MOS അല്ലെങ്കിൽ SBD-യ്‌ക്കുള്ള 4 ഇഞ്ച് SiC Epi വേഫർ

MOS അല്ലെങ്കിൽ SBD ഫീച്ചർ ചെയ്ത ചിത്രത്തിനായി 4 ഇഞ്ച് SiC Epi വേഫർ

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ച, വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ്, വേഫർ ഫാബ്രിക്കേഷൻ, പോളിഷിംഗ്, ക്ലീനിംഗ്, ടെസ്റ്റിംഗ് എന്നിവയെ സമന്വയിപ്പിക്കുന്ന ഒരു സമ്പൂർണ്ണ SiC (സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്) വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈൻ SiCC ന് ഉണ്ട്. നിലവിൽ, 5x5mm2, 10x10mm2, 2″, 3″, 4″, 6″ വലുപ്പങ്ങളുള്ള അക്ഷീയ അല്ലെങ്കിൽ ഓഫ്-ആക്സിസ് സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ്, സെമി-കണ്ടക്റ്റീവ് 4H, 6H SiC വേഫറുകൾ, ക്രിസ്റ്റൽ സീഡ് പ്രോസസ്സിംഗ് ഭേദിച്ച്, നമുക്ക് നൽകാൻ കഴിയും. വേഗത്തിലുള്ള വളർച്ചയും മറ്റുള്ളവയും അത് പ്രധാന സാങ്കേതിക വിദ്യകളെ തകർത്തു വൈകല്യങ്ങൾ അടിച്ചമർത്തൽ, ക്രിസ്റ്റൽ വിത്ത് സംസ്കരണം, വേഗത്തിലുള്ള വളർച്ച എന്നിവ പോലെ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സി, ഉപകരണങ്ങൾ, മറ്റ് അനുബന്ധ അടിസ്ഥാന ഗവേഷണങ്ങൾ എന്നിവയുടെ അടിസ്ഥാന ഗവേഷണവും വികസനവും പ്രോത്സാഹിപ്പിച്ചു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഒരു പാളിയുടെ വളർച്ചയെ എപ്പിറ്റാക്സി സൂചിപ്പിക്കുന്നു. അവയിൽ, ഒരു സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഗാലിയം നൈട്രൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെ വളർച്ചയെ ഹെറ്ററോജെനിയസ് എപ്പിറ്റാക്സി എന്ന് വിളിക്കുന്നു; ഒരു ചാലക സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിവസ്ത്രത്തിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയുടെ വളർച്ചയെ ഹോമോജീനിയസ് എപ്പിറ്റാക്സി എന്ന് വിളിക്കുന്നു.

പ്രധാന ഫങ്ഷണൽ ലെയറിൻ്റെ വളർച്ചയുടെ ഉപകരണ ഡിസൈൻ ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമായാണ് എപിറ്റാക്സിയൽ, ചിപ്പിൻ്റെയും ഉപകരണത്തിൻ്റെയും പ്രകടനം പ്രധാനമായും നിർണ്ണയിക്കുന്നത്, 23% വില. ഈ ഘട്ടത്തിൽ SiC നേർത്ത ഫിലിം എപ്പിറ്റാക്സിയുടെ പ്രധാന രീതികളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു: കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD), മോളിക്യുലർ ബീം എപ്പിറ്റാക്സി (MBE), ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപ്പിറ്റാക്സി (LPE), പൾസ്ഡ് ലേസർ ഡിപ്പോസിഷൻ ആൻഡ് സബ്ലിമേഷൻ (PLD).

മുഴുവൻ വ്യവസായത്തിലെയും വളരെ നിർണായകമായ ഒരു ലിങ്കാണ് എപ്പിറ്റാക്സി. സെമി-ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളിൽ GaN എപ്പിടാക്‌സിയൽ പാളികൾ വളർത്തുന്നതിലൂടെ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള GaN എപ്പിടാക്‌സിയൽ വേഫറുകൾ നിർമ്മിക്കപ്പെടുന്നു, അവ ഉയർന്ന ഇലക്‌ട്രോൺ മൊബിലിറ്റി ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ (HEMT) പോലുള്ള GaN RF ഉപകരണങ്ങളാക്കി മാറ്റാം;

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫർ ലഭിക്കുന്നതിന് ചാലക അടിവസ്ത്രത്തിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി വളർത്തുന്നതിലൂടെയും ഷോട്ട്കി ഡയോഡുകൾ, ഗോൾഡ്-ഓക്സിജൻ ഹാഫ്-ഫീൽഡ് ഇഫക്റ്റ് ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ, ഇൻസുലേറ്റഡ് ഗേറ്റ് ബൈപോളാർ ട്രാൻസിസ്റ്ററുകൾ, മറ്റ് പവർ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളിയിലും. ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തിലെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വ്യവസായത്തിൻ്റെ വികസനത്തിൽ വളരെ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, ഇത് വളരെ നിർണായകമാണ് പങ്ക്.