4H/6H-P 6 ഇഞ്ച് SiC വേഫർ സീറോ MPD ഗ്രേഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് ഡമ്മി ഗ്രേഡ്
4H/6H-P തരം SiC കോമ്പോസിറ്റ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പൊതു പാരാമീറ്റർ പട്ടിക
6 ഇഞ്ച് വ്യാസമുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
| ഗ്രേഡ് | സീറോ എംപിഡി പ്രൊഡക്ഷൻഗ്രേഡ് (Z ഗ്രേഡ്) | സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻഗ്രേഡ് (പി ഗ്രേഡ്) | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് (D ഗ്രേഡ്) | ||
| വ്യാസം | 145.5 മിമി~150.0 മിമി | ||||
| കനം | 350 μm ± 25 μm | ||||
| വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ | -Offഅച്ചുതണ്ട്: 4H/6H-P ന് 2.0°-4.0° നേരെ [1120] ± 0.5°, അച്ചുതണ്ടിൽ: 3C-N ന് 〈111〉± 0.5° | ||||
| മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | 0 സെ.മീ-2 | ||||
| പ്രതിരോധശേഷി | പി-ടൈപ്പ് 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏസെ.മീ | ≤0.3 Ωꞏസെ.മീ | ||
| n-ടൈപ്പ് 3C-N | ≤0.8 mΩꞏസെ.മീ | ≤1 മീ Ωꞏസെ.മീ | |||
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | 4 എച്ച്/6 എച്ച്-പി | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3സി-എൻ | -{110} ± 5.0° | ||||
| പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 32.5 മിമി ± 2.0 മിമി | ||||
| സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 18.0 മിമി ± 2.0 മിമി | ||||
| സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | സിലിക്കൺ ഫെയ്‌സ് അപ്പ്: 90° CW. പ്രൈം ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് ± 5.0° | ||||
| എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ | 3 മി.മീ. | 6 മി.മീ. | |||
| എൽ‌ടി‌വി/ടി‌ടി‌വി/ബോ /വാർപ്പ് | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| പരുക്കൻത | പോളിഷ് Ra≤1 nm | ||||
| സിഎംപി Ra≤0.2 നാനോമീറ്റർ | റാ≤0.5 നാനോമീറ്റർ | ||||
| ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള വെളിച്ചം മൂലം അരികുകളിലെ വിള്ളലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത നീളം ≤ 10 മി.മീ, ഒറ്റ നീളം ≤ 2 മി.മീ. | |||
| ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.05% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.1% | |||
| ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം≤3% | |||
| വിഷ്വൽ കാർബൺ ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤0.05% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤3% | |||
| ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം മൂലം സിലിക്കൺ ഉപരിതല പോറലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത നീളം≤1×വേഫർ വ്യാസം | |||
| എഡ്ജ് ചിപ്‌സ് ഹൈ ബൈ ഇന്റൻസിറ്റി ലൈറ്റ് | അനുവദനീയമായത് ≥0.2mm വീതിയും ആഴവും | 5 അനുവദനീയം, ≤1 മില്ലീമീറ്റർ വീതം | |||
| ഉയർന്ന തീവ്രത മൂലമുള്ള സിലിക്കൺ ഉപരിതല മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല | ||||
| പാക്കേജിംഗ് | മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ സിംഗിൾ വേഫർ കണ്ടെയ്നർ | ||||
കുറിപ്പുകൾ:
※ അരികുകൾ ഒഴിവാക്കുന്ന ഭാഗം ഒഴികെ, വേഫറിന്റെ മുഴുവൻ പ്രതലത്തിനും വൈകല്യ പരിധി ബാധകമാണ്. # Si മുഖത്ത് പോറലുകൾ പരിശോധിക്കണം.
സീറോ എംപിഡി ഗ്രേഡും പ്രൊഡക്ഷൻ അല്ലെങ്കിൽ ഡമ്മി ഗ്രേഡും ഉള്ള 4H/6H-P ടൈപ്പ് 6-ഇഞ്ച് SiC വേഫർ നൂതന ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇതിന്റെ മികച്ച താപ ചാലകത, ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൌൺ വോൾട്ടേജ്, കഠിനമായ പരിതസ്ഥിതികളോടുള്ള പ്രതിരോധം എന്നിവ ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് സ്വിച്ചുകൾ, ഇൻവെർട്ടറുകൾ എന്നിവ പോലുള്ള പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. സീറോ എംപിഡി ഗ്രേഡ് കുറഞ്ഞ വൈകല്യങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്. പ്രകടനവും കൃത്യതയും നിർണായകമായ പവർ ഉപകരണങ്ങളുടെയും RF ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെയും വലിയ തോതിലുള്ള നിർമ്മാണത്തിൽ പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. മറുവശത്ത്, ഡമ്മി-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് കാലിബ്രേഷൻ, ഉപകരണ പരിശോധന, പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ് എന്നിവയ്ക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന പരിതസ്ഥിതികളിൽ സ്ഥിരമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം സാധ്യമാക്കുന്നു.
N-തരം SiC കമ്പോസിറ്റ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുടെ ഗുണങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
- ഉയർന്ന താപ ചാലകത: 4H/6H-P SiC വേഫർ കാര്യക്ഷമമായി താപം പുറന്തള്ളുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയിലും ഉയർന്ന പവറിലുമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
- ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൗൺ വോൾട്ടേജ്: ഉയർന്ന വോൾട്ടേജുകൾ പരാജയപ്പെടാതെ കൈകാര്യം ചെയ്യാനുള്ള ഇതിന്റെ കഴിവ് ഇതിനെ പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിനും ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് സ്വിച്ചിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
- സീറോ എംപിഡി (മൈക്രോ പൈപ്പ് ഡിഫെക്റ്റ്) ഗ്രേഡ്: കുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രത ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കുന്നു, ആവശ്യക്കാരുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.
- വൻതോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദനത്തിനുള്ള പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ്: കർശനമായ ഗുണനിലവാര മാനദണ്ഡങ്ങളുള്ള ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ വലിയ തോതിലുള്ള ഉൽ‌പാദനത്തിന് അനുയോജ്യം.
- പരിശോധനയ്ക്കും കാലിബ്രേഷനുമുള്ള ഡമ്മി-ഗ്രേഡ്: ഉയർന്ന വിലയുള്ള പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ ഉപയോഗിക്കാതെ പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ, ഉപകരണ പരിശോധന, പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ് എന്നിവ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
മൊത്തത്തിൽ, സീറോ എംപിഡി ഗ്രേഡ്, പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ്, ഡമ്മി ഗ്രേഡ് എന്നിവയുള്ള 4H/6H-P 6-ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകൾ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് ഗണ്യമായ നേട്ടങ്ങൾ നൽകുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള പ്രവർത്തനം, ഉയർന്ന പവർ ഡെൻസിറ്റി, കാര്യക്ഷമമായ പവർ കൺവേർഷൻ എന്നിവ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഈ വേഫറുകൾ പ്രത്യേകിച്ചും പ്രയോജനകരമാണ്. വിശ്വസനീയവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ ഉപകരണ പ്രകടനത്തിന് സീറോ എംപിഡി ഗ്രേഡ് കുറഞ്ഞ വൈകല്യങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു, അതേസമയം പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണങ്ങളോടെ വലിയ തോതിലുള്ള നിർമ്മാണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. ഡമ്മി-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും ഉപകരണ കാലിബ്രേഷനും ചെലവ് കുറഞ്ഞ പരിഹാരം നൽകുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് അവ അനിവാര്യമാക്കുന്നു.
വിശദമായ ഡയഗ്രം
