫ്രീഫോം സർഫേസുകൾ

പിന്തുണയ്ക്കുന്ന മെറ്റീരിയലുകൾ

ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസ്: ക്വാർട്സ്, മൈക്രോക്രിസ്റ്റലിൻ, K9, മുതലായവ.

ഇൻഫ്രാറെഡ് വസ്തുക്കൾ: സിലിക്കൺ, ജെർമേനിയം, മുതലായവ.

ലോഹങ്ങൾ: അലുമിനിയം, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ, ടൈറ്റാനിയം അലോയ്, മുതലായവ.

പരലുകൾ: YAG, സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, മുതലായവ.

കടുപ്പമുള്ള/പൊട്ടുന്ന വസ്തുക്കൾ: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, മുതലായവ.

ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം / കൃത്യത

പിവി < 10 നാനോമീറ്റർ

ആർ‌എം‌എസ് ≤ 0.5 നാനോമീറ്റർ

അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രോസസ്സിംഗ് കേസ് സ്റ്റഡീസ്

കേസ് 1 – സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഫ്ലാറ്റ് മിറർ

വർക്ക്പീസ്: D630 mm ക്വാർട്സ് ഫ്ലാറ്റ്

ഫലം: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

കേസ് 2 - എക്സ്-റേ റിഫ്ലെക്റ്റീവ് മിറർ

വർക്ക്പീസ്: 150 × 30 മില്ലീമീറ്റർ സിലിക്കൺ ഫ്ലാറ്റ്

ഫലം: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ചരിവ് 0.13 µrad

കേസ് 3 - ഓഫ്-ആക്സിസ് മിറർ

വർക്ക്പീസ്: D326 mm ഓഫ്-ആക്സിസ് ഗ്രൗണ്ട് മിറർ

ഫലം: പിവി 35.9 എൻഎം; ആർഎംഎസ് 3.9 എൻഎം

ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസുകളുടെ പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ

പതിവുചോദ്യങ്ങൾ - അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ

ചോദ്യം 1: അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് എന്താണ്?
എ1:അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് എന്നത് ഒരു നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പ്രക്രിയയാണ്, ഇത് ഒരു വർക്ക്പീസ് പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിന് ഫോക്കസ് ചെയ്ത അയോണുകളുടെ (ആർഗോൺ അയോണുകൾ പോലുള്ളവ) ഒരു ബീം ഉപയോഗിക്കുന്നു. അയോണുകൾ ത്വരിതപ്പെടുത്തി ഉപരിതലത്തിലേക്ക് നയിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ആറ്റോമിക്-ലെവൽ മെറ്റീരിയൽ നീക്കംചെയ്യലിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് അൾട്രാ-സ്മൂത്ത് ഫിനിഷുകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു. ഈ പ്രക്രിയ മെക്കാനിക്കൽ സമ്മർദ്ദവും ഉപരിതല കേടുപാടുകളും ഇല്ലാതാക്കുന്നു, ഇത് കൃത്യമായ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

ചോദ്യം 2: അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ ഏതൊക്കെ തരം പ്രതലങ്ങളാണ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയുക?
എ2:ദിഅയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻലളിതമായ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ ഉപരിതലങ്ങൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയുംഫ്ലാറ്റുകൾ, ഗോളങ്ങൾ, പ്രിസങ്ങൾ, അതുപോലെ സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികളും പോലുള്ളവഅക്ഷത്തിന് പുറത്തുള്ള അക്ഷങ്ങൾ, അക്ഷത്തിന്റെ അരികുകൾ, കൂടാതെഫ്രീഫോം പ്രതലങ്ങൾ. ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസ്, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഒപ്റ്റിക്സ്, ലോഹങ്ങൾ, കടുപ്പമുള്ള/പൊട്ടുന്ന വസ്തുക്കൾ തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കളിൽ ഇത് പ്രത്യേകിച്ചും ഫലപ്രദമാണ്.

Q3: അയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻ ഏതൊക്കെ വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ച് പ്രവർത്തിക്കും?
എ3:ദിഅയോൺ ബീം പോളിഷിംഗ് മെഷീൻഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ വസ്തുക്കൾ പോളിഷ് ചെയ്യാൻ കഴിയും:

ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസ്: ക്വാർട്സ്, മൈക്രോക്രിസ്റ്റലിൻ, K9, മുതലായവ.
ഇൻഫ്രാറെഡ് വസ്തുക്കൾ: സിലിക്കൺ, ജെർമേനിയം, മുതലായവ.
ലോഹങ്ങൾ: അലുമിനിയം, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ, ടൈറ്റാനിയം അലോയ്, മുതലായവ.
ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കൾ: YAG, സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, മുതലായവ.
മറ്റ് കടുപ്പമുള്ള/പൊട്ടുന്ന വസ്തുക്കൾ: സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, മുതലായവ.

ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്

പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്‌കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്‌ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.