പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമാറ്റിക് വേഫർ റിംഗ്-കട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ വർക്കിംഗ് സൈസ് 8 ഇഞ്ച്/12 ഇഞ്ച് വേഫർ റിംഗ് കട്ടിംഗ്

ഹൃസ്വ വിവരണം:

ഫ്രണ്ട്-എൻഡ് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഒരു നൂതന പരിഹാരത്തെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന, പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമാറ്റിക് വേഫർ എഡ്ജ് ട്രിമ്മിംഗ് സിസ്റ്റം XKH സ്വതന്ത്രമായി വികസിപ്പിച്ചെടുത്തിട്ടുണ്ട്. ഈ ഉപകരണം നൂതനമായ മൾട്ടി-ആക്സിസ് സിൻക്രണസ് കൺട്രോൾ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു, കൂടാതെ ഉയർന്ന കാഠിന്യമുള്ള സ്പിൻഡിൽ സിസ്റ്റം (പരമാവധി റൊട്ടേഷൻ വേഗത: 60,000 RPM) അവതരിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ±5μm വരെ കട്ടിംഗ് കൃത്യതയോടെ കൃത്യമായ എഡ്ജ് ട്രിമ്മിംഗ് നൽകുന്നു. വിവിധ സെമികണ്ടക്ടർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുമായി മികച്ച അനുയോജ്യത ഈ സിസ്റ്റം പ്രകടമാക്കുന്നു, എന്നാൽ ഇവയിൽ മാത്രം പരിമിതപ്പെടുന്നില്ല:
1. സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ (Si): 8-12 ഇഞ്ച് വേഫറുകളുടെ എഡ്ജ് പ്രോസസ്സിംഗിന് അനുയോജ്യം;
2. സംയുക്ത അർദ്ധചാലകങ്ങൾ: GaAs, SiC തുടങ്ങിയ മൂന്നാം തലമുറ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾ;
3. പ്രത്യേക സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ: LT/LN ഉൾപ്പെടെയുള്ള പീസോഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയൽ വേഫറുകൾ;

ഡയമണ്ട് ബ്ലേഡുകൾ, ലേസർ കട്ടിംഗ് ഹെഡുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ ഒന്നിലധികം ഉപഭോഗവസ്തുക്കളുടെ ദ്രുത മാറ്റിസ്ഥാപിക്കൽ മോഡുലാർ ഡിസൈൻ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങൾ കവിയുന്ന അനുയോജ്യതയോടെ. പ്രത്യേക പ്രക്രിയ ആവശ്യകതകൾക്കായി, ഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടുന്ന സമഗ്രമായ പരിഹാരങ്ങൾ ഞങ്ങൾ നൽകുന്നു:
· സമർപ്പിത കട്ടിംഗ് ഉപഭോഗവസ്തുക്കൾ വിതരണം
· കസ്റ്റം പ്രോസസ്സിംഗ് സേവനങ്ങൾ
· പ്രോസസ് പാരാമീറ്റർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ പരിഹാരങ്ങൾ

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഫീച്ചറുകൾ

സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ

പാരാമീറ്റർ	യൂണിറ്റ്	സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
പരമാവധി വർക്ക്പീസ് വലുപ്പം	mm	ø12"
സ്പിൻഡിൽ	കോൺഫിഗറേഷൻ	സിംഗിൾ സ്പിൻഡിൽ
	വേഗത	3,000–60,000 ആർ‌പി‌എം
	ഔട്ട്പുട്ട് പവർ	30,000 മിനിറ്റിൽ 1.8 kW (2.4 ഓപ്ഷണൽ)⁻¹
	മാക്സ് ബ്ലേഡ് ഡയ.	Ø58 മി.മീ.
എക്സ്-ആക്സിസ്	കട്ടിംഗ് റേഞ്ച്	310 മി.മീ.
വൈ-ആക്സിസ്	കട്ടിംഗ് റേഞ്ച്	310 മി.മീ.
	സ്റ്റെപ്പ് ഇൻക്രിമെന്റ്	0.0001 മി.മീ.
	സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത	≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (ഒറ്റ പിശക്)
ഇസഡ്-ആക്സിസ്	ചലന റെസല്യൂഷൻ	0.00005 മി.മീ.
ഇസഡ്-ആക്സിസ്	ആവർത്തനക്ഷമത	0.001 മി.മീ.
θ-അക്ഷം	പരമാവധി ഭ്രമണം	380 ഡിഗ്രി
സ്പിൻഡിൽ തരം		റിംഗ് കട്ടിംഗിനായി കർക്കശമായ ബ്ലേഡ് കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന സിംഗിൾ സ്പിൻഡിൽ
റിംഗ്-കട്ടിംഗ് കൃത്യത	μm	±50
വേഫർ പൊസിഷനിംഗ് കൃത്യത	μm	±50
സിംഗിൾ-വേഫർ കാര്യക്ഷമത	മിനിറ്റ്/വേഫർ	8
മൾട്ടി-വേഫർ കാര്യക്ഷമത		ഒരേസമയം 4 വേഫറുകൾ വരെ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നു
ഉപകരണ ഭാരം	kg	≈3,200
ഉപകരണ അളവുകൾ (W×D×H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

പ്രവർത്തന തത്വം

ഈ പ്രധാന സാങ്കേതികവിദ്യകളിലൂടെ സിസ്റ്റം അസാധാരണമായ ട്രിമ്മിംഗ് പ്രകടനം കൈവരിക്കുന്നു:

1. ഇന്റലിജന്റ് മോഷൻ കൺട്രോൾ സിസ്റ്റം:
· ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ലീനിയർ മോട്ടോർ ഡ്രൈവ് (ആവർത്തിച്ചുള്ള സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത: ±0.5μm)
· സങ്കീർണ്ണമായ പാത ആസൂത്രണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ആറ്-ആക്സിസ് സിൻക്രണസ് നിയന്ത്രണം
കട്ടിംഗ് സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്ന തത്സമയ വൈബ്രേഷൻ സപ്രഷൻ അൽഗോരിതങ്ങൾ

2. നൂതന കണ്ടെത്തൽ സംവിധാനം:
· സംയോജിത 3D ലേസർ ഉയര സെൻസർ (കൃത്യത: 0.1μm)
· ഉയർന്ന റെസല്യൂഷൻ സിസിഡി വിഷ്വൽ പൊസിഷനിംഗ് (5 മെഗാപിക്സലുകൾ)
· ഓൺലൈൻ ഗുണനിലവാര പരിശോധന മൊഡ്യൂൾ

3. പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമേറ്റഡ് പ്രക്രിയ:
· ഓട്ടോമാറ്റിക് ലോഡിംഗ്/അൺലോഡിംഗ് (FOUP സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഇന്റർഫേസ് അനുയോജ്യം)
· ബുദ്ധിപരമായ തരംതിരിക്കൽ സംവിധാനം
· ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് ക്ലീനിംഗ് യൂണിറ്റ് (വൃത്തി: ക്ലാസ് 10)

സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

ഈ ഉപകരണം അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഗണ്യമായ മൂല്യം നൽകുന്നു:

ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡ്	പ്രോസസ്സ് മെറ്റീരിയലുകൾ	സാങ്കേതിക നേട്ടങ്ങൾ
ഐസി നിർമ്മാണം	8/12" സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ	ലിത്തോഗ്രാഫി വിന്യാസം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു
പവർ ഉപകരണങ്ങൾ	SiC/GaN വേഫറുകൾ	അരികുകളിലെ വൈകല്യങ്ങൾ തടയുന്നു
MEMS സെൻസറുകൾ	SOI വേഫറുകൾ	ഉപകരണ വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു
ആർഎഫ് ഉപകരണങ്ങൾ	GaAs വേഫറുകൾ	ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു
വിപുലമായ പാക്കേജിംഗ്	പുനർനിർമ്മിച്ച വേഫറുകൾ	പാക്കേജിംഗ് വിളവ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു

ഫീച്ചറുകൾ

1. ഉയർന്ന പ്രോസസ്സിംഗ് കാര്യക്ഷമതയ്ക്കായി നാല്-സ്റ്റേഷൻ കോൺഫിഗറേഷൻ;
2. സ്ഥിരതയുള്ള TAIKO റിംഗ് ഡീബോണ്ടിംഗും നീക്കംചെയ്യലും;
3. പ്രധാന ഉപഭോഗവസ്തുക്കളുമായി ഉയർന്ന അനുയോജ്യത;
4. മൾട്ടി-ആക്സിസ് സിൻക്രണസ് ട്രിമ്മിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ കൃത്യമായ എഡ്ജ് കട്ടിംഗ് ഉറപ്പാക്കുന്നു;
5. പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമേറ്റഡ് പ്രോസസ്സ് ഫ്ലോ തൊഴിൽ ചെലവ് ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു;
6. ഇഷ്ടാനുസൃത വർക്ക്ടേബിൾ ഡിസൈൻ പ്രത്യേക ഘടനകളുടെ സ്ഥിരതയുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് സാധ്യമാക്കുന്നു;

പ്രവർത്തനങ്ങൾ

1.റിംഗ്-ഡ്രോപ്പ് ഡിറ്റക്ഷൻ സിസ്റ്റം;
2. ഓട്ടോമാറ്റിക് വർക്ക്ടേബിൾ ക്ലീനിംഗ്;
3. ഇന്റലിജന്റ് യുവി ഡീബോണ്ടിംഗ് സിസ്റ്റം;
4. ഓപ്പറേഷൻ ലോഗ് റെക്കോർഡിംഗ്;
5. ഫാക്ടറി ഓട്ടോമേഷൻ മൊഡ്യൂൾ സംയോജനം;

സേവന പ്രതിബദ്ധത

നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പാദന യാത്രയിലുടനീളം ഉപകരണ പ്രകടനവും പ്രവർത്തന കാര്യക്ഷമതയും പരമാവധിയാക്കുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന സമഗ്രവും പൂർണ്ണവുമായ ജീവിതചക്ര പിന്തുണാ സേവനങ്ങൾ XKH നൽകുന്നു.
1. കസ്റ്റമൈസേഷൻ സേവനങ്ങൾ
· പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഉപകരണ കോൺഫിഗറേഷൻ: നിർദ്ദിഷ്ട മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങളും (Si/SiC/GaAs) പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകളും അടിസ്ഥാനമാക്കി സിസ്റ്റം പാരാമീറ്ററുകൾ (കട്ടിംഗ് വേഗത, ബ്ലേഡ് തിരഞ്ഞെടുക്കൽ മുതലായവ) ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് ഞങ്ങളുടെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ടീം ക്ലയന്റുകളുമായി അടുത്ത് സഹകരിക്കുന്നു.
· പ്രോസസ് ഡെവലപ്‌മെന്റ് സപ്പോർട്ട്: എഡ്ജ് റഫ്‌നെസ് മെഷർമെന്റ്, ഡിഫെക്റ്റ് മാപ്പിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെ വിശദമായ വിശകലന റിപ്പോർട്ടുകളുള്ള സാമ്പിൾ പ്രോസസ്സിംഗ് ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
· കൺസ്യൂമബിൾസ് കോ-ഡെവലപ്മെന്റ്: നൂതനമായ മെറ്റീരിയലുകൾക്കായി (ഉദാ. Ga₂O₃), ആപ്ലിക്കേഷൻ-നിർദ്ദിഷ്ട ബ്ലേഡുകൾ/ലേസർ ഒപ്റ്റിക്സ് വികസിപ്പിക്കുന്നതിന് ഞങ്ങൾ മുൻനിര കൺസ്യൂമബിൾ നിർമ്മാതാക്കളുമായി പങ്കാളിത്തത്തിൽ ഏർപ്പെടുന്നു.

2. പ്രൊഫഷണൽ സാങ്കേതിക പിന്തുണ
· സമർപ്പിത ഓൺ-സൈറ്റ് പിന്തുണ: നിർണായകമായ റാമ്പ്-അപ്പ് ഘട്ടങ്ങൾക്കായി (സാധാരണയായി 2-4 ആഴ്ച) സർട്ടിഫൈഡ് എഞ്ചിനീയർമാരെ നിയോഗിക്കുക, ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
ഉപകരണ കാലിബ്രേഷനും പ്രോസസ് ഫൈൻ-ട്യൂണിംഗും
ഓപ്പറേറ്റർ കഴിവു പരിശീലനം
ISO ക്ലാസ് 5 ക്ലീൻറൂം ഇന്റഗ്രേഷൻ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശം
· പ്രവചന പരിപാലനം: ആസൂത്രിതമല്ലാത്ത പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം തടയുന്നതിന് വൈബ്രേഷൻ വിശകലനവും സെർവോ മോട്ടോർ ഡയഗ്നോസ്റ്റിക്സും ഉള്ള ത്രൈമാസ ആരോഗ്യ പരിശോധനകൾ.
· റിമോട്ട് മോണിറ്ററിംഗ്: ഓട്ടോമേറ്റഡ് അനോമലി അലേർട്ടുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ഞങ്ങളുടെ IoT പ്ലാറ്റ്‌ഫോം (JCFront Connect®) വഴി തത്സമയ ഉപകരണ പ്രകടന ട്രാക്കിംഗ്.

3. മൂല്യവർധിത സേവനങ്ങൾ
· പ്രോസസ് നോളജ് ബേസ്: വിവിധ മെറ്റീരിയലുകൾക്കായി 300+ സാധുതയുള്ള കട്ടിംഗ് പാചകക്കുറിപ്പുകൾ ആക്‌സസ് ചെയ്യുക (ത്രൈമാസികമായി അപ്‌ഡേറ്റ് ചെയ്യുന്നു).
· ടെക്നോളജി റോഡ്മാപ്പ് അലൈൻമെന്റ്: ഹാർഡ്‌വെയർ/സോഫ്റ്റ്‌വെയർ അപ്‌ഗ്രേഡ് പാതകൾ (ഉദാ. AI- അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ മൊഡ്യൂൾ) ഉപയോഗിച്ച് നിങ്ങളുടെ നിക്ഷേപം ഭാവിക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുക.
· അടിയന്തര പ്രതികരണം: 4 മണിക്കൂർ വിദൂര രോഗനിർണയവും 48 മണിക്കൂർ ഓൺ-സൈറ്റ് ഇടപെടലും (ആഗോള കവറേജ്) ഉറപ്പ്.

4. സേവന അടിസ്ഥാന സൗകര്യങ്ങൾ
· പ്രകടന ഗ്യാരണ്ടി: SLA- പിന്തുണയുള്ള പ്രതികരണ സമയങ്ങളോടെ ≥98% ഉപകരണ പ്രവർത്തന സമയത്തിനുള്ള കരാർ പ്രതിബദ്ധത.

തുടർച്ചയായ മെച്ചപ്പെടുത്തൽ

ഞങ്ങൾ വർഷത്തിൽ രണ്ടുതവണ ഉപഭോക്തൃ സംതൃപ്തി സർവേകൾ നടത്തുകയും സേവന വിതരണം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി കൈസെൻ സംരംഭങ്ങൾ നടപ്പിലാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ ഗവേഷണ വികസന ടീം ഉപകരണ നവീകരണങ്ങളിലേക്ക് ഫീൽഡ് ഉൾക്കാഴ്ചകൾ വിവർത്തനം ചെയ്യുന്നു - 30% ഫേംവെയർ മെച്ചപ്പെടുത്തലുകളും ക്ലയന്റുകളുടെ ഫീഡ്‌ബാക്കിൽ നിന്നാണ് ഉണ്ടാകുന്നത്.