4H-N/6H-N SiC വേഫർ റീസർച്ച് പ്രൊഡക്ഷൻ ഡമ്മി ഗ്രേഡ് Dia150mm സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റ്
6 ഇഞ്ച് വ്യാസമുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സബ്സ്ട്രേറ്റ് സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
ഗ്രേഡ് | സീറോ എംപിഡി | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് |
വ്യാസം | 150.0mm ± 0.25mm | |||
കനം | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
വേഫർ ഓറിയൻ്റേഷൻ | അച്ചുതണ്ടിൽ :<0001>±0.5° 4H-SI | |||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് | {10-10}±5.0° | |||
പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് നീളം | 47.5mm ± 2.5mm | |||
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ | 3 മി.മീ | |||
ടിടിവി/ബോ/വാർപ്പ് | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
റെസിസ്റ്റിവിറ്റി 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!സെ.മീ | |||
≥1E5Ω!സെ.മീ | ||||
പരുഷത | പോളിഷ് Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള വെളിച്ചത്തിൽ വിള്ളലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | 1 അനുവദനീയമായ ,≤2mm | ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം ≤10mm, ഒറ്റ നീളം≤2mm | |
*ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤1% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤ 2% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤ 5% | |
*ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം കൊണ്ട് പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ | ഒന്നുമില്ല | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤ 2% | ക്യുമുലേറ്റീവ് ഏരിയ ≤ 5% | |
*&ഉയർന്ന തീവ്രത പ്രകാശം കൊണ്ട് പോറലുകൾ | 3 പോറലുകൾ മുതൽ 1 x വേഫർ വ്യാസമുള്ള ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം | 5 പോറലുകൾ മുതൽ 1 x വേഫർ വ്യാസമുള്ള ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം | 5 പോറലുകൾ മുതൽ 1 x വേഫർ വ്യാസമുള്ള ക്യുമുലേറ്റീവ് നീളം | |
എഡ്ജ് ചിപ്പ് | ഒന്നുമില്ല | 3 അനുവദനീയമാണ് ,≤0.5mm വീതം | 5 അനുവദനീയമാണ് ,≤1mm വീതം | |
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്തിൻ്റെ മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല
|
സെയിൽസ് & കസ്റ്റമർ സർവീസ്
മെറ്റീരിയലുകൾ വാങ്ങൽ
നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നം ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് ആവശ്യമായ എല്ലാ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളും ശേഖരിക്കുന്നതിന് മെറ്റീരിയൽ വാങ്ങൽ വകുപ്പിന് ഉത്തരവാദിത്തമുണ്ട്. കെമിക്കൽ, ഫിസിക്കൽ വിശകലനം ഉൾപ്പെടെ എല്ലാ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെയും മെറ്റീരിയലുകളുടെയും പൂർണ്ണമായ കണ്ടെത്തൽ എപ്പോഴും ലഭ്യമാണ്.
ഗുണനിലവാരം
നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ സമയത്തും ശേഷവും, എല്ലാ മെറ്റീരിയലുകളും ടോളറൻസുകളും നിങ്ങളുടെ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ പാലിക്കുന്നതോ അതിലധികമോ ആണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിൽ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണ വകുപ്പ് ഉൾപ്പെടുന്നു.
സേവനം
അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ 5 വർഷത്തിലധികം അനുഭവപരിചയമുള്ള സെയിൽസ് എഞ്ചിനീയറിംഗ് സ്റ്റാഫ് ഉള്ളതിൽ ഞങ്ങൾ അഭിമാനിക്കുന്നു. സാങ്കേതിക ചോദ്യങ്ങൾക്ക് ഉത്തരം നൽകാനും നിങ്ങളുടെ ആവശ്യങ്ങൾക്ക് സമയബന്ധിതമായി ഉദ്ധരണികൾ നൽകാനും അവർ പരിശീലിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.
നിങ്ങൾക്ക് പ്രശ്നമുണ്ടാകുമ്പോൾ ഏത് സമയത്തും ഞങ്ങൾ നിങ്ങളുടെ അരികിലുണ്ട്, 10 മണിക്കൂറിനുള്ളിൽ അത് പരിഹരിക്കും.