ഡബിൾ സ്റ്റേഷൻ സ്ക്വയർ മെഷീൻ മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ വടി പ്രോസസ്സിംഗ് 6/8/12 ഇഞ്ച് ഉപരിതല ഫ്ലാറ്റ്നെസ് Ra≤0.5μm
ഉപകരണ സവിശേഷതകൾ:
(1) ഇരട്ട സ്റ്റേഷൻ സിൻക്രണസ് പ്രോസസ്സിംഗ്
· ഇരട്ടി കാര്യക്ഷമത: രണ്ട് സിലിക്കൺ ദണ്ഡുകളുടെ (Ø6"-12") ഒരേസമയം സംസ്കരണം സിംപ്ലക്സ് ഉപകരണങ്ങളെ അപേക്ഷിച്ച് ഉൽപ്പാദനക്ഷമത 40%-60% വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
· സ്വതന്ത്ര നിയന്ത്രണം: വ്യത്യസ്ത സിലിക്കൺ റോഡ് സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിന് ഓരോ സ്റ്റേഷനും കട്ടിംഗ് പാരാമീറ്ററുകൾ (ടെൻഷൻ, ഫീഡ് വേഗത) സ്വതന്ത്രമായി ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.
(2) ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കട്ടിംഗ്
· ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യത: സ്ക്വയർ ബാർ സൈഡ് ഡിസ്റ്റൻസ് ടോളറൻസ് ± 0.15 മിമി, പരിധി ≤ 0.20 മിമി.
· ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം: കട്ടിംഗ് എഡ്ജ് പൊട്ടൽ <0.5mm, തുടർന്നുള്ള പൊടിക്കലിന്റെ അളവ് കുറയ്ക്കുക.
(3) ബുദ്ധിപരമായ നിയന്ത്രണം
· അഡാപ്റ്റീവ് കട്ടിംഗ്: സിലിക്കൺ വടി രൂപഘടനയുടെ തത്സമയ നിരീക്ഷണം, കട്ടിംഗ് പാതയുടെ ചലനാത്മക ക്രമീകരണം (ബെന്റ് സിലിക്കൺ വടി പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നത് പോലുള്ളവ).
· ഡാറ്റ ട്രെയ്സിബിലിറ്റി: MES സിസ്റ്റം ഡോക്കിംഗിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനായി ഓരോ സിലിക്കൺ വടിയുടെയും പ്രോസസ്സിംഗ് പാരാമീറ്ററുകൾ രേഖപ്പെടുത്തുക.
(4) കുറഞ്ഞ ഉപഭോഗ ചെലവ്
· ഡയമണ്ട് വയർ ഉപഭോഗം: ≤0.06m/mm (സിലിക്കൺ വടി നീളം), വയർ വ്യാസം ≤0.30mm.
· കൂളന്റ് രക്തചംക്രമണം: ഫിൽട്രേഷൻ സംവിധാനം സേവന ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും മാലിന്യ ദ്രാവക നിർമാർജനം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും വികസനത്തിന്റെയും ഗുണങ്ങൾ:
(1) കട്ടിംഗ് ടെക്നോളജി ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ
- മൾട്ടി-ലൈൻ കട്ടിംഗ്: 100-200 ഡയമണ്ട് ലൈനുകൾ സമാന്തരമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ കട്ടിംഗ് വേഗത ≥40mm/min ആണ്.
- ടെൻഷൻ നിയന്ത്രണം: വയർ പൊട്ടാനുള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നതിന് ക്ലോസ്ഡ് ലൂപ്പ് അഡ്ജസ്റ്റ്മെന്റ് സിസ്റ്റം (±1N).
(2) അനുയോജ്യതാ വിപുലീകരണം
- മെറ്റീരിയൽ അഡാപ്റ്റേഷൻ: TOPCon, HJT, മറ്റ് ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയുള്ള ബാറ്ററി സിലിക്കൺ റോഡുകൾ എന്നിവയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന P-ടൈപ്പ്/N-ടൈപ്പ് മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കണിനെ പിന്തുണയ്ക്കുക.
- വഴക്കമുള്ള വലുപ്പം: സിലിക്കൺ വടി നീളം 100-950 മിമി, ചതുര വടി വശ ദൂരം 166-233 മിമി ക്രമീകരിക്കാവുന്ന.
(3) ഓട്ടോമേഷൻ അപ്ഗ്രേഡ്
- റോബോട്ട് ലോഡിംഗും അൺലോഡിംഗും: സിലിക്കൺ കമ്പികളുടെ ഓട്ടോമാറ്റിക് ലോഡിംഗ്/അൺലോഡിംഗ്, ≤3 മിനിറ്റിൽ താഴെ.
- ഇന്റലിജന്റ് ഡയഗ്നോസ്റ്റിക്സ്: ആസൂത്രിതമല്ലാത്ത പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുന്നതിനുള്ള പ്രവചനാത്മക അറ്റകുറ്റപ്പണി.
(4) വ്യവസായ നേതൃത്വം
- വേഫർ സപ്പോർട്ട്: ചതുരാകൃതിയിലുള്ള ദണ്ഡുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ≥100μm അൾട്രാ-നേർത്ത സിലിക്കൺ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, ഫ്രാഗ്മെന്റേഷൻ നിരക്ക് <0.5%.
- ഊർജ്ജ ഉപഭോഗ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ: സിലിക്കൺ വടിയുടെ ഒരു യൂണിറ്റിന് ഊർജ്ജ ഉപഭോഗം 30% കുറയുന്നു (പരമ്പരാഗത ഉപകരണങ്ങളുമായി താരതമ്യം ചെയ്യുമ്പോൾ).
സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ:
പാരാമീറ്ററിന്റെ പേര് | സൂചിക മൂല്യം |
പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ബാറുകളുടെ എണ്ണം | 2 കഷണങ്ങൾ/സെറ്റ് |
പ്രോസസ്സിംഗ് ബാർ ദൈർഘ്യ പരിധി | 100~950മി.മീ |
മെഷീനിംഗ് മാർജിൻ പരിധി | 166~233 മിമി |
കട്ടിംഗ് വേഗത | ≥40 മിമി/മിനിറ്റ് |
ഡയമണ്ട് വയർ വേഗത | 0~35 മി/സെ |
വജ്ര വ്യാസം | 0.30 മില്ലിമീറ്റർ അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കുറവ് |
ലീനിയർ ഉപഭോഗം | 0.06 മീ/മില്ലീമീറ്റർ അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കുറവ് |
അനുയോജ്യമായ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള വടി വ്യാസം | പൂർത്തിയായ ചതുര വടി വ്യാസം +2mm, പോളിഷിംഗ് പാസ് നിരക്ക് ഉറപ്പാക്കുക. |
കട്ടിംഗ് എഡ്ജ് പൊട്ടൽ നിയന്ത്രണം | അസംസ്കൃത അറ്റം ≤0.5mm, ചിപ്പിംഗ് ഇല്ല, ഉയർന്ന ഉപരിതല നിലവാരം |
ആർക്ക് നീളത്തിന്റെ ഏകത | പ്രൊജക്ഷൻ പരിധി <1.5mm, സിലിക്കൺ വടി വികലമാക്കൽ ഒഴികെ |
മെഷീൻ അളവുകൾ (സിംഗിൾ മെഷീൻ) | 4800×3020×3660 മിമി |
ആകെ റേറ്റുചെയ്ത പവർ | 56kW (ഉപഭോക്താവ്) |
ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർജീവ ഭാരം | 12t. |
മെഷീനിംഗ് കൃത്യത സൂചിക പട്ടിക:
കൃത്യതയുള്ള ഇനം | ടോളറൻസ് പരിധി |
ചതുര ബാർ മാർജിൻ ടോളറൻസ് | ±0.15 മിമി |
ചതുര ബാർ എഡ്ജ് ശ്രേണി | ≤0.20 മിമി |
ചതുര ദണ്ഡിന്റെ എല്ലാ വശങ്ങളിലുമുള്ള കോൺ | 90°±0.05° |
ചതുര വടിയുടെ പരന്നത | ≤0.15 മിമി |
റോബോട്ട് ആവർത്തിച്ചുള്ള സ്ഥാനനിർണ്ണയ കൃത്യത | ±0.05 മിമി |
XKH ന്റെ സേവനങ്ങൾ:
മോണോ-ക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ ഡ്യുവൽ-സ്റ്റേഷൻ മെഷീനുകൾക്കായി XKH പൂർണ്ണ-സൈക്കിൾ സേവനങ്ങൾ നൽകുന്നു, അതിൽ ഉപകരണ കസ്റ്റമൈസേഷൻ (വലിയ സിലിക്കൺ വടികളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു), പ്രോസസ് കമ്മീഷനിംഗ് (കട്ടിംഗ് പാരാമീറ്റർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ), പ്രവർത്തന പരിശീലനവും വിൽപ്പനാനന്തര പിന്തുണയും (പ്രധാന ഭാഗങ്ങളുടെ വിതരണം, വിദൂര രോഗനിർണയം), ഉപഭോക്താക്കൾ ഉയർന്ന വിളവ് (> 99%), കുറഞ്ഞ ഉപഭോഗ ചെലവ് ഉൽപ്പാദനം എന്നിവ നേടുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, കൂടാതെ സാങ്കേതിക അപ്ഗ്രേഡുകൾ നൽകുന്നു (AI കട്ടിംഗ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ പോലുള്ളവ). ഡെലിവറി കാലയളവ് 2-4 മാസമാണ്.
വിശദമായ ഡയഗ്രം



