12 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫർ സി-പ്ലെയിൻ SSP/DSP
വിശദമായ ഡയഗ്രം
നീലക്കല്ലിന്റെ ആമുഖം
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിന്തറ്റിക് അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് (Al₂O₃) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഒരു സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലാണ് സഫയർ വേഫർ. കൈറോപൗലോസ് (KY) അല്ലെങ്കിൽ ഹീറ്റ് എക്സ്ചേഞ്ച് രീതി (HEM) പോലുള്ള നൂതന രീതികൾ ഉപയോഗിച്ച് വലിയ സഫയർ പരലുകൾ വളർത്തുന്നു, തുടർന്ന് കട്ടിംഗ്, ഓറിയന്റേഷൻ, ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പ്രിസിഷൻ പോളിഷിംഗ് എന്നിവയിലൂടെ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു. അസാധാരണമായ ഭൗതിക, ഒപ്റ്റിക്കൽ, രാസ ഗുണങ്ങൾ കാരണം, സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉപഭോക്തൃ ഇലക്ട്രോണിക്സ് എന്നീ മേഖലകളിൽ സഫയർ വേഫർ മാറ്റാനാകാത്ത പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.
മുഖ്യധാരാ നീലക്കല്ലിന്റെ സിന്തസിസ് രീതികൾ
| രീതി | തത്വം | പ്രയോജനങ്ങൾ | പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ |
|---|---|---|---|
| വെർനൂയിൽ രീതി(ജ്വാല സംയോജനം) | ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള Al₂O₃ പൊടി ഒരു ഓക്സിഹൈഡ്രജൻ ജ്വാലയിൽ ഉരുക്കുന്നു, തുള്ളികൾ ഒരു വിത്തിൽ പാളികളായി ദൃഢമാക്കുന്നു. | കുറഞ്ഞ ചെലവ്, ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമത, താരതമ്യേന ലളിതമായ പ്രക്രിയ | രത്ന-ഗുണനിലവാരമുള്ള നീലക്കല്ലുകൾ, ആദ്യകാല ഒപ്റ്റിക്കൽ വസ്തുക്കൾ |
| സോക്രാൽസ്കി രീതി (CZ) | ഒരു ക്രൂസിബിളിൽ Al₂O₃ ഉരുക്കി, ഒരു വിത്ത് പരൽ പതുക്കെ മുകളിലേക്ക് വലിച്ചെടുത്ത് പരൽ വളർത്തുന്നു. | നല്ല സമഗ്രതയോടെ താരതമ്യേന വലിയ പരലുകൾ ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. | ലേസർ ക്രിസ്റ്റലുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ |
| കൈറോപൗലോസ് രീതി (KY) | നിയന്ത്രിത മന്ദഗതിയിലുള്ള തണുപ്പിക്കൽ, ക്രൂസിബിളിനുള്ളിൽ ക്രിസ്റ്റലിനെ ക്രമേണ വളരാൻ അനുവദിക്കുന്നു. | വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള, കുറഞ്ഞ സമ്മർദ്ദമുള്ള പരലുകൾ (പതിനായിരക്കണക്കിന് കിലോഗ്രാമോ അതിൽ കൂടുതലോ) വളർത്താൻ കഴിവുള്ള. | എൽഇഡി സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ, സ്മാർട്ട്ഫോൺ സ്ക്രീനുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ |
| എച്ച്ഇഎം രീതി(താപ വിനിമയം) | ക്രൂസിബിൾ മുകളിൽ നിന്നാണ് തണുപ്പിക്കൽ ആരംഭിക്കുന്നത്, വിത്തിൽ നിന്ന് പരലുകൾ താഴേക്ക് വളരുന്നു. | ഏകീകൃത ഗുണനിലവാരത്തോടെ വളരെ വലിയ പരലുകൾ (നൂറുകണക്കിന് കിലോഗ്രാം വരെ) ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. | വലിയ ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ, എയ്റോസ്പേസ്, മിലിട്ടറി ഒപ്റ്റിക്സ് |
ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ
| ഓറിയന്റേഷൻ / തലം | മില്ലർ സൂചിക | സ്വഭാവഗുണങ്ങൾ | പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ |
|---|---|---|---|
| സി-പ്ലെയിൻ | (0001) ലുക്കൗട്ട് | സി-അക്ഷത്തിന് ലംബമായി, ധ്രുവ പ്രതലം, ഏകതാനമായി ക്രമീകരിച്ചിരിക്കുന്ന ആറ്റങ്ങൾ | LED, ലേസർ ഡയോഡുകൾ, GaN എപ്പിറ്റാക്സിയൽ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ (ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്) |
| എ-പ്ലെയിൻ | (11-20) | സി-അക്ഷത്തിന് സമാന്തരമായി, ധ്രുവമല്ലാത്ത പ്രതലം, ധ്രുവീകരണ ഫലങ്ങൾ ഒഴിവാക്കുന്നു. | നോൺ-പോളാർ GaN എപ്പിറ്റാക്സി, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ |
| എം-പ്ലെയിൻ | (10-10) | സി-അക്ഷത്തിന് സമാന്തരമായി, ധ്രുവീയമല്ലാത്ത, ഉയർന്ന സമമിതി | ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള GaN എപ്പിറ്റാക്സി, ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ |
| ആർ-പ്ലെയിൻ | (1-102) | സി-ആക്സിസിലേക്ക് ചരിഞ്ഞിരിക്കുന്നത്, മികച്ച ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ | ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഡിറ്റക്ടറുകൾ, ലേസർ ഘടകങ്ങൾ |
സഫയർ വേഫർ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ (ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നത്)
| ഇനം | 1-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 430μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 25.4 മിമി +/- 0.1 മിമി | |
| കനം | 430 μm +/- 25 μm | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 5 μm | |
| വില്ലു | < 5 μm | |
| വാർപ്പ് | < 5 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
| ഇനം | 2-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 430μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 50.8 മിമി +/- 0.1 മിമി | |
| കനം | 430 μm +/- 25 μm | |
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | എ-പ്ലെയിൻ(11-20) +/- 0.2° | |
| പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 16.0 മിമി +/- 1.0 മിമി | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 10 μm | |
| വില്ലു | < 10 μm | |
| വാർപ്പ് | < 10 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
| ഇനം | 3-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 500μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 76.2 മിമി +/- 0.1 മിമി | |
| കനം | 500 μm +/- 25 μm | |
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | എ-പ്ലെയിൻ(11-20) +/- 0.2° | |
| പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 22.0 മിമി +/- 1.0 മിമി | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 15 μm | |
| വില്ലു | < 15 μm | |
| വാർപ്പ് | < 15 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
| ഇനം | 4-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 650μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 100.0 മിമി +/- 0.1 മിമി | |
| കനം | 650 μm +/- 25 μm | |
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | എ-പ്ലെയിൻ(11-20) +/- 0.2° | |
| പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 30.0 മിമി +/- 1.0 മിമി | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 20 μm | |
| വില്ലു | < 20 μm | |
| വാർപ്പ് | < 20 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
| ഇനം | 6-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 1300μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 150.0 മിമി +/- 0.2 മിമി | |
| കനം | 1300 μm +/- 25 μm | |
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | എ-പ്ലെയിൻ(11-20) +/- 0.2° | |
| പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 47.0 മിമി +/- 1.0 മിമി | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 25 μm | |
| വില്ലു | < 25 μm | |
| വാർപ്പ് | < 25 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
| ഇനം | 8-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 1300μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 200.0 മിമി +/- 0.2 മിമി | |
| കനം | 1300 μm +/- 25 μm | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 30 μm | |
| വില്ലു | < 30 μm | |
| വാർപ്പ് | < 30 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗ്. | ||
| ഇനം | 12-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) 1300μm സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 300.0 മിമി +/- 0.2 മിമി | |
| കനം | 3000 μm +/- 25 μm | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 30 μm | |
| വില്ലു | < 30 μm | |
| വാർപ്പ് | < 30 μm | |
സഫയർ വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ
-
ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത്
-
പ്രത്യേക ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ ചൂളകളിൽ കൈറോപൗലോസ് (കെവൈ) രീതി ഉപയോഗിച്ച് സഫയർ ബൗളുകൾ (100–400 കിലോഗ്രാം) വളർത്തുക.
-
-
ഇങ്കോട്ട് ഡ്രില്ലിംഗും ഷേപ്പിംഗും
-
ഒരു ഡ്രിൽ ബാരൽ ഉപയോഗിച്ച് ബൗളിനെ 2–6 ഇഞ്ച് വ്യാസവും 50–200 മില്ലിമീറ്റർ നീളവുമുള്ള സിലിണ്ടർ ഇൻഗോട്ടുകളാക്കി മാറ്റുക.
-
-
ആദ്യ അനിയലിംഗ്
-
ഇൻഗോട്ടുകളിൽ തകരാറുകൾ ഉണ്ടോ എന്ന് പരിശോധിക്കുകയും ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം ഒഴിവാക്കാൻ ആദ്യത്തെ ഉയർന്ന താപനില അനീലിംഗ് നടത്തുകയും ചെയ്യുക.
-
-
ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷൻ
-
ഓറിയന്റേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ കൃത്യമായ ഓറിയന്റേഷൻ (ഉദാ: സി-പ്ലെയിൻ, എ-പ്ലെയിൻ, ആർ-പ്ലെയിൻ) നിർണ്ണയിക്കുക.
-
-
മൾട്ടി-വയർ സോ കട്ടിംഗ്
-
മൾട്ടി-വയർ കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ആവശ്യമായ കനം അനുസരിച്ച് ഇൻഗോട്ട് നേർത്ത വേഫറുകളായി മുറിക്കുക.
-
-
പ്രാരംഭ പരിശോധനയും രണ്ടാമത്തെ അനിയലിംഗും
-
മുറിച്ച വേഫറുകൾ (കനം, പരന്നത, ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ) പരിശോധിക്കുക.
-
ക്രിസ്റ്റലിന്റെ ഗുണനിലവാരം കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ആവശ്യമെങ്കിൽ വീണ്ടും അനീലിംഗ് നടത്തുക.
-
-
ചാംഫറിംഗ്, ഗ്രൈൻഡിംഗ് & CMP പോളിഷിംഗ്
-
മിറർ-ഗ്രേഡ് പ്രതലങ്ങൾ നേടുന്നതിന് പ്രത്യേക ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ചാംഫെറിംഗ്, സർഫേസ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (CMP) എന്നിവ നടത്തുക.
-
-
വൃത്തിയാക്കൽ
-
വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ പരിതസ്ഥിതിയിൽ, കണികകളും മാലിന്യങ്ങളും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി അൾട്രാ-പ്യുവർ വെള്ളവും രാസവസ്തുക്കളും ഉപയോഗിച്ച് വേഫറുകൾ നന്നായി വൃത്തിയാക്കുക.
-
-
ഒപ്റ്റിക്കൽ & ഫിസിക്കൽ പരിശോധന
-
ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ് ഡിറ്റക്ഷൻ നടത്തുകയും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഡാറ്റ രേഖപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുക.
-
TTV (മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം), വില്ലു, വാർപ്പ്, ഓറിയന്റേഷൻ കൃത്യത, ഉപരിതല പരുക്കൻത എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള വേഫർ പാരാമീറ്ററുകൾ അളക്കുക.
-
-
കോട്ടിംഗ് (ഓപ്ഷണൽ)
-
ഉപഭോക്തൃ നിർദ്ദേശങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് കോട്ടിംഗുകൾ (ഉദാ: AR കോട്ടിംഗുകൾ, സംരക്ഷണ പാളികൾ) പ്രയോഗിക്കുക.
-
അന്തിമ പരിശോധനയും പാക്കേജിംഗും
-
ഒരു ക്ലീൻറൂമിൽ 100% ഗുണനിലവാര പരിശോധന നടത്തുക.
-
ക്ലാസ്-100 വൃത്തിയുള്ള സാഹചര്യങ്ങളിൽ കാസറ്റ് ബോക്സുകളിൽ വേഫറുകൾ പായ്ക്ക് ചെയ്യുക, കയറ്റുമതി ചെയ്യുന്നതിന് മുമ്പ് അവ വാക്വം സീൽ ചെയ്യുക.
സഫയർ വേഫറുകളുടെ പ്രയോഗങ്ങൾ
അസാധാരണമായ കാഠിന്യം, മികച്ച ഒപ്റ്റിക്കൽ ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ്, മികച്ച താപ പ്രകടനം, വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ എന്നിവയാൽ സഫയർ വേഫറുകൾ ഒന്നിലധികം വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി പ്രയോഗിക്കപ്പെടുന്നു. പരമ്പരാഗത എൽഇഡി, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക് വ്യവസായങ്ങൾ മാത്രമല്ല, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഉപഭോക്തൃ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, നൂതന ബഹിരാകാശ, പ്രതിരോധ മേഖലകളിലേക്കും അവയുടെ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ വ്യാപിക്കുന്നു.
1. സെമികണ്ടക്ടറുകളും ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക്സും
LED സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് (GaN) എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്കുള്ള പ്രാഥമിക അടിവസ്ത്രങ്ങളാണ് നീലക്കല്ല് വേഫറുകൾ, നീല LED, വെളുത്ത LED, മിനി/മൈക്രോ LED സാങ്കേതികവിദ്യകളിൽ ഇവ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ലേസർ ഡയോഡുകൾ (LDs)
GaN-അധിഷ്ഠിത ലേസർ ഡയോഡുകൾക്കുള്ള അടിവസ്ത്രങ്ങൾ എന്ന നിലയിൽ, ഉയർന്ന പവർ, ദീർഘായുസ്സ് ഉള്ള ലേസർ ഉപകരണങ്ങളുടെ വികസനത്തെ നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകൾ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
ഫോട്ടോ ഡിറ്റക്ടറുകൾ
അൾട്രാവയലറ്റ്, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഫോട്ടോഡിറ്റക്ടറുകളിൽ, സുതാര്യമായ ജാലകങ്ങളായും ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകളായും നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകൾ പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
2. സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ
റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ (RFIC-കൾ)
മികച്ച വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ കാരണം, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി, ഉയർന്ന പവർ മൈക്രോവേവ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ അടിവസ്ത്രങ്ങളാണ് നീലക്കല്ലിന്റെ വേഫറുകൾ.
സിലിക്കൺ-ഓൺ-സാഫയർ (SoS) സാങ്കേതികവിദ്യ
SoS സാങ്കേതികവിദ്യ പ്രയോഗിക്കുന്നതിലൂടെ, പരാദ കപ്പാസിറ്റൻസ് വളരെയധികം കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, ഇത് സർക്യൂട്ട് പ്രകടനം വർദ്ധിപ്പിക്കും. ഇത് RF ആശയവിനിമയങ്ങളിലും എയ്റോസ്പേസ് ഇലക്ട്രോണിക്സിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
3. ഒപ്റ്റിക്കൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
ഇൻഫ്രാറെഡ് ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ
200 nm–5000 nm തരംഗദൈർഘ്യ പരിധിയിൽ ഉയർന്ന പ്രക്ഷേപണശേഷി ഉള്ളതിനാൽ, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഡിറ്റക്ടറുകളിലും ഇൻഫ്രാറെഡ് ഗൈഡൻസ് സിസ്റ്റങ്ങളിലും നീലക്കല്ല് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഉയർന്ന പവർ ലേസർ വിൻഡോകൾ
നീലക്കല്ലിന്റെ കാഠിന്യവും താപ പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന പവർ ലേസർ സിസ്റ്റങ്ങളിലെ സംരക്ഷണ ജാലകങ്ങൾക്കും ലെൻസുകൾക്കും മികച്ച ഒരു വസ്തുവാക്കി മാറ്റുന്നു.
4. ഉപഭോക്തൃ ഇലക്ട്രോണിക്സ്
ക്യാമറ ലെൻസ് കവറുകൾ
നീലക്കല്ലിന്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യം സ്മാർട്ട്ഫോൺ, ക്യാമറ ലെൻസുകൾക്ക് പോറൽ പ്രതിരോധം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഫിംഗർപ്രിന്റ് സെൻസറുകൾ
ഫിംഗർപ്രിന്റ് തിരിച്ചറിയലിൽ കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്ന ഈടുനിൽക്കുന്നതും സുതാര്യവുമായ കവറുകളായി നീലക്കല്ല് വേഫറുകൾക്ക് കഴിയും.
സ്മാർട്ട് വാച്ചുകളും പ്രീമിയം ഡിസ്പ്ലേകളും
സഫയർ സ്ക്രീനുകൾ സ്ക്രാച്ച് റെസിസ്റ്റൻസും ഉയർന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ വ്യക്തതയും സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉൽപ്പന്നങ്ങളിൽ അവയെ ജനപ്രിയമാക്കുന്നു.
5. എയ്റോസ്പേസും പ്രതിരോധവും
മിസൈൽ ഇൻഫ്രാറെഡ് ഡോമുകൾ
ഉയർന്ന താപനിലയിലും വേഗതയേറിയ സാഹചര്യങ്ങളിലും നീലക്കല്ലിന്റെ ജനാലകൾ സുതാര്യവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായി തുടരുന്നു.
എയ്റോസ്പേസ് ഒപ്റ്റിക്കൽ സിസ്റ്റംസ്
കഠിനമായ പരിതസ്ഥിതികൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഉയർന്ന ശക്തിയുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകളിലും നിരീക്ഷണ ഉപകരണങ്ങളിലും അവ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
മറ്റ് സാധാരണ നീലക്കല്ല് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ
ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ
-
സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ വിൻഡോകൾ
-
ലേസറുകൾ, സ്പെക്ട്രോമീറ്ററുകൾ, ഇൻഫ്രാറെഡ് ഇമേജിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ, സെൻസർ വിൻഡോകൾ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
-
ട്രാൻസ്മിഷൻ ശ്രേണി:UV 150 nm മുതൽ മധ്യ-IR 5.5 μm വരെ.
-
-
നീലക്കല്ല് ലെൻസുകൾ
-
ഉയർന്ന പവർ ലേസർ സിസ്റ്റങ്ങളിലും എയ്റോസ്പേസ് ഒപ്റ്റിക്സിലും പ്രയോഗിക്കുന്നു.
-
കോൺവെക്സ്, കോൺകേവ് അല്ലെങ്കിൽ സിലിണ്ടർ ലെൻസുകളായി നിർമ്മിക്കാം.
-
-
നീലക്കല്ല് പ്രിസങ്ങൾ
-
ഒപ്റ്റിക്കൽ മെഷർമെന്റ് ഉപകരണങ്ങളിലും പ്രിസിഷൻ ഇമേജിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിലും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
-
എയ്റോസ്പേസും പ്രതിരോധവും
-
നീലക്കല്ലിന്റെ താഴികക്കുടങ്ങൾ
-
മിസൈലുകൾ, UAV-കൾ, വിമാനങ്ങൾ എന്നിവയിലെ ഇൻഫ്രാറെഡ് സീക്കറുകളെ സംരക്ഷിക്കുക.
-
-
നീലക്കല്ലിന്റെ സംരക്ഷണ കവറുകൾ
-
ഉയർന്ന വേഗതയുള്ള വായുപ്രവാഹ ആഘാതത്തെയും കഠിനമായ ചുറ്റുപാടുകളെയും ചെറുക്കുക.
-
ഉൽപ്പന്ന പാക്കേജിംഗ്
XINKEHUI-യെ കുറിച്ച്
ഷാങ്ഹായ് സിൻകെഹുയി ന്യൂ മെറ്റീരിയൽ കമ്പനി ലിമിറ്റഡ് അതിലൊന്നാണ്ചൈനയിലെ ഏറ്റവും വലിയ ഒപ്റ്റിക്കൽ & സെമികണ്ടക്ടർ വിതരണക്കാരൻ2002-ൽ സ്ഥാപിതമായ XKH. അക്കാദമിക് ഗവേഷകർക്ക് വേഫറുകളും മറ്റ് സെമികണ്ടക്ടറുമായി ബന്ധപ്പെട്ട ശാസ്ത്രീയ മെറ്റീരിയലുകളും സേവനങ്ങളും നൽകുന്നതിനാണ് XKH വികസിപ്പിച്ചെടുത്തത്. സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയലുകളാണ് ഞങ്ങളുടെ പ്രധാന ബിസിനസ്സ്, ഞങ്ങളുടെ ടീം സാങ്കേതികതയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്, ഇത് സ്ഥാപിതമായതുമുതൽ, നൂതന ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഗവേഷണത്തിലും വികസനത്തിലും XKH ആഴത്തിൽ ഏർപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് വിവിധ വേഫർ / സബ്സ്ട്രേറ്റ് മേഖലയിൽ.
പങ്കാളികൾ
മികച്ച സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയൽ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച്, ഷാങ്ഹായ് ഷിമിങ്സിൻ ലോകത്തിലെ മുൻനിര കമ്പനികളുടെയും അറിയപ്പെടുന്ന അക്കാദമിക് സ്ഥാപനങ്ങളുടെയും വിശ്വസ്ത പങ്കാളിയായി മാറിയിരിക്കുന്നു. നവീകരണത്തിലും മികവിലുമുള്ള സ്ഥിരതയോടെ, ഷോട്ട് ഗ്ലാസ്, കോർണിംഗ്, സിയോൾ സെമികണ്ടക്ടർ തുടങ്ങിയ വ്യവസായ പ്രമുഖരുമായി ഷിമിങ്സിൻ ആഴത്തിലുള്ള സഹകരണ ബന്ധങ്ങൾ സ്ഥാപിച്ചു. ഈ സഹകരണങ്ങൾ ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക നിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ, സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുടെ മേഖലകളിലെ സാങ്കേതിക വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുകയും ചെയ്തു.
അറിയപ്പെടുന്ന കമ്പനികളുമായുള്ള സഹകരണത്തിന് പുറമേ, ഹാർവാർഡ് യൂണിവേഴ്സിറ്റി, യൂണിവേഴ്സിറ്റി കോളേജ് ലണ്ടൻ (UCL), ഹ്യൂസ്റ്റൺ യൂണിവേഴ്സിറ്റി തുടങ്ങിയ ലോകമെമ്പാടുമുള്ള മികച്ച സർവകലാശാലകളുമായി ദീർഘകാല ഗവേഷണ സഹകരണ ബന്ധങ്ങളും Zhimingxin സ്ഥാപിച്ചിട്ടുണ്ട്. ഈ സഹകരണങ്ങളിലൂടെ, Zhimingxin അക്കാദമിയയിലെ ശാസ്ത്ര ഗവേഷണ പദ്ധതികൾക്ക് സാങ്കേതിക പിന്തുണ നൽകുക മാത്രമല്ല, പുതിയ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും സാങ്കേതിക നവീകരണത്തിന്റെയും വികസനത്തിലും പങ്കെടുക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ ഞങ്ങൾ എല്ലായ്പ്പോഴും മുൻപന്തിയിലാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ലോകപ്രശസ്ത കമ്പനികളുമായും അക്കാദമിക് സ്ഥാപനങ്ങളുമായും അടുത്ത സഹകരണത്തിലൂടെ, ഷാങ്ഹായ് ഷിമിങ്സിൻ സാങ്കേതിക നവീകരണവും വികസനവും പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നത് തുടരുന്നു, ആഗോള വിപണിയുടെ വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ലോകോത്തര ഉൽപ്പന്നങ്ങളും പരിഹാരങ്ങളും നൽകുന്നു.
