ഡയ300x1.0mmt കനം സഫയർ വേഫർ സി-പ്ലെയിൻ SSP/DSP
വേഫർ ബോക്സിന്റെ ആമുഖം
ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999% Al2O3, ഉയർന്ന ശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ, Al2O3 | |||
ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരം | ഇൻക്ലൂഷനുകൾ, ബ്ലോക്ക് മാർക്കുകൾ, ഇരട്ടകൾ, നിറം, മൈക്രോ-ബബിളുകൾ, ഡിസ്പേഴ്സൽ സെന്ററുകൾ എന്നിവ നിലവിലില്ല. | |||
വ്യാസം | 2 ഇഞ്ച് | 3 ഇഞ്ച് | 4 ഇഞ്ച് | 6 ഇഞ്ച് ~ 12 ഇഞ്ച് |
50.8± 0.1മിമി | 76.2±0.2മിമി | 100±0.3മിമി | സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഉൽപ്പാദന വ്യവസ്ഥകൾ അനുസരിച്ച് | |
കനം | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | ഉപഭോക്താവിന് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാൻ കഴിയും |
ഓറിയന്റേഷൻ | സി- തലം (0001) മുതൽ എം-തലം (1-100) അല്ലെങ്കിൽ എ-തലം (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, ആർ-തലം (1-1 0 2), എ-തലം (1 1-2 0 ), എം-തലം (1-1 0 0), ഏതെങ്കിലും ഓറിയന്റേഷൻ, ഏതെങ്കിലും കോൺ | |||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം | 16.0±1മിമി | 22.0±1.0മിമി | 32.5±1.5 മി.മീ | സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഉൽപ്പാദന വ്യവസ്ഥകൾ അനുസരിച്ച് |
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | എ-തലം (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
ടിടിവി | ≤10µമീറ്റർ | ≤15µമീറ്റർ | ≤20µമീറ്റർ | ≤30µമീറ്റർ |
എൽടിവി | ≤10µമീറ്റർ | ≤15µമീറ്റർ | ≤20µമീറ്റർ | ≤30µമീറ്റർ |
ടി.ഐ.ആർ. | ≤10µമീറ്റർ | ≤15µമീറ്റർ | ≤20µമീറ്റർ | ≤30µമീറ്റർ |
വില്ലു | ≤10µമീറ്റർ | ≤15µമീറ്റർ | ≤20µമീറ്റർ | ≤30µമീറ്റർ |
വാർപ്പ് | ≤10µമീറ്റർ | ≤15µമീറ്റർ | ≤20µമീറ്റർ | ≤30µമീറ്റർ |
മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ്ഡ് (Ra< 0.2nm) |
*വില്ല്: റഫറൻസ് തലത്തിൽ നിന്ന് സ്വതന്ത്രവും ഉറപ്പില്ലാത്തതുമായ വേഫറിന്റെ മീഡിയൻ പ്രതലത്തിന്റെ മധ്യബിന്ദുവിന്റെ വ്യതിയാനം, ഇവിടെ റഫറൻസ് തലം ഒരു സമഭുജ ത്രികോണത്തിന്റെ മൂന്ന് കോണുകളാൽ നിർവചിക്കപ്പെടുന്നു.
*വാർപ്പ്: മുകളിൽ നിർവചിച്ചിരിക്കുന്ന റഫറൻസ് തലത്തിൽ നിന്ന് ഒരു സ്വതന്ത്ര, അൺ-ക്ലാമ്പ്ഡ് വേഫറിന്റെ മീഡിയൻ പ്രതലത്തിന്റെ പരമാവധി, കുറഞ്ഞ ദൂരങ്ങൾ തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം.
അടുത്ത തലമുറ സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾക്കും എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്കും വേണ്ടിയുള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങളും സേവനങ്ങളും:
ഉയർന്ന അളവിലുള്ള പരന്നത (നിയന്ത്രിത ടിടിവി, ബോ, വാർപ്പ് മുതലായവ)
ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വൃത്തിയാക്കൽ (കുറഞ്ഞ കണിക മലിനീകരണം, കുറഞ്ഞ ലോഹ മലിനീകരണം)
അടിവസ്ത്രം തുരക്കൽ, ഗ്രൂവിംഗ്, കട്ടിംഗ്, ബാക്ക്സൈഡ് പോളിഷിംഗ്
അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ വൃത്തി, ആകൃതി തുടങ്ങിയ ഡാറ്റയുടെ അറ്റാച്ച്മെന്റ് (ഓപ്ഷണൽ)
നിങ്ങൾക്ക് നീലക്കല്ലിന്റെ അടിവസ്ത്രങ്ങൾ ആവശ്യമുണ്ടെങ്കിൽ, ദയവായി ബന്ധപ്പെടാൻ മടിക്കേണ്ട:
മെയിൽ:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ഞങ്ങൾ എത്രയും വേഗം നിങ്ങളിലേക്ക് മടങ്ങിവരും!
വിശദമായ ഡയഗ്രം

