കാരിയർ സി-പ്ലെയിൻ ഡിഎസ്പി ടിടിവിക്കുള്ള 156 എംഎം 159 എംഎം 6 ഇഞ്ച് സഫയർ വേഫർ
സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
| ഇനം | 6-ഇഞ്ച് സി-പ്ലെയിൻ(0001) സഫയർ വേഫറുകൾ | |
| ക്രിസ്റ്റൽ മെറ്റീരിയലുകൾ | 99,999%, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ Al2O3 | |
| ഗ്രേഡ് | പ്രൈം, എപ്പി-റെഡി | |
| ഉപരിതല ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(0001) | |
| M-അക്ഷം 0.2 +/- 0.1° നേരെയുള്ള C-പ്ലെയിൻ ഓഫ്-ആംഗിൾ | ||
| വ്യാസം | 100.0 മിമി +/- 0.1 മിമി | |
| കനം | 650 μm +/- 25 μm | |
| പ്രാഥമിക ഫ്ലാറ്റ് ഓറിയന്റേഷൻ | സി-പ്ലെയിൻ(00-01) +/- 0.2° | |
| സിംഗിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (എസ്.എസ്.പി) | പിൻഭാഗം | സൂക്ഷ്മ നിലം, Ra = 0.8 μm മുതൽ 1.2 μm വരെ |
| ഡബിൾ സൈഡ് പോളിഷ് ചെയ്തത് | മുൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| (ഡിഎസ്പി) | പിൻഭാഗം | എപ്പി-പോളിഷ് ചെയ്തത്, Ra < 0.2 nm (AFM പ്രകാരം) |
| ടിടിവി | < 20 μm | |
| വില്ലു | < 20 μm | |
| വാർപ്പ് | < 20 μm | |
| വൃത്തിയാക്കൽ / പാക്കേജിംഗ് | ക്ലാസ് 100 ക്ലീൻറൂം ക്ലീനിംഗും വാക്വം പാക്കേജിംഗും, | |
| ഒരു കാസറ്റ് പാക്കേജിംഗിലോ ഒറ്റ കഷണം പാക്കേജിംഗിലോ 25 കഷണങ്ങൾ. | ||
ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഒപ്റ്റിക്സ് വ്യവസായങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി നീലക്കല്ലിന്റെ പരലുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് നിലവിൽ ചൈനയിലെ പല കമ്പനികളും കൈലോപൗലോസ് രീതി (കെവൈ രീതി) ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഈ പ്രക്രിയയിൽ, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിനിയം ഓക്സൈഡ് 2100 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിനു മുകളിലുള്ള താപനിലയിൽ ഒരു ക്രൂസിബിളിൽ ഉരുക്കുന്നു. സാധാരണയായി ക്രൂസിബിൾ ടങ്സ്റ്റൺ അല്ലെങ്കിൽ മോളിബ്ഡിനം കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ഉരുകിയ അലുമിനയിൽ കൃത്യമായി ഓറിയന്റഡ് ചെയ്ത ഒരു വിത്ത് പരൽ മുക്കിവയ്ക്കുന്നു. വിത്ത് പരൽ പതുക്കെ മുകളിലേക്ക് വലിക്കുകയും ഒരേസമയം തിരിക്കുകയും ചെയ്യാം. താപനില ഗ്രേഡിയന്റ്, വലിക്കുന്ന നിരക്ക്, തണുപ്പിക്കൽ നിരക്ക് എന്നിവ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നതിലൂടെ, ഉരുകലിൽ നിന്ന് ഒരു വലിയ, ഒറ്റ-ക്രിസ്റ്റൽ, ഏതാണ്ട് സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലുള്ള ഇൻഗോട്ട് ഉത്പാദിപ്പിക്കാൻ കഴിയും.
ഒറ്റ ക്രിസ്റ്റൽ സഫയർ ഇൻഗോട്ടുകൾ വളർത്തിയ ശേഷം, അവയെ സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലുള്ള ദണ്ഡുകളായി തുരന്ന്, ആവശ്യമുള്ള ജനൽ കനത്തിൽ മുറിച്ച് ഒടുവിൽ ആവശ്യമുള്ള ഉപരിതല ഫിനിഷിലേക്ക് മിനുക്കി എടുക്കുന്നു.
വിശദമായ ഡയഗ്രം





