ഒപ്റ്റിക്കൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷനുകൾക്കായി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ SiC സീഡ് ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ ഡയ 205/203/208 4H-N തരം
സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വിത്ത് വേഫർ | |
പോളിടൈപ്പ് | 4H |
ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ പിശക് | 4° നേരെ<11-20>±0.5º |
പ്രതിരോധശേഷി | ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ |
വ്യാസം | 205±0.5 മിമി |
കനം | 600±50μm |
പരുക്കൻത | CMP,Ra≤0.2nm |
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | ≤1 ഈഎ/സെ.മീ2 |
പോറലുകൾ | ≤5, ആകെ നീളം≤2*വ്യാസം |
എഡ്ജ് ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡന്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല |
ഫ്രണ്ട് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | ഒന്നുമില്ല |
പോറലുകൾ | ≤2, ആകെ നീളം≤വ്യാസം |
എഡ്ജ് ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡന്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല |
പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല |
ബാക്ക് ലേസർ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | 1 മിമി (മുകളിലെ അരികിൽ നിന്ന്) |
എഡ്ജ് | ചാംഫർ |
പാക്കേജിംഗ് | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് |
പ്രധാന സവിശേഷതകൾ
1. ക്രിസ്റ്റൽ ഘടനയും വൈദ്യുത പ്രകടനവും
· ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് സ്ഥിരത: 100% 4H-SiC പോളിടൈപ്പ് ആധിപത്യം, മൾട്ടിക്രിസ്റ്റലിൻ ഇൻക്ലൂഷനുകൾ പൂജ്യം (ഉദാ. 6H/15R), XRD റോക്കിംഗ് കർവ് പൂർണ്ണ വീതിയിൽ പകുതി പരമാവധി (FWHM) ≤32.7 ആർക്ക്സെക്കൻഡ്.
· ഉയർന്ന കാരിയർ മൊബിലിറ്റി: 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) എന്ന ഇലക്ട്രോൺ മൊബിലിറ്റിയും 380 cm²/V·s എന്ന ഹോൾ മൊബിലിറ്റിയും, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഉപകരണ ഡിസൈനുകൾ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
·റേഡിയേഷൻ കാഠിന്യം: 1 MeV ന്യൂട്രോൺ വികിരണത്തെ 1×10¹⁵ n/cm² എന്ന സ്ഥാനചലന നാശനഷ്ട പരിധിയോടെ ചെറുക്കുന്നു, ബഹിരാകാശ, ആണവ പ്രയോഗങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യം.
2. താപ, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ
· അസാധാരണമായ താപ ചാലകത: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), സിലിക്കണിനേക്കാൾ മൂന്നിരട്ടി, 200°C ന് മുകളിലുള്ള പ്രവർത്തനത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
· കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) യുടെ CTE, സിലിക്കൺ അധിഷ്ഠിത പാക്കേജിംഗുമായി അനുയോജ്യത ഉറപ്പാക്കുകയും താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
3. വൈകല്യ നിയന്ത്രണവും പ്രോസസ്സിംഗ് കൃത്യതയും
· മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത: <0.3 സെ.മീ⁻² (8-ഇഞ്ച് വേഫറുകൾ), ഡിസ്ലോക്കേഷൻ സാന്ദ്രത <1,000 സെ.മീ⁻² (KOH എച്ചിംഗ് വഴി പരിശോധിച്ചു).
· ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം: CMP-പോളിഷ് ചെയ്ത Ra <0.2 nm, EUV ലിത്തോഗ്രാഫി-ഗ്രേഡ് ഫ്ലാറ്റ്നസ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു.
പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
ഡൊമെയ്ൻ | ആപ്ലിക്കേഷൻ സാഹചര്യങ്ങൾ | സാങ്കേതിക നേട്ടങ്ങൾ |
ഒപ്റ്റിക്കൽ കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ് | 100G/400G ലേസറുകൾ, സിലിക്കൺ ഫോട്ടോണിക്സ് ഹൈബ്രിഡ് മൊഡ്യൂളുകൾ | ഇൻപി സീഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ നേരിട്ടുള്ള ബാൻഡ്ഗ്യാപ്പും (1.34 eV) Si-അധിഷ്ഠിത ഹെറ്ററോഎപിറ്റാക്സിയും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, ഇത് ഒപ്റ്റിക്കൽ കപ്ലിംഗ് നഷ്ടം കുറയ്ക്കുന്നു. |
പുതിയ ഊർജ്ജ വാഹനങ്ങൾ | 800V ഹൈ-വോൾട്ടേജ് ഇൻവെർട്ടറുകൾ, ഓൺബോർഡ് ചാർജറുകൾ (OBC) | 4H-SiC സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ 1,200 V-ൽ കൂടുതൽ തടുങ്ങും, ഇത് ചാലക നഷ്ടം 50% ഉം സിസ്റ്റം വോളിയം 40% ഉം കുറയ്ക്കുന്നു. |
5 ജി ആശയവിനിമയങ്ങൾ | മില്ലിമീറ്റർ-വേവ് RF ഉപകരണങ്ങൾ (PA/LNA), ബേസ് സ്റ്റേഷൻ പവർ ആംപ്ലിഫയറുകൾ | സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് SiC സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ (റെസിസ്റ്റിവിറ്റി >10⁵ Ω·cm) ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി (60 GHz+) പാസീവ് ഇന്റഗ്രേഷൻ സാധ്യമാക്കുന്നു. |
വ്യാവസായിക ഉപകരണങ്ങൾ | ഉയർന്ന താപനില സെൻസറുകൾ, കറന്റ് ട്രാൻസ്ഫോർമറുകൾ, ന്യൂക്ലിയർ റിയാക്ടർ മോണിറ്ററുകൾ | InSb വിത്ത് അടിവസ്ത്രങ്ങൾ (0.17 eV ബാൻഡ്ഗാപ്പ്) 10 T ൽ 300% വരെ കാന്തിക സംവേദനക്ഷമത നൽകുന്നു. |
പ്രധാന നേട്ടങ്ങൾ
SiC (സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്) വിത്ത് ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ 4.9 W/cm·K താപ ചാലകത, 2–4 MV/cm ബ്രേക്ക്ഡൗൺ ഫീൽഡ് ശക്തി, 3.2 eV വൈഡ് ബാൻഡ്ഗ്യാപ്പ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് സമാനതകളില്ലാത്ത പ്രകടനം നൽകുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന പവർ, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി, ഉയർന്ന താപനില ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. സീറോ മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രതയും <1,000 cm⁻² ഡിസ്ലോക്കേഷൻ സാന്ദ്രതയും ഉള്ള ഈ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ അങ്ങേയറ്റത്തെ സാഹചര്യങ്ങളിൽ വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു. അവയുടെ രാസ നിഷ്ക്രിയത്വവും CVD-അനുയോജ്യമായ പ്രതലങ്ങളും (Ra <0.2 nm) ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സിനും EV പവർ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കും വിപുലമായ ഹെറ്ററോഎപിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയെ (ഉദാഹരണത്തിന്, SiC-on-Si) പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
എക്സ്.കെ.എച്ച് സേവനങ്ങൾ:
1. ഇഷ്ടാനുസൃത ഉൽപ്പാദനം
· ഫ്ലെക്സിബിൾ വേഫർ ഫോർമാറ്റുകൾ: വൃത്താകൃതിയിലുള്ളതോ, ദീർഘചതുരാകൃതിയിലുള്ളതോ, അല്ലെങ്കിൽ ഇഷ്ടാനുസൃത ആകൃതിയിലുള്ളതോ ആയ മുറിവുകളുള്ള 2–12 ഇഞ്ച് വേഫറുകൾ (±0.01 മിമി ടോളറൻസ്).
· ഡോപ്പിംഗ് നിയന്ത്രണം: CVD വഴി കൃത്യമായ നൈട്രജൻ (N) ഉം അലൂമിനിയം (Al) ഉം ഡോപ്പിംഗ്, 10⁻³ മുതൽ 10⁶ Ω·cm വരെയുള്ള പ്രതിരോധശേഷി കൈവരിക്കുന്നു.
2. അഡ്വാൻസ്ഡ് പ്രോസസ് ടെക്നോളജികൾ(
· ഹെറ്ററോഎപിറ്റാക്സി: SiC-on-Si (8-ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ ലൈനുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു) കൂടാതെ SiC-on-Diamond (താപ ചാലകത >2,000 W/m·K).
· വൈകല്യ ലഘൂകരണം: മൈക്രോപൈപ്പ്/സാന്ദ്രത വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഹൈഡ്രജൻ എച്ചിംഗും അനീലിംഗും, വേഫർ വിളവ് >95% ആയി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
3. ഗുണനിലവാര മാനേജ്മെന്റ് സിസ്റ്റങ്ങൾ(
· എൻഡ്-ടു-എൻഡ് പരിശോധന: രാമൻ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി (പോളിടൈപ്പ് വെരിഫിക്കേഷൻ), എക്സ്ആർഡി (ക്രിസ്റ്റലിനിറ്റി), എസ്ഇഎം (ഡിഫെക്റ്റ് അനാലിസിസ്).
· സർട്ടിഫിക്കേഷനുകൾ: AEC-Q101 (ഓട്ടോമോട്ടീവ്), JEDEC (JEDEC-033), MIL-PRF-38534 (മിലിട്ടറി-ഗ്രേഡ്) എന്നിവയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
4. ആഗോള വിതരണ ശൃംഖല പിന്തുണ(
· ഉൽപാദന ശേഷി: പ്രതിമാസ ഔട്ട്പുട്ട്> 10,000 വേഫറുകൾ (60% 8-ഇഞ്ച്), 48 മണിക്കൂർ അടിയന്തര ഡെലിവറി.
· ലോജിസ്റ്റിക്സ് നെറ്റ്വർക്ക്: താപനില നിയന്ത്രിത പാക്കേജിംഗോടുകൂടിയ വായു/കടൽ ചരക്ക് വഴി യൂറോപ്പ്, വടക്കേ അമേരിക്ക, ഏഷ്യ-പസഫിക് എന്നിവിടങ്ങളിൽ കവറേജ്.
5. സാങ്കേതിക സഹകരണ വികസനം(
· സംയുക്ത ഗവേഷണ വികസന ലാബുകൾ: SiC പവർ മൊഡ്യൂൾ പാക്കേജിംഗ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷനിൽ (ഉദാ: DBC സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഇന്റഗ്രേഷൻ) സഹകരിക്കുക.
· ഐപി ലൈസൻസിംഗ്: ക്ലയന്റ് ആർ&ഡി ചെലവുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന് GaN-on-SiC RF എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഗ്രോത്ത് ടെക്നോളജി ലൈസൻസിംഗ് നൽകുക.
സംഗ്രഹം
ഒരു തന്ത്രപരമായ വസ്തുവെന്ന നിലയിൽ SiC (സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്) സീഡ് ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ, ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച, വൈകല്യ നിയന്ത്രണം, വൈവിധ്യമാർന്ന സംയോജനം എന്നിവയിലെ മുന്നേറ്റങ്ങളിലൂടെ ആഗോള വ്യാവസായിക ശൃംഖലകളെ പുനർനിർമ്മിക്കുന്നു. വേഫർ വൈകല്യ കുറയ്ക്കൽ, 8 ഇഞ്ച് ഉൽപാദനം സ്കെയിൽ ചെയ്യൽ, ഹെറ്ററോഎപിറ്റാക്സിയൽ പ്ലാറ്റ്ഫോമുകൾ വികസിപ്പിക്കൽ (ഉദാഹരണത്തിന്, SiC-on-Diamond) എന്നിവ തുടർച്ചയായി മുന്നോട്ട് കൊണ്ടുപോകുന്നതിലൂടെ, XKH ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, പുതിയ ഊർജ്ജം, നൂതന ഉൽപാദനം എന്നിവയ്ക്കായി ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയും ചെലവ് കുറഞ്ഞതുമായ പരിഹാരങ്ങൾ നൽകുന്നു. നവീകരണത്തോടുള്ള ഞങ്ങളുടെ പ്രതിബദ്ധത, ക്ലയന്റുകളെ കാർബൺ ന്യൂട്രാലിറ്റിയിലും ഇന്റലിജന്റ് സിസ്റ്റങ്ങളിലും നയിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് വൈഡ്-ബാൻഡ്ഗ്യാപ്പ് സെമികണ്ടക്ടർ ആവാസവ്യവസ്ഥയുടെ അടുത്ത യുഗത്തിലേക്ക് നയിക്കുന്നു.


