6 ഇഞ്ച് ഗാൻ-ഓൺ-സാഫയർ
സിലിക്കൺ/സഫയർ/SiC എപ്പി-ലെയർ വേഫറിൽ 150mm 6 ഇഞ്ച് GaN ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ
6 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ അടിവസ്ത്രത്തിൽ വളർത്തിയ ഗാലിയം നൈട്രൈഡിന്റെ (GaN) പാളികൾ അടങ്ങിയ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള അർദ്ധചാലക വസ്തുവാണ് ഈ 6 ഇഞ്ച് നീലക്കല്ലിന്റെ അടിവസ്ത്ര വേഫർ. മികച്ച ഇലക്ട്രോണിക് ഗതാഗത ഗുണങ്ങളുള്ള ഈ മെറ്റീരിയലിന് ഉയർന്ന പവർ, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാൻ അനുയോജ്യമാണ്.
നിർമ്മാണ രീതി: ലോഹ-ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (MOCVD) അല്ലെങ്കിൽ മോളിക്യുലാർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി (MBE) പോലുള്ള നൂതന സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ച് ഒരു നീലക്കല്ലിന്റെ അടിവസ്ത്രത്തിൽ GaN പാളികൾ വളർത്തുന്നതാണ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ. ഉയർന്ന ക്രിസ്റ്റൽ ഗുണനിലവാരവും ഏകീകൃത ഫിലിമും ഉറപ്പാക്കാൻ നിയന്ത്രിത സാഹചര്യങ്ങളിലാണ് നിക്ഷേപ പ്രക്രിയ നടത്തുന്നത്.
6 ഇഞ്ച് GaN-ഓൺ-സഫയർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ: മൈക്രോവേവ് കമ്മ്യൂണിക്കേഷൻസ്, റഡാർ സിസ്റ്റങ്ങൾ, വയർലെസ് സാങ്കേതികവിദ്യ, ഒപ്‌റ്റോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ് എന്നിവയിൽ 6 ഇഞ്ച് സഫയർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ചിപ്പുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ചില സാധാരണ ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
1. ആർഎഫ് പവർ ആംപ്ലിഫയർ
2. എൽഇഡി ലൈറ്റിംഗ് വ്യവസായം
3. വയർലെസ് നെറ്റ്‌വർക്ക് ആശയവിനിമയ ഉപകരണങ്ങൾ
4. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിലെ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ
5. ഒപ്റ്റോ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ
ഉൽപ്പന്ന വിവരണം
- വലിപ്പം: അടിവസ്ത്ര വ്യാസം 6 ഇഞ്ച് (ഏകദേശം 150 മില്ലിമീറ്റർ) ആണ്.
- ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം: മികച്ച കണ്ണാടി ഗുണനിലവാരം നൽകുന്നതിനായി ഉപരിതലം നന്നായി മിനുക്കിയിരിക്കുന്നു.
- കനം: പ്രത്യേക ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് GaN പാളിയുടെ കനം ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാവുന്നതാണ്.
- പാക്കേജിംഗ്: ഗതാഗത സമയത്ത് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കാതിരിക്കാൻ അടിവസ്ത്രം ആന്റി-സ്റ്റാറ്റിക് വസ്തുക്കൾ കൊണ്ട് ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം പായ്ക്ക് ചെയ്തിരിക്കുന്നു.
- പൊസിഷനിംഗ് അരികുകൾ: ഉപകരണം തയ്യാറാക്കുന്ന സമയത്ത് വിന്യാസവും പ്രവർത്തനവും സുഗമമാക്കുന്ന പ്രത്യേക പൊസിഷനിംഗ് അരികുകൾ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിലുണ്ട്.
- മറ്റ് പാരാമീറ്ററുകൾ: കനംകുറഞ്ഞത്, പ്രതിരോധശേഷി, ഡോപ്പിംഗ് സാന്ദ്രത തുടങ്ങിയ നിർദ്ദിഷ്ട പാരാമീറ്ററുകൾ ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും.
മികച്ച മെറ്റീരിയൽ ഗുണങ്ങളും വൈവിധ്യമാർന്ന ആപ്ലിക്കേഷനുകളും ഉള്ളതിനാൽ, വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിൽ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് 6 ഇഞ്ച് സഫയർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് വേഫറുകൾ വിശ്വസനീയമായ ഒരു തിരഞ്ഞെടുപ്പാണ്.
| അടിവസ്ത്രം | 6” 1mm <111> p-തരം Si | 6” 1mm <111> p-തരം Si |
| എപ്പി തിക്ക്ആവജി | ~5ഉം | ~7ഉം |
| എപ്പി തിക്ക്യൂണിഫ് | <2% | <2% |
| വില്ല് | +/- 45 ഗ്രാം | +/- 45 ഗ്രാം |
| ക്രാക്കിംഗ് | <5മി.മീ | <5മി.മീ |
| വെർട്ടിക്കൽ ബി.വി. | >1000 വി | >1400 വി |
| എച്ച്ഇഎംടി അൽ% | 25-35% | 25-35% |
| HEMT കട്ടിയുള്ള ശരാശരി | 20-30 നാനോമീറ്റർ | 20-30 നാനോമീറ്റർ |
| ഇൻസിറ്റു സിഎൻ ക്യാപ് | 5-60nm | 5-60nm |
| 2ഡിഗ്രി കോൺ. | ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~13cm-2 | ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~13cm-2 |
| മൊബിലിറ്റി | ~2000 സെ.മീ2/Vs (<2%) | ~2000 സെ.മീ2/Vs (<2%) |
| ആർഎസ്എച്ച് | <330ഓം/ചതുരശ്ര q (<2%) | <330ഓം/ചതുരശ്ര q (<2%) |
വിശദമായ ഡയഗ്രം
