8 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ വേഫർ പി/എൻ-ടൈപ്പ് (100) 1-100Ω ഡമ്മി റീക്ലെയിം സബ്സ്ട്രേറ്റ്
വേഫർ ബോക്സിൻ്റെ ആമുഖം
8 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ വേഫർ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന സിലിക്കൺ സബ്സ്ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലാണ്, ഇത് ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. മൈക്രോപ്രൊസസ്സറുകൾ, മെമ്മറി ചിപ്പുകൾ, സെൻസറുകൾ, മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ വിവിധ തരം ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ ഇത്തരം സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. 8 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ താരതമ്യേന വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കാൻ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഒരു വലിയ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണവും ഒരു സിലിക്കൺ വേഫറിൽ കൂടുതൽ ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കാനുള്ള കഴിവും ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഗുണങ്ങളുണ്ട്, ഇത് ഉൽപ്പാദനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിലേക്ക് നയിക്കുന്നു. 8 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ വേഫറിന് നല്ല മെക്കാനിക്കൽ, കെമിക്കൽ ഗുണങ്ങളുണ്ട്, ഇത് വലിയ തോതിലുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഉൽപാദനത്തിന് അനുയോജ്യമാണ്.
ഉൽപ്പന്ന സവിശേഷതകൾ
8" പി/എൻ തരം, പോളിഷ് ചെയ്ത സിലിക്കൺ വേഫർ (25 പീസുകൾ)
ഓറിയൻ്റേഷൻ: 200
പ്രതിരോധശേഷി: 0.1 - 40 ohm•cm (ഇത് ബാച്ച് മുതൽ ബാച്ച് വരെ വ്യത്യാസപ്പെടാം)
കനം: 725+/-20um
പ്രൈം/മോണിറ്റർ/ടെസ്റ്റ് ഗ്രേഡ്
മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ
പരാമീറ്റർ | സ്വഭാവം |
തരം/ഡോപൻ്റ് | പി, ബോറോൺ എൻ, ഫോസ്ഫറസ് എൻ, ആൻ്റിമണി എൻ, ആർസെനിക് |
ഓറിയൻ്റേഷനുകൾ | <100>, <111> ഉപഭോക്താവിൻ്റെ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾക്കനുസരിച്ചുള്ള ഓറിയൻ്റേഷനുകൾ സ്ലൈസ് ഓഫ് ചെയ്യുക |
ഓക്സിജൻ ഉള്ളടക്കം | 1019ഉപഭോക്താവിൻ്റെ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ അനുസരിച്ച് ppmA കസ്റ്റം ടോളറൻസുകൾ |
കാർബൺ ഉള്ളടക്കം | < 0.6 ppmA |
മെക്കാനിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ
പരാമീറ്റർ | പ്രൈം | മോണിറ്റർ/ടെസ്റ്റ് എ | ടെസ്റ്റ് |
വ്യാസം | 200 ± 0.2 മിമി | 200 ± 0.2 മിമി | 200 ± 0.5 മി.മീ |
കനം | 725±20µm (സാധാരണ) | 725±25µm(സ്റ്റാൻഡേർഡ്) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725± 50µm (സ്റ്റാൻഡേർഡ്) |
ടി.ടി.വി | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
വില്ല് | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
പൊതിയുക | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
എഡ്ജ് റൗണ്ടിംഗ് | സെമി-എസ്.ടി.ഡി | ||
അടയാളപ്പെടുത്തുന്നു | പ്രാഥമിക സെമി-ഫ്ലാറ്റ് മാത്രം, സെമി-എസ്ടിഡി ഫ്ലാറ്റുകൾ ജെയ്ഡ ഫ്ലാറ്റ്, നോച്ച് |
പരാമീറ്റർ | പ്രൈം | മോണിറ്റർ/ടെസ്റ്റ് എ | ടെസ്റ്റ് |
ഫ്രണ്ട് സൈഡ് മാനദണ്ഡം | |||
ഉപരിതല അവസ്ഥ | കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷ് ചെയ്തു | കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷ് ചെയ്തു | കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷ് ചെയ്തു |
ഉപരിതല പരുക്കൻ | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
മലിനീകരണം കണികകൾ@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
മൂടൽമഞ്ഞ്, കുഴികൾ ഓറഞ്ച് തൊലി | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
കണ്ടു, മാർക്ക് സ്ത്രികൾ | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
ബാക്ക് സൈഡ് മാനദണ്ഡം | |||
വിള്ളലുകൾ, കാക്കപാദങ്ങൾ, കണ്ട പാടുകൾ, പാടുകൾ | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
ഉപരിതല അവസ്ഥ | കാസ്റ്റിക് കൊത്തുപണി |