4H/6H-P 6 ഇഞ്ച് SiC വേഫർ സീറോ MPD ഗ്രേഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ് ഡമ്മി ഗ്രേഡ്

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു അർദ്ധചാലക വസ്തുവാണ് 4H/6H-P ടൈപ്പ് 6-ഇഞ്ച് SiC വേഫർ, മികച്ച താപ ചാലകത, ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൌൺ വോൾട്ടേജ്, ഉയർന്ന താപനിലയ്ക്കും നാശത്തിനുമുള്ള പ്രതിരോധം എന്നിവയ്ക്ക് പേരുകേട്ടതാണ്. പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡും സീറോ എംപിഡി (മൈക്രോ പൈപ്പ് ഡിഫെക്റ്റ്) ഗ്രേഡും ഉയർന്ന പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിൽ അതിൻ്റെ വിശ്വാസ്യതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു. പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണത്തോടെ വലിയ തോതിലുള്ള ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിനായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ഡമ്മി-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ പ്രാഥമികമായി പ്രോസസ്സ് ഡീബഗ്ഗിംഗിനും ഉപകരണ പരിശോധനയ്ക്കും ഉപയോഗിക്കുന്നു. SiC-യുടെ മികച്ച ഗുണങ്ങൾ പവർ ഉപകരണങ്ങളും RF ഉപകരണങ്ങളും പോലുള്ള ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ്, ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളിൽ ഇത് വ്യാപകമായി പ്രയോഗിക്കുന്നു.

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

4H/6H-P തരം SiC കോമ്പോസിറ്റ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ സാധാരണ പാരാമീറ്റർ പട്ടിക

6 ഇഞ്ച് വ്യാസമുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് സ്പെസിഫിക്കേഷൻ

ഗ്രേഡ്			സീറോ MPD പ്രൊഡക്ഷൻഗ്രേഡ് (Z ഗ്രേഡ്)	സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻഗ്രേഡ് (പി ഗ്രേഡ്)	ഡമ്മി ഗ്രേഡ് (D ഗ്രേഡ്)
വ്യാസം			145.5 mm~150.0 mm
കനം			350 μm ± 25 μm
വേഫർ ഓറിയൻ്റേഷൻ			-Offഅക്ഷം: 2.0°-4.0° നേരെ [1120] ± 0.5° 4H/6H-P, അക്ഷത്തിൽ:〈111〉± 0.5° 3C-N
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത			0 സെ.മീ-2
പ്രതിരോധശേഷി	p-type 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	n-തരം 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 മീറ്റർ Ωꞏcm
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം			32.5 mm ± 2.0 mm
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് നീളം			18.0 mm ± 2.0 mm
സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയൻ്റേഷൻ			സിലിക്കൺ മുഖം മുകളിലേക്ക്: 90° CW. പ്രൈം ഫ്ലാറ്റിൽ നിന്ന് ± 5.0°
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ			3 മി.മീ		6 മി.മീ
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
പരുഷത			പോളിഷ് Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം കൊണ്ട് എഡ്ജ് വിള്ളലുകൾ			ഒന്നുമില്ല		ക്യുമുലേറ്റീവ് ദൈർഘ്യം ≤ 10 mm, ഒറ്റ നീളം≤2 mm
ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം ഉപയോഗിച്ച് ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ			ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.05%		ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.1%
ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം ഉപയോഗിച്ച് പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ			ഒന്നുമില്ല		ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ≤3%
വിഷ്വൽ കാർബൺ ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ			ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤0.05%		ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤3%
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ സിലിക്കൺ ഉപരിതല പോറലുകൾ			ഒന്നുമില്ല		ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം≤1×വേഫർ വ്യാസം
എഡ്ജ് ചിപ്സ് തീവ്രത വെളിച്ചം കൊണ്ട് ഉയർന്നത്			≥0.2mm വീതിയും ആഴവും ഒന്നും അനുവദനീയമല്ല		5 അനുവദനീയമാണ്, ≤1 മില്ലിമീറ്റർ വീതം
ഉയർന്ന തീവ്രതയാൽ സിലിക്കൺ ഉപരിതല മലിനീകരണം			ഒന്നുമില്ല
പാക്കേജിംഗ്			മൾട്ടി-വേഫർ കാസറ്റ് അല്ലെങ്കിൽ സിംഗിൾ വേഫർ കണ്ടെയ്നർ

കുറിപ്പുകൾ:

※ എഡ്ജ് എക്‌സ്‌ക്ലൂഷൻ ഏരിയ ഒഴികെ മുഴുവൻ വേഫർ ഉപരിതലത്തിനും വൈകല്യ പരിധികൾ ബാധകമാണ്. # പോറലുകൾ Si ഫേസ് ഒയിൽ പരിശോധിക്കണം

സീറോ MPD ഗ്രേഡും പ്രൊഡക്ഷൻ അല്ലെങ്കിൽ ഡമ്മി ഗ്രേഡും ഉള്ള 4H/6H-P ടൈപ്പ് 6-ഇഞ്ച് SiC വേഫർ വിപുലമായ ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. അതിൻ്റെ മികച്ച താപ ചാലകത, ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൌൺ വോൾട്ടേജ്, കഠിനമായ ചുറ്റുപാടുകളോടുള്ള പ്രതിരോധം എന്നിവ ഹൈ-വോൾട്ടേജ് സ്വിച്ചുകൾ, ഇൻവെർട്ടറുകൾ എന്നിവ പോലെയുള്ള പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിന് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. സീറോ MPD ഗ്രേഡ് കുറഞ്ഞ വൈകല്യങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്ക് നിർണായകമാണ്. പവർ ഉപകരണങ്ങളുടെയും RF ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെയും വൻതോതിലുള്ള നിർമ്മാണത്തിൽ പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അവിടെ പ്രകടനവും കൃത്യതയും നിർണായകമാണ്. മറുവശത്ത്, ഡമ്മി-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് കാലിബ്രേഷൻ, ഉപകരണ പരിശോധന, പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ് എന്നിവയ്ക്കായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക ഉൽപ്പാദന പരിതസ്ഥിതികളിൽ സ്ഥിരമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം സാധ്യമാക്കുന്നു.

എൻ-ടൈപ്പ് SiC കോമ്പോസിറ്റ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുടെ ഗുണങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു

ഉയർന്ന താപ ചാലകത: 4H/6H-P SiC വേഫർ താപത്തെ കാര്യക്ഷമമായി പുറന്തള്ളുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ്, ഉയർന്ന പവർ ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
ഉയർന്ന ബ്രേക്ക്ഡൗൺ വോൾട്ടേജ്: ഉയർന്ന വോൾട്ടേജുകൾ പരാജയപ്പെടാതെ കൈകാര്യം ചെയ്യാനുള്ള അതിൻ്റെ കഴിവ് പവർ ഇലക്ട്രോണിക്സിനും ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് സ്വിച്ചിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
സീറോ എംപിഡി (മൈക്രോ പൈപ്പ് ഡിഫെക്റ്റ്) ഗ്രേഡ്: കുറഞ്ഞ വൈകല്യ സാന്ദ്രത ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ ആവശ്യപ്പെടുന്നതിന് നിർണായകമാണ്.
വൻതോതിലുള്ള നിർമ്മാണത്തിനുള്ള ഉൽപ്പാദന-ഗ്രേഡ്: കർശനമായ ഗുണനിലവാര മാനദണ്ഡങ്ങളുള്ള ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങളുടെ വലിയ തോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദനത്തിന് അനുയോജ്യം.
ടെസ്റ്റിംഗിനും കാലിബ്രേഷനുമുള്ള ഡമ്മി-ഗ്രേഡ്: ഉയർന്ന വിലയുള്ള പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ ഉപയോഗിക്കാതെ പ്രോസസ്സ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ, ഉപകരണ പരിശോധന, പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ് എന്നിവ പ്രവർത്തനക്ഷമമാക്കുന്നു.

മൊത്തത്തിൽ, സീറോ MPD ഗ്രേഡ്, പ്രൊഡക്ഷൻ ഗ്രേഡ്, ഡമ്മി ഗ്രേഡ് എന്നിവയുള്ള 4H/6H-P 6-ഇഞ്ച് SiC വേഫറുകൾ ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ വികസനത്തിന് കാര്യമായ നേട്ടങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ് പ്രവർത്തനം, ഉയർന്ന ഊർജ്ജ സാന്ദ്രത, കാര്യക്ഷമമായ ഊർജ്ജ പരിവർത്തനം എന്നിവ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഈ വേഫറുകൾ പ്രത്യേകിച്ചും പ്രയോജനകരമാണ്. സീറോ എംപിഡി ഗ്രേഡ് വിശ്വസനീയവും സുസ്ഥിരവുമായ ഉപകരണ പ്രകടനത്തിന് കുറഞ്ഞ വൈകല്യങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു, അതേസമയം പ്രൊഡക്ഷൻ-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ കർശനമായ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണങ്ങളോടെ വലിയ തോതിലുള്ള നിർമ്മാണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും ഉപകരണങ്ങളുടെ കാലിബ്രേഷനും ഡമ്മി-ഗ്രേഡ് വേഫറുകൾ ചെലവ് കുറഞ്ഞ പരിഹാരം നൽകുന്നു, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് അവയെ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാക്കുന്നു.