8 ഇഞ്ച് SiC പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് വേഫർ 4H-N SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

പവർ മോസ്ഫെറ്റുകൾ (മെറ്റൽ ഓക്സൈഡ് അർദ്ധചാലക ഫീൽഡ് ഇഫക്റ്റ് ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ), ഷോട്ട്കി ഡയോഡുകൾ, മറ്റ് പവർ അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവ പോലുള്ള ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളിൽ 8 ഇഞ്ച് SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

ഇനിപ്പറയുന്ന പട്ടിക ഞങ്ങളുടെ 8 ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകളുടെ സവിശേഷതകൾ കാണിക്കുന്നു:

8 ഇഞ്ച് N-ടൈപ്പ് SiC DSP സവിശേഷതകൾ
നമ്പർ	ഇനം	യൂണിറ്റ്	ഉത്പാദനം	ഗവേഷണം	ഡമ്മി
1:പാരാമീറ്ററുകൾ
1.1	പോളിടൈപ്പ്	--	4H	4H	4H
1.2	ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:ഇലക്‌ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്റർ
2.1	ഡോപൻ്റ്	--	n-തരം നൈട്രജൻ	n-തരം നൈട്രജൻ	n-തരം നൈട്രജൻ
2.2	പ്രതിരോധശേഷി	ഓം · സെ.മീ	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: മെക്കാനിക്കൽ പാരാമീറ്റർ
3.1	വ്യാസം	mm	200± 0.2	200± 0.2	200± 0.2
3.2	കനം	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	നോച്ച് ഓറിയൻ്റേഷൻ	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	നോച്ച് ഡെപ്ത്	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	എൽ.ടി.വി	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	ടി.ടി.വി	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	വില്ല്	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	വാർപ്പ്	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: ഘടന
4.1	മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	ലോഹ ഉള്ളടക്കം	ആറ്റങ്ങൾ/സെ.മീ2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	ടി.എസ്.ഡി	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	ബിപിഡി	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.ഫ്രണ്ട് നിലവാരം
5.1	മുന്നിൽ	--	Si	Si	Si
5.2	ഉപരിതല ഫിനിഷ്	--	സി-ഫേസ് സിഎംപി	സി-ഫേസ് സിഎംപി	സി-ഫേസ് സിഎംപി
5.3	കണിക	ഇഎ/വേഫർ	≤100(വലിപ്പം≥0.3μm)	NA	NA
5.4	സ്ക്രാച്ച്	ഇഎ/വേഫർ	≤5, ആകെ നീളം≤200mm	NA	NA
5.5	എഡ്ജ് ചിപ്‌സ്/ഇൻഡൻ്റുകൾ/വിള്ളലുകൾ/പാടുകൾ/മലിനീകരണം	--	ഒന്നുമില്ല	ഒന്നുമില്ല	NA
5.6	പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ	--	ഒന്നുമില്ല	ഏരിയ ≤10%	ഏരിയ ≤30%
5.7	ഫ്രണ്ട് അടയാളപ്പെടുത്തൽ	--	ഒന്നുമില്ല	ഒന്നുമില്ല	ഒന്നുമില്ല
6: ബാക്ക് ക്വാളിറ്റി
6.1	ബാക്ക് ഫിനിഷ്	--	സി-ഫേസ് എം.പി	സി-ഫേസ് എം.പി	സി-ഫേസ് എം.പി
6.2	സ്ക്രാച്ച്	mm	NA	NA	NA
6.3	പിന്നിലെ വൈകല്യങ്ങളുടെ അറ്റം ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡൻ്റുകൾ	--	ഒന്നുമില്ല	ഒന്നുമില്ല	NA
6.4	പുറം പരുക്കൻ	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	പിന്നിലേക്ക് അടയാളപ്പെടുത്തൽ	--	നോച്ച്	നോച്ച്	നോച്ച്
7:എഡ്ജ്
7.1	എഡ്ജ്	--	ചാംഫർ	ചാംഫർ	ചാംഫർ
8:പാക്കേജ്
8.1	പാക്കേജിംഗ്	--	വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ്	വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ്	വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ്
8.2	പാക്കേജിംഗ്	--	മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ്	മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ്	മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ്