MOS അല്ലെങ്കിൽ SBD പ്രൊഡക്ഷൻ റിസർച്ചിനും ഡമ്മി ഗ്രേഡിനുമുള്ള 6 ഇഞ്ച് 150mm സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് SiC വേഫറുകൾ 4H-N തരം
ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകൾ
6 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഒന്നിലധികം വ്യവസായങ്ങളിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഒന്നാമതായി, പവർ ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ, ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ, പവർ മൊഡ്യൂളുകൾ തുടങ്ങിയ ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിനായി അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇതിൻ്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധവും മികച്ച താപ വിസർജ്ജനം സാധ്യമാക്കുന്നു, ഇത് മെച്ചപ്പെട്ട കാര്യക്ഷമതയും വിശ്വാസ്യതയും നൽകുന്നു. രണ്ടാമതായി, പുതിയ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും ഉപകരണങ്ങളുടെയും വികസനത്തിന് ഗവേഷണ മേഖലകളിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫറുകൾ അത്യാവശ്യമാണ്. കൂടാതെ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ എൽഇഡികളുടെയും ലേസർ ഡയോഡുകളുടെയും നിർമ്മാണം ഉൾപ്പെടെ ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ് മേഖലയിൽ വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ കണ്ടെത്തുന്നു.
ഉൽപ്പന്ന സവിശേഷതകൾ
6 ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റിന് 6 ഇഞ്ച് (ഏകദേശം 152.4 മില്ലിമീറ്റർ) വ്യാസമുണ്ട്. ഉപരിതല പരുഷത Ra <0.5 nm ആണ്, കനം 600 ± 25 μm ആണ്. ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി എൻ-ടൈപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ പി-ടൈപ്പ് ചാലകത ഉപയോഗിച്ച് സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാനാകും. മാത്രമല്ല, ഇത് അസാധാരണമായ മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, സമ്മർദ്ദവും വൈബ്രേഷനും നേരിടാൻ കഴിവുള്ളതാണ്.
വ്യാസം | 150±2.0mm (6 ഇഞ്ച്) | ||||
കനം | 350 μm±25μm | ||||
ഓറിയൻ്റേഷൻ | അക്ഷത്തിൽ: <0001>±0.5° | ഓഫ് ആക്സിസ്: 4.0° ലേക്ക് 1120±0.5° | |||
പോളിടൈപ്പ് | 4H | ||||
പ്രതിരോധശേഷി(Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ | {10-10}±5.0° | ||||
പ്രാഥമിക പരന്ന നീളം (മില്ലീമീറ്റർ) | 47.5 mm± 2.5 mm | ||||
എഡ്ജ് | ചാംഫർ | ||||
ടിടിവി/ബോ / വാർപ്പ് (ഉം) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM ഫ്രണ്ട് (Si-face) | പോളിഷ് Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
എൽ.ടി.വി | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
ടി.ടി.വി | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
ഓറഞ്ച് തൊലി / കുഴികൾ / വിള്ളലുകൾ / മലിനീകരണം / പാടുകൾ / വരകൾ | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ||
ഇൻഡൻ്റുകൾ | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല | ഒന്നുമില്ല |
6-ഇഞ്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് അർദ്ധചാലകം, ഗവേഷണം, ആൻഡ് ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള മെറ്റീരിയലാണ്. ഇത് മികച്ച താപ ചാലകത, മെക്കാനിക്കൽ സ്ഥിരത, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിനും പുതിയ മെറ്റീരിയൽ ഗവേഷണത്തിനും ഇത് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. വൈവിധ്യമാർന്ന ഉപഭോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ഞങ്ങൾ വിവിധ സവിശേഷതകളും ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ ഓപ്ഷനുകളും നൽകുന്നു.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫറുകളെക്കുറിച്ചുള്ള കൂടുതൽ വിവരങ്ങൾക്ക് ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക!