സെമികണ്ടക്ടറിനുള്ള ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ് വേഫറുകൾ, ഫോട്ടോണിക്സ് ഒപ്റ്റിക്കൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ 2″4″6″8″12″
വിശദമായ ഡയഗ്രം


ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസിന്റെ അവലോകനം

ഇന്നത്തെ ഡിജിറ്റൽ ലോകത്തെ നയിക്കുന്ന എണ്ണമറ്റ ആധുനിക ഉപകരണങ്ങളുടെ നട്ടെല്ലാണ് ക്വാർട്സ് വേഫറുകൾ. നിങ്ങളുടെ സ്മാർട്ട്ഫോണിലെ നാവിഗേഷൻ മുതൽ 5G ബേസ് സ്റ്റേഷനുകളുടെ നട്ടെല്ല് വരെ, ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക്സിലും ഫോട്ടോണിക്സിലും ആവശ്യമായ സ്ഥിരത, പരിശുദ്ധി, കൃത്യത എന്നിവ ക്വാർട്സ് നിശബ്ദമായി നൽകുന്നു. ഫ്ലെക്സിബിൾ സർക്യൂട്ടറിയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതോ, MEMS സെൻസറുകൾ പ്രവർത്തനക്ഷമമാക്കുന്നതോ, ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗിന് അടിസ്ഥാനം സൃഷ്ടിക്കുന്നതോ ആകട്ടെ, ക്വാർട്സിന്റെ അതുല്യമായ സവിശേഷതകൾ വ്യവസായങ്ങളിൽ അതിനെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാക്കുന്നു.
"ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക" അല്ലെങ്കിൽ "ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ്", ഇത് ക്വാർട്സിന്റെ (SiO2) രൂപരഹിതമായ ഘട്ടമാണ്. ബോറോസിലിക്കേറ്റ് ഗ്ലാസുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്കയിൽ അഡിറ്റീവുകൾ ഇല്ല; അതിനാൽ ഇത് അതിന്റെ ശുദ്ധമായ രൂപമായ SiO2 ൽ നിലനിൽക്കുന്നു. സാധാരണ ഗ്ലാസുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ ഇൻഫ്രാറെഡ്, അൾട്രാവയലറ്റ് സ്പെക്ട്രത്തിൽ ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്കയ്ക്ക് ഉയർന്ന സംപ്രേഷണം ഉണ്ട്. അൾട്രാപ്യുവർ SiO2 ഉരുക്കി വീണ്ടും ദൃഢമാക്കുന്നതിലൂടെയാണ് ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നത്. മറുവശത്ത്, സിന്തറ്റിക് ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക നിർമ്മിക്കുന്നത് SiCl4 പോലുള്ള സിലിക്കൺ സമ്പുഷ്ടമായ കെമിക്കൽ പ്രികർസറുകളിൽ നിന്നാണ്, അവ വാതകവൽക്കരിക്കുകയും പിന്നീട് H2 + O2 അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ സാഹചര്യത്തിൽ രൂപം കൊള്ളുന്ന SiO2 പൊടി ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ സിലിക്കയിലേക്ക് ലയിപ്പിക്കുന്നു. ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക ബ്ലോക്കുകൾ വേഫറുകളായി മുറിക്കുന്നു, അതിനുശേഷം വേഫറുകൾ ഒടുവിൽ മിനുക്കുന്നു.
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസ് വേഫറിന്റെ പ്രധാന സവിശേഷതകളും ഗുണങ്ങളും
-
അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി (≥99.99% SiO2)
മെറ്റീരിയൽ മലിനീകരണം കുറയ്ക്കേണ്ട അൾട്രാ-ക്ലീൻ സെമികണ്ടക്ടർ, ഫോട്ടോണിക്സ് പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യം. -
വിശാലമായ താപ പ്രവർത്തന ശ്രേണി
1100°C-ൽ കൂടുതലുള്ള ക്രയോജനിക് താപനിലയിൽ നിന്ന് വളച്ചൊടിക്കലോ നശീകരണമോ ഇല്ലാതെ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത നിലനിർത്തുന്നു. -
മികച്ച UV, IR ട്രാൻസ്മിഷൻ
ഡീപ് അൾട്രാവയലറ്റ് (DUV) മുതൽ നിയർ-ഇൻഫ്രാറെഡ് (NIR) വരെ മികച്ച ഒപ്റ്റിക്കൽ വ്യക്തത നൽകുന്നു, കൃത്യമായ ഒപ്റ്റിക്കൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. -
കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം
താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾക്കിടയിലും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നു, പ്രക്രിയയുടെ വിശ്വാസ്യത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. -
മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം
മിക്ക ആസിഡുകൾക്കും, ക്ഷാരങ്ങൾക്കും, ലായകങ്ങൾക്കും നിഷ്ക്രിയമാണ് - രാസപരമായി ആക്രമണാത്മകമായ ചുറ്റുപാടുകൾക്ക് ഇത് നന്നായി അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. -
ഉപരിതല ഫിനിഷ് വഴക്കം
ഫോട്ടോണിക്സ്, MEMS ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ, അൾട്രാ-സ്മൂത്ത്, സിംഗിൾ-സൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഡബിൾ-സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്ത ഫിനിഷുകളിൽ ലഭ്യമാണ്.
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസ് വേഫറിന്റെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ
നിയന്ത്രിതവും കൃത്യവുമായ ഘട്ടങ്ങളുടെ ഒരു പരമ്പരയിലൂടെയാണ് ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ് വേഫറുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നത്:
-
അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ്
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള പ്രകൃതിദത്ത ക്വാർട്സ് അല്ലെങ്കിൽ സിന്തറ്റിക് SiO₂ സ്രോതസ്സുകളുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ്. -
ഉരുകലും സംയോജനവും
നിയന്ത്രിത അന്തരീക്ഷത്തിൽ വൈദ്യുത ചൂളകളിൽ, ഉൾപ്പെടുത്തലുകളും കുമിളകളും ഇല്ലാതാക്കാൻ ക്വാർട്സ് ~2000°C ൽ ഉരുക്കുന്നു. -
ബ്ലോക്ക് രൂപീകരണം
ഉരുകിയ സിലിക്ക തണുപ്പിച്ച് ഖര ബ്ലോക്കുകളോ ഇൻഗോട്ടുകളോ ആക്കുന്നു. -
വേഫർ സ്ലൈസിംഗ്
ഇൻഗോട്ടുകളെ വേഫർ ബ്ലാങ്കുകളായി മുറിക്കാൻ പ്രിസിഷൻ ഡയമണ്ട് അല്ലെങ്കിൽ വയർ സോകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. -
ലാപ്പിംഗ് & പോളിഷിംഗ്
കൃത്യമായ ഒപ്റ്റിക്കൽ, കനം, പരുക്കൻത എന്നിവയുടെ സവിശേഷതകൾ പാലിക്കുന്നതിനായി രണ്ട് പ്രതലങ്ങളും പരന്നതും മിനുക്കിയതുമാണ്. -
വൃത്തിയാക്കലും പരിശോധനയും
ISO ക്ലാസ് 100/1000 ക്ലീൻറൂമുകളിൽ വേഫറുകൾ വൃത്തിയാക്കുകയും വൈകല്യങ്ങൾക്കും അളവുകൾക്കുമുള്ള അനുരൂപതയ്ക്കായി കർശനമായ പരിശോധനയ്ക്ക് വിധേയമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസ് വേഫറിന്റെ സവിശേഷതകൾ
സ്പെക്ക് | യൂണിറ്റ് | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
---|---|---|---|---|---|---|
വ്യാസം / വലിപ്പം (അല്ലെങ്കിൽ ചതുരം) | mm | 100 100 कालिक | 150 മീറ്റർ | 200 മീറ്റർ | 250 മീറ്റർ | 300 ഡോളർ |
സഹിഷ്ണുത (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
കനം | mm | 0.10 അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ | 0.30 അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ | 0.40 അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ | 0.50 അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ | 0.50 അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതൽ |
പ്രാഥമിക റഫറൻസ് ഫ്ലാറ്റ് | mm | 32.5 32.5 ഡെവലപ്പറിൽ നിന്ന് കൂടുതൽ ഇനങ്ങൾ | 57.5 स्तुत्र 57.5 | സെമി-നോച്ച് | സെമി-നോച്ച് | സെമി-നോച്ച് |
എൽടിവി (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
ടിടിവി | μm | 2 < 2 | 3 < 3 | 3 < 3 | 5 < 5 | 5 < 5 |
വില്ല് | μm | ±20 ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
വാർപ്പ് | μm | ≤ 30 ≤ 30 | 40 ≤ 40 | 50 ഡോളർ | 50 ഡോളർ | 50 ഡോളർ |
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
എഡ്ജ് റൗണ്ടിംഗ് | mm | SEMI M1.2 സ്റ്റാൻഡേർഡിന് അനുസൃതമാണ് / IEC62276 കാണുക | ||||
ഉപരിതല തരം | സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ്ഡ് / ഡബിൾ സൈഡ്സ് പോളിഷ്ഡ് | |||||
മിനുക്കിയ വശം Ra | nm | ≤1 ഡെൽഹി | ≤1 ഡെൽഹി | ≤1 ഡെൽഹി | ≤1 ഡെൽഹി | ≤1 ഡെൽഹി |
പിൻവശത്തെ മാനദണ്ഡം | μm | പൊതുവായ 0.2-0.7 അല്ലെങ്കിൽ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയത് |
ക്വാർട്സ് vs. മറ്റ് സുതാര്യ വസ്തുക്കൾ
പ്രോപ്പർട്ടി | ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസ് | ബോറോസിലിക്കേറ്റ് ഗ്ലാസ് | നീലക്കല്ല് | സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഗ്ലാസ് |
---|---|---|---|---|
പരമാവധി പ്രവർത്തന താപനില | ~1100°C താപനില | ~500°C താപനില | ~2000°C താപനില | ~200°C താപനില |
യുവി ട്രാൻസ്മിഷൻ | മികച്ചത് (JGS1) | മോശം | നല്ലത് | വളരെ മോശം |
രാസ പ്രതിരോധം | മികച്ചത് | മിതമായ | മികച്ചത് | മോശം |
പരിശുദ്ധി | വളരെ ഉയർന്നത് | താഴ്ന്നത് മുതൽ ഇടത്തരം വരെ | ഉയർന്ന | താഴ്ന്നത് |
താപ വികാസം | വളരെ കുറവ് | മിതമായ | താഴ്ന്നത് | ഉയർന്ന |
ചെലവ് | ഇടത്തരം മുതൽ ഉയർന്നത് വരെ | താഴ്ന്നത് | ഉയർന്ന | വളരെ കുറവ് |
ക്വാർട്സ് ഗ്ലാസ് വേഫറിന്റെ പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ
ചോദ്യം 1: ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സും ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്കയും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം എന്താണ്?
രണ്ടും SiO₂ ന്റെ രൂപരഹിതമായ രൂപങ്ങളാണെങ്കിലും, ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ് സാധാരണയായി സ്വാഭാവിക ക്വാർട്സ് സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്നാണ് ഉത്ഭവിക്കുന്നത്, അതേസമയം ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക കൃത്രിമമായി നിർമ്മിക്കപ്പെടുന്നു. പ്രവർത്തനപരമായി, അവ സമാനമായ പ്രകടനം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, എന്നാൽ ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്കയ്ക്ക് അൽപ്പം ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും ഏകതാനതയും ഉണ്ടായിരിക്കാം.
ചോദ്യം 2: ഉയർന്ന വാക്വം പരിതസ്ഥിതികളിൽ ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ് വേഫറുകൾ ഉപയോഗിക്കാമോ?
അതെ. കുറഞ്ഞ വാതക വിസർജന ഗുണങ്ങളും ഉയർന്ന താപ പ്രതിരോധവും കാരണം, ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സ് വേഫറുകൾ വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങൾക്കും എയ്റോസ്പേസ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും മികച്ചതാണ്.
Q3: ഈ വേഫറുകൾ ഡീപ്-യുവി ലേസർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണോ?
തികച്ചും. ഫ്യൂസ്ഡ് ക്വാർട്സിന് ~185 nm വരെ ഉയർന്ന ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ് ഉണ്ട്, ഇത് DUV ഒപ്റ്റിക്സ്, ലിത്തോഗ്രാഫി മാസ്കുകൾ, എക്സൈമർ ലേസർ സിസ്റ്റങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
ചോദ്യം 4: നിങ്ങൾ ഇഷ്ടാനുസൃത വേഫർ നിർമ്മാണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നുണ്ടോ?
അതെ. നിങ്ങളുടെ നിർദ്ദിഷ്ട ആപ്ലിക്കേഷൻ ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി, വ്യാസം, കനം, ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം, ഫ്ലാറ്റുകൾ/നോച്ചുകൾ, ലേസർ പാറ്റേണിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള പൂർണ്ണ കസ്റ്റമൈസേഷൻ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
ഞങ്ങളേക്കുറിച്ച്
പ്രത്യേക ഒപ്റ്റിക്കൽ ഗ്ലാസുകളുടെയും പുതിയ ക്രിസ്റ്റൽ വസ്തുക്കളുടെയും ഹൈടെക് വികസനം, ഉത്പാദനം, വിൽപ്പന എന്നിവയിൽ എക്സ്കെഎച്ച് പ്രത്യേകത പുലർത്തുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൈന്യം എന്നിവയ്ക്ക് സേവനം നൽകുന്നു. സഫയർ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ, മൊബൈൽ ഫോൺ ലെൻസ് കവറുകൾ, സെറാമിക്സ്, എൽടി, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എസ്ഐസി, ക്വാർട്സ്, സെമികണ്ടക്ടർ ക്രിസ്റ്റൽ വേഫറുകൾ എന്നിവ ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. വൈദഗ്ധ്യവും അത്യാധുനിക ഉപകരണങ്ങളും ഉപയോഗിച്ച്, മുൻനിര ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് മെറ്റീരിയൽ ഹൈടെക് എന്റർപ്രൈസായി മാറാൻ ലക്ഷ്യമിട്ട്, നിലവാരമില്ലാത്ത ഉൽപ്പന്ന പ്രോസസ്സിംഗിൽ ഞങ്ങൾ മികവ് പുലർത്തുന്നു.