8 ഇഞ്ച് SiC പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് വേഫർ 4H-N SiC സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്
ഞങ്ങളുടെ 8 ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകളുടെ സവിശേഷതകൾ താഴെയുള്ള പട്ടിക കാണിക്കുന്നു:
| 8 ഇഞ്ച് N-ടൈപ്പ് SiC DSP സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ | |||||
| നമ്പർ | ഇനം | യൂണിറ്റ് | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണം | ഡമ്മി |
| 1: പാരാമീറ്ററുകൾ | |||||
| 1.1 വർഗ്ഗീകരണം | പോളിടൈപ്പ് | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 വർഗ്ഗീകരണം | ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: ഇലക്ട്രിക്കൽ പാരാമീറ്റർ | |||||
| 2.1 ഡെവലപ്പർ | ഡോപന്റ് | -- | n-തരം നൈട്രജൻ | n-തരം നൈട്രജൻ | n-തരം നൈട്രജൻ |
| 2.2.2 വർഗ്ഗീകരണം | പ്രതിരോധശേഷി | ഓം ·സെ.മീ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: മെക്കാനിക്കൽ പാരാമീറ്റർ | |||||
| 3.1. 3.1. | വ്യാസം | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | കനം | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3. | നോച്ച് ഓറിയന്റേഷൻ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 अंगिर प्रकिति � | നോച്ച് ഡെപ്ത് | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | എൽടിവി | μm | ≤5(10മിമി*10മിമി) | ≤5(10മിമി*10മിമി) | ≤10(10 മിമി*10 മിമി) |
| 3.6. 3.6. | ടിടിവി | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7. 3.7. | വില്ല് | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 अंगिर समान | വാർപ്പ് | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9. उप्रकालिक समा | എ.എഫ്.എം. | nm | റാ≤0.2 | റാ≤0.2 | റാ≤0.2 |
| 4: ഘടന | |||||
| 4.1 വർഗ്ഗീകരണം | മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | ഇഎ/സെ.മീ2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 വർഗ്ഗീകരണം | ലോഹ ഉള്ളടക്കം | ആറ്റങ്ങൾ/സെ.മീ2 | ≤1E1 | ≤1E1 | NA |
| 4.3 വർഗ്ഗീകരണം | ടി.എസ്.ഡി. | ഇഎ/സെ.മീ2 | ≤500 ഡോളർ | ≤1000 ഡോളർ | NA |
| 4.4 വർഗ്ഗം | ബിപിഡി | ഇഎ/സെ.മീ2 | ≤2000 ഡോളർ | ≤5000 ഡോളർ | NA |
| 4.5 प्रकाली प्रकाल� | ടെഡ് | ഇഎ/സെ.മീ2 | ≤7000 ഡോളർ | ≤10000 ≤10000 | NA |
| 5. മുൻവശത്തെ ഗുണനിലവാരം | |||||
| 5.1 अनुक्षित | മുൻവശം | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 अनुक्षित | ഉപരിതല ഫിനിഷ് | -- | സൈ-ഫേസ് സിഎംപി | സൈ-ഫേസ് സിഎംപി | സൈ-ഫേസ് സിഎംപി |
| 5.3 വർഗ്ഗീകരണം | കണിക | ഇഎ/വേഫർ | ≤100(വലുപ്പം≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 വർഗ്ഗീകരണം | സ്ക്രാച്ച് | ഇഎ/വേഫർ | ≤5, ആകെ നീളം ≤200 മിമി | NA | NA |
| 5.5 വർഗ്ഗം: | എഡ്ജ് ചിപ്സ്/ഇൻഡന്റുകൾ/വിള്ളലുകൾ/കറകൾ/മലിനീകരണം | -- | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | NA |
| 5.6 अंगिर के समान | പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | -- | ഒന്നുമില്ല | വിസ്തീർണ്ണം ≤10% | വിസ്തീർണ്ണം ≤30% |
| 5.7 समान | മുൻവശത്തെ അടയാളപ്പെടുത്തൽ | -- | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
| 6: പിന്നിലെ നിലവാരം | |||||
| 6.1 വർഗ്ഗീകരണം | ബാക്ക് ഫിനിഷ് | -- | സി-ഫേസ് എംപി | സി-ഫേസ് എംപി | സി-ഫേസ് എംപി |
| 6.2 വർഗ്ഗീകരണം | സ്ക്രാച്ച് | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 വർഗ്ഗീകരണം | പിന്നിലെ വൈകല്യങ്ങളുടെ അരികുകൾ ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡന്റുകൾ | -- | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | NA |
| 6.4 വർഗ്ഗീകരണം | പുറംഭാഗത്തിന്റെ പരുക്കൻത | nm | റാ≤5 | റാ≤5 | റാ≤5 |
| 6.5 വർഗ്ഗം: | ബാക്ക് മാർക്കിംഗ് | -- | നോച്ച് | നോച്ച് | നോച്ച് |
| 7:എഡ്ജ് | |||||
| 7.1 വർഗ്ഗം: | എഡ്ജ് | -- | ചാംഫർ | ചാംഫർ | ചാംഫർ |
| 8: പാക്കേജ് | |||||
| 8.1 വർഗ്ഗീകരണം | പാക്കേജിംഗ് | -- | വാക്വം ക്ലീനർ ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ് | വാക്വം ക്ലീനർ ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ് | വാക്വം ക്ലീനർ ഉപയോഗിച്ച് എപ്പി-റെഡി പാക്കേജിംഗ് |
| 8.2 വർഗ്ഗീകരണം | പാക്കേജിംഗ് | -- | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗ് |
വിശദമായ ഡയഗ്രം
നിങ്ങളുടെ സന്ദേശം ഇവിടെ എഴുതി ഞങ്ങൾക്ക് അയക്കുക.