8 ഇഞ്ച് 200mm സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് SiC വേഫറുകൾ 4H-N ടൈപ്പ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് 500um കനം

വലിപ്പം: 8 ഇഞ്ച്;

വ്യാസം: 200mm ± 0.2;

കനം: 500um±25;

ഉപരിതല ഓറിയൻ്റേഷൻ: 4 നേരെ [11-20] ± 0.5°;

നോച്ച് ഓറിയൻ്റേഷൻ:[1-100]±1°;

നോച്ച് ഡെപ്ത്: 1±0.25mm;

മൈക്രോപൈപ്പ്: <1cm2;

ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ: ഒന്നും അനുവദനീയമല്ല;

പ്രതിരോധശേഷി: 0.015~0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD:<1000cm2

SF: ഏരിയ<1%

TTV≤15um;

വാർപ്പ്≤40um;

വില്ലു≤25um

പോളി ഏരിയകൾ: ≤5%;

സ്ക്രാച്ച്: <5, ക്യുമുലേറ്റീവ് ദൈർഘ്യം< 1 വേഫർ വ്യാസം;

ചിപ്പുകൾ/ഇൻഡൻ്റുകൾ: D>0.5mm വീതിയും ആഴവും ഒന്നും അനുവദിക്കുന്നില്ല;

വിള്ളലുകൾ: ഒന്നുമില്ല;

കറ: ഒന്നുമില്ല

വേഫർ എഡ്ജ്: ചേംഫർ;

ഉപരിതല ഫിനിഷ്: ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ്, Si ഫേസ് CMP;

പാക്കിംഗ്: മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ സിംഗിൾ വേഫർ കണ്ടെയ്നർ;

200mm 4H-SiC പരലുകൾ മെയിൻ തയ്യാറാക്കുന്നതിലെ നിലവിലെ ബുദ്ധിമുട്ടുകൾ

1) ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള 200mm 4H-SiC വിത്ത് പരലുകൾ തയ്യാറാക്കൽ;

2) വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള താപനില ഫീൽഡ് നോൺ-യൂണിഫോം, ന്യൂക്ലിയേഷൻ പ്രക്രിയ നിയന്ത്രണം;

3) വലിയ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചാ സംവിധാനങ്ങളിലെ വാതക ഘടകങ്ങളുടെ ഗതാഗത കാര്യക്ഷമതയും പരിണാമവും;

4) ക്രിസ്റ്റൽ ക്രാക്കിംഗും വൈകല്യങ്ങളുടെ വ്യാപനവും വലിയ അളവിലുള്ള താപ സമ്മർദ്ദം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

ഈ വെല്ലുവിളികളെ തരണം ചെയ്യുന്നതിനും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള 200mm SiC വേഫർ സൊല്യൂഷനുകൾ നേടുന്നതിനും നിർദ്ദേശിക്കുന്നു:

200 എംഎം വിത്ത് പരലുകൾ തയ്യാറാക്കൽ, ഉചിതമായ താപനില ഫീൽഡ് ഫ്ലോ ഫീൽഡ്, വികസിക്കുന്ന അസംബ്ലി എന്നിവ പഠിക്കുകയും ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരവും വികസിക്കുന്ന വലുപ്പവും എടുക്കാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്യുകയും ചെയ്തു; 150mm SiC se:d ക്രിസ്റ്റലിൽ തുടങ്ങി, 200mm എത്തുന്നതുവരെ SiC ക്രിസ്റ്റസൈസ് ക്രമേണ വികസിപ്പിക്കാൻ സീഡ് ക്രിസ്റ്റൽ ആവർത്തനം നടത്തുക; ഒന്നിലധികം ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയും പ്രോസസ്സിംഗും വഴി, ക്രിസ്റ്റൽ വികസിക്കുന്ന സ്ഥലത്ത് ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരം ക്രമേണ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുക, കൂടാതെ 200 എംഎം വിത്ത് പരലുകളുടെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുക.

200 എംഎം കണ്ടക്റ്റീവ് ക്രിസ്റ്റൽ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് തയ്യാറാക്കൽ എന്നിവയുടെ കാര്യത്തിൽ, ഗവേഷണം വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള ക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത്, 200 എംഎം ചാലക SiC ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച, ഡോപ്പിംഗ് ഏകീകൃത നിയന്ത്രണം എന്നിവയ്ക്കായി ടെമ്പറേച്ചർ ഫെൽഡ്, ഫ്ലോ ഫീൽഡ് ഡിസൈൻ എന്നിവ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്തിട്ടുണ്ട്. ക്രിസ്റ്റലിൻ്റെ പരുക്കൻ സംസ്കരണത്തിനും രൂപീകരണത്തിനും ശേഷം, ഒരു സാധാരണ വ്യാസമുള്ള 8-ഇഞ്ചെക്ട്രിക്കലി ചാലകമായ 4H-SiC ഇൻഗോട്ട് ലഭിച്ചു. 525um അല്ലെങ്കിൽ അതിൽ കൂടുതലോ കട്ടിയുള്ള SiC 200mm വേഫറുകൾ ലഭിക്കുന്നതിന് മുറിക്കുക, പൊടിക്കുക, മിനുക്കുക, പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുക