4H-N/6H-N SiC വേഫർ ഗവേഷണ ഉൽപാദനം ഡമ്മി ഗ്രേഡ് ഡയ 150mm സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റ്
6 ഇഞ്ച് വ്യാസമുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സബ്സ്ട്രേറ്റ് സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
ഗ്രേഡ് | പൂജ്യം MPD | ഉത്പാദനം | ഗവേഷണ ഗ്രേഡ് | ഡമ്മി ഗ്രേഡ് |
വ്യാസം | 150.0 മിമി±0.25 മിമി | |||
കനം | 4H-N | 350um±25um | ||
4എച്ച്-എസ്ഐ | 500±25ഉം | |||
വേഫർ ഓറിയന്റേഷൻ | അച്ചുതണ്ടിൽ :<0001>±0.5° 4H-SI ന് | |||
പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് | {10-10}±5.0° | |||
പ്രൈമറി ഫ്ലാറ്റ് ലെങ്ത് | 47.5 മിമി±2.5 മിമി | |||
എഡ്ജ് ഒഴിവാക്കൽ | 3 മി.മീ | |||
ടിടിവി/ബോ/വാർപ്പ് | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
മൈക്രോപൈപ്പ് സാന്ദ്രത | ≤1സെ.മീ-2 | ≤5 സെ.മീ-2 | ≤15 സെ.മീ-2 | ≤50 സെ.മീ-2 |
റെസിസ്റ്റിവിറ്റി 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!സെ.മീ | |||
≥1E5Ω!സെ.മീ | ||||
പരുക്കൻത | പോളിഷ് Ra ≤1nm CMP Ra ≤0.5nm | |||
#ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം മൂലമുള്ള വിള്ളലുകൾ | ഒന്നുമില്ല | അനുവദനീയമായ 1 ,≤2 മിമി | സഞ്ചിത നീളം ≤10mm, ഒറ്റ നീളം ≤2mm | |
*ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശത്താൽ ഹെക്സ് പ്ലേറ്റുകൾ | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤1% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤ 2% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤ 5% | |
*ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം ലഭിക്കുന്ന പോളിടൈപ്പ് ഏരിയകൾ* | ഒന്നുമില്ല | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤ 2% | സഞ്ചിത വിസ്തീർണ്ണം ≤ 5% | |
* ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം മൂലം പോറലുകൾ ഉണ്ടാകുന്നു | 1 x വേഫർ വ്യാസമുള്ള സഞ്ചിത നീളത്തിൽ 3 പോറലുകൾ | 1 x വേഫർ വ്യാസമുള്ള സഞ്ചിത നീളത്തിൽ 5 പോറലുകൾ | 5 സ്ക്രാച്ചുകൾ മുതൽ 1 x വേഫർ വ്യാസം വരെയുള്ള സഞ്ചിത നീളം | |
എഡ്ജ് ചിപ്പ് | ഒന്നുമില്ല | 3 അനുവദനീയം, ≤0.5mm വീതം | അനുവദനീയമായ 5 എണ്ണം, ≤1mm വീതം | |
ഉയർന്ന തീവ്രതയുള്ള പ്രകാശം മൂലമുള്ള മലിനീകരണം | ഒന്നുമില്ല
|
വിൽപ്പനയും ഉപഭോക്തൃ സേവനവും
മെറ്റീരിയൽ വാങ്ങൽ
നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നം നിർമ്മിക്കാൻ ആവശ്യമായ എല്ലാ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളും ശേഖരിക്കേണ്ടത് മെറ്റീരിയൽസ് വാങ്ങൽ വകുപ്പിന്റെ ഉത്തരവാദിത്തമാണ്. രാസ, ഭൗതിക വിശകലനം ഉൾപ്പെടെ എല്ലാ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെയും വസ്തുക്കളുടെയും പൂർണ്ണമായ കണ്ടെത്തൽ എപ്പോഴും ലഭ്യമാണ്.
ഗുണമേന്മ
നിങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിലോ മെഷീനിംഗിലോ ഉള്ള സമയത്തും ശേഷവും, എല്ലാ മെറ്റീരിയലുകളും ടോളറൻസുകളും നിങ്ങളുടെ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ പാലിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് അല്ലെങ്കിൽ അതിലും കൂടുതലാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിൽ ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണ വിഭാഗം ഉൾപ്പെടുന്നു.
സേവനം
സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ 5 വർഷത്തിലധികം പരിചയമുള്ള സെയിൽസ് എഞ്ചിനീയറിംഗ് ജീവനക്കാരെ ഉള്ളതിൽ ഞങ്ങൾ അഭിമാനിക്കുന്നു. സാങ്കേതിക ചോദ്യങ്ങൾക്ക് ഉത്തരം നൽകുന്നതിനും നിങ്ങളുടെ ആവശ്യങ്ങൾക്ക് സമയബന്ധിതമായ ക്വട്ടേഷനുകൾ നൽകുന്നതിനും അവർ പരിശീലനം നേടിയവരാണ്.
നിങ്ങൾക്ക് എന്തെങ്കിലും പ്രശ്നമുണ്ടാകുമ്പോൾ ഞങ്ങൾ നിങ്ങളുടെ കൂടെയുണ്ട്, 10 മണിക്കൂറിനുള്ളിൽ അത് പരിഹരിക്കും.
വിശദമായ ഡയഗ്രം

